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発行日2025-10-09
公報種別意匠公報(S)
登録番号1810392
登録日2025-10-01
意匠に係る物品処理手順検索用画像
意匠分類N3-10W()
出願番号2025009467,29/973,231
出願日2025-05-14
意匠権者アプライドマテリアルズインコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本願意匠に係る画像は、ウェーハ等の処理手順検索用画像であり、例えば、参考画像図2に示すように、検索ボタン(7)を作動させることにより、検索項目を示す検索アイコン(3)に関連して選択された検索条件に基づいた検索を行い、検索結果を検索結果表示欄(6)及び検索結果件数欄(11)に表示する。検索項目は、例えば、ウェーハチャンバの種類、2つの物質によるエッチング速度の比率、エッチング速度、処理手順パラメータである。検索項目の検索条件を追加するために、例えば、検索項目を示す検索アイコン(3)に対応するアイコン(4A)をクリックして検索オプションブロック(1)を表示させて検索オプション(9)を選択し、検索条件追加ボタン(8)をクリックする。アイコン(4B)をクリックして、検索オプションブロック(1)を閉じてもよい。また、検索項目の検索条件を削除するために、例えば、アイコン(2)をクリックする。検索オプションブロック(1)において、例えば、検索オプションの最小値と最大値を、スライダーバー(5)をクリックすることによって選択する。
意匠の説明参考画像図1において、実線及び赤く着色した部分が意匠登録を受けようとする部分である。

この意匠をJ-PlatPat（特許庁公式サイト）で参照する

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