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発行日2024-07-17
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775514
登録日2024-07-08
意匠に係る物品ガスディフューザー
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024002366,29/910,663
出願日2024-02-05
意匠権者アプライドマテリアルズインコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば、半導体処理チャンバ内の半導体ウェーハの表面を清掃するために、ガスを底面側の孔から拡散させるのに使用され、例えば、C-C部分拡大図のDのところで2部品に分割可能である。
意匠の説明実線で表された部分が、意匠登録を受けようとする部分である。図面に表されている破切れた細線及び破切れた平行状細線は、模様を表す線ではなく、いずれも立体表面の形状を表す線である。

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