意匠ウォッチ

発行日2025-02-14
公報種別意匠公報(S)
登録番号1791144
登録日2025-02-05
意匠に係る物品流体圧シリンダ
意匠分類K9-17(産業用機械器具汎用部品及び付属品)
出願番号2024016802
出願日2024-08-13
意匠権者SMC株式会社
代理人弁理士法人桐朋
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば、半導体製造装置のロードポートに載置されたウエハ格納容器の内側に、不活性ガスを供給するための流体圧シリンダである。この流体圧シリンダは、第1ボディと、第1ボディに収納されたピストンと、ピストンの一端側に連結された第2ボディと、ピストン及び第2ボディの回転を抑制する回転止めガイドと、回転止めガイドを第1ボディに固定する止めねじと、から構成される。使用に際しては、まず第1ボディを図示しないロードポートに固定する。第1ボディの作動ポートに圧力流体を供給すると、圧力室内の差圧によってピストンが上方へ押し出され、ピストンの先端が、図示しないウエハ格納容器の底面ポートに当接する。このとき、第2ボディのガス供給ポートに不活性ガスを供給すれば、ガス排出ポートから不活性ガスが排出され、ウエハ格納容器の内側に不活性ガスが供給される。
意匠の説明

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