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発行日2025-10-22
公報種別意匠公報(S)
登録番号1811088
登録日2025-10-14
意匠に係る物品処理データ表示用画像
意匠分類N3-10W()
出願番号2025009663,29/974,002
出願日2025-05-16
意匠権者アプライドマテリアルズインコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明参考画像図2に示すように、検索条件設定ウインドウ(1)において検索項目(7)の検索条件を設定し、ウェーハ等に対して過去に行われた処理を検索し、検索結果リスト(2)から望みの処理を選択し、選択された処理のデータをグラフ(3)、(4)に表示する。グラフ(3)、(4)は、例えば、処理時間に対するウェーハの温度変化を表示し、特定の時間のデータを表示してもよい。
意匠の説明参考画像図1において、実線及び赤く着色した部分が意匠登録を受けようとする部分である。

この意匠をJ-PlatPat（特許庁公式サイト）で参照する

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