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発行日2025-02-04
公報種別意匠公報(S)
登録番号1790474
登録日2025-01-27
意匠に係る物品プロセスチャンバマニホールド
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024014883,29/924,552
出願日2024-07-19
意匠権者アプライドマテリアルズインコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、プロセスチャンバミキサーが挿入された組立状態で、例えば、プロセスチャンバの上蓋に取付けられ、外部から流入させた複数のガスをプロセスチャンバミキサーの中心ボア内で混合し且つ混合ガスを下方のプロセスチャンバに送るのに使用される。
意匠の説明図面に表されている破切れた細線、破切れた平行状細線及び面形状の変化部に表されている細線は、模様を表す線ではなく、いずれも立体表面の形状を表す線である。

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