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発行日2024-05-16
公報種別意匠公報(S)
登録番号1770547
登録日2024-05-08
意匠に係る物品静電チャック
意匠分類K7-19200(金属加工機械、木材加工機械等)
出願番号2023023904,29/893,602
出願日2023-11-20
意匠権者エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造工程においてウェハーを吸着すること、又は基板を支持することができる静電チャックである。
意匠の説明実線で表した部分が、意匠登録を受けようとする部分である。斜視図における破線及び数字8は意匠登録を受けようとする部分ではなく、「8部分の拡大図」における拡大部分8を示すために示している。

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