意匠ウォッチ

TOP｜特許｜意匠｜商標

意匠ウォッチ Twitter

発行日2025-04-08
公報種別意匠公報(S)
登録番号1795479
登録日2025-03-31
意匠に係る物品シャワーヘッド用バッフル
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024020633
出願日2024-10-04
意匠権者ラムリサーチコーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、半導体処理システムにおいて処理ガス流れを半導体基板およびペデスタルの周囲に供給するためにシャワーヘッドに備えて用いられるバッフルである。
意匠の説明背面図、右側面図および左側面図は、正面図と同一であるため省略する。実線で表した部分が意匠登録を受けようとする部分である。第1参考図は、シャワーヘッドに備えられて用いられる本物品の使用態様を示し、第2～第4参考図は、本物品が備えられ得るシャワーヘッドの一例を示している。

この意匠をJ-PlatPatで参照する

関連意匠

ラムリサーチコーポレーション

シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

シャワーヘッド用バッフル

ラムリサーチコーポレーション

基板支持体用シールカバーバンド

ラムリサーチコーポレーション

基板支持体用シールカバーバンド

ラムリサーチコーポレーション

基板支持体用シールカバーバンド

ラムリサーチコーポレーション

シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

半導体処理用シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

半導体処理用シャワーヘッド

ラムリサーチコーポレーション

プラズマチャンバ用シールド

ラムリサーチコーポレーション

基板処理システム用ペデスタル

ラムリサーチコーポレーション

基板処理システム用ペデスタル

ラムリサーチコーポレーション

基板処理システム用ペデスタル

株式会社寺岡精工

大蔵工業株式会社

大蔵工業株式会社

ファインマシーンカタオカ株式会社

JSWアフティ株式会社

株式会社KOKUSAI ELECTRIC

三菱鉛筆株式会社

三菱鉛筆株式会社

揚州天勤工具有限公司

三井金属鉱業株式会社

株式会社デンケン

株式会社創朋

株式会社創朋

株式会社ニューフレアテクノロジー

株式会社ニューフレアテクノロジー

株式会社バルカー

株式会社M&T

株式会社ニューフレアテクノロジー

三井金属鉱業株式会社

東京エレクトロン株式会社

株式会社オカムラ

黒崎播磨株式会社

静岡製機株式会社

続きを見る