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発行日2024-02-16
公報種別意匠公報(S)
登録番号1763707
登録日2024-02-07
意匠に係る物品基板洗浄具
意匠分類K1-410(利器及び工具)
出願番号2023009950
出願日2023-05-17
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体基板や液晶基板などの基板の表面に接触して基板の表面を洗浄するために用いられる基板洗浄具である。本物品は、リング状の研磨基材部の上面部に砥石部を配して研磨部を形成している。また、本物品は、研磨部に研磨面凹部を形成しており、使用による研磨部の摩耗の度合の観察に役立てることができる。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分とその他の部分の境界のみを示す線である。
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