TOP｜ 特許｜ 意匠｜ 商標
意匠ウォッチ Twitter
発行日2025-02-14
公報種別意匠公報(S)
登録番号1791144
登録日2025-02-05
意匠に係る物品流体圧シリンダ
意匠分類K9-17(産業用機械器具汎用部品及び付属品)
出願番号2024016802
出願日2024-08-13
意匠権者SMC株式会社
代理人弁理士法人桐朋
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば、半導体製造装置のロードポートに載置されたウエハ格納容器の内側に、不活性ガスを供給するための流体圧シリンダである。この流体圧シリンダは、第1ボディと、第1ボディに収納されたピストンと、ピストンの一端側に連結された第2ボディと、ピストン及び第2ボディの回転を抑制する回転止めガイドと、回転止めガイドを第1ボディに固定する止めねじと、から構成される。使用に際しては、まず第1ボディを図示しないロードポートに固定する。第1ボディの作動ポートに圧力流体を供給すると、圧力室内の差圧によってピストンが上方へ押し出され、ピストンの先端が、図示しないウエハ格納容器の底面ポートに当接する。このとき、第2ボディのガス供給ポートに不活性ガスを供給すれば、ガス排出ポートから不活性ガスが排出され、ウエハ格納容器の内側に不活性ガスが供給される。
意匠の説明
この意匠をJ-PlatPatで参照する

関連意匠

SMC株式会社
エアフィルタ
4か月前
SMC株式会社
管継手
10日前
SMC株式会社
流体圧シリンダ
3か月前
SMC株式会社
流体圧シリンダ
3か月前
SMC株式会社
イオナイザ用コントローラ
5か月前
SMC株式会社
リニアアクチュエータ
11か月前
SMC株式会社
リニアアクチュエータ
11か月前
SMC株式会社
ゲートバルブ用弁体
2か月前
SMC株式会社
イオナイザ用イオン発生モジュール
9か月前
SMC株式会社
イオナイザ用イオン発生モジュール
9か月前
有限会社ヨシモト機工
歯車
11か月前
NTN株式会社
玉軸受
3か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
星朋商工株式会社
防振具
3か月前
株式会社タイカ
防振具
7か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
株式会社タイカ
防振具
7か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
20日前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
ナブテスコ株式会社
減速機
5か月前
株式会社タイカ
防振具
7か月前
ダンフォス・パワー・ソリューションズ・(チャンスー)・カンパニー・リミテッド
油圧モータ
11か月前
キャタピラー インコーポレイテッド
環状シール
11か月前
ダンフォス・パワー・ソリューションズ・(チャンスー)・カンパニー・リミテッド
油圧モータ
11か月前
三和テクノ株式会社
シール部材
4か月前
キャタピラー インコーポレイテッド
環状シール
11か月前
ダンフォス アクチ-セルスカブ
油圧モータ
5か月前
ダンフォス アクチ-セルスカブ
油圧モータ
5か月前
三和テクノ株式会社
シール部材
4か月前
ダンフォス アクチ-セルスカブ
油圧モータ
5か月前
三和テクノ株式会社
シール部材
5か月前
下西技研工業株式会社
回転ダンパ
11か月前
続きを見る