意匠ウォッチ

発行日2024-05-01
公報種別意匠公報(S)
登録番号1769544
登録日2024-04-22
意匠に係る物品スピンチャック
意匠分類K7-19200(金属加工機械、木材加工機械等)
出願番号2023024874
出願日2023-11-30
意匠権者AIメカテック株式会社
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、円盤基板(例えば、半導体ウエハ)の表面に処理液を塗布する工程などの半導体デバイスの製造過程において、円盤基板を真空ポンプ等で吸引することで吸着保持して回転させる際に使用されるものであり、複数の吸着パッドによって円盤基板を真空吸着して保持する。この意匠において意匠登録を受けようとする部分は、スピンチャックの回転機構の先端に配置された吸着パッドからなる吸着部である。吸着パッドは、凹型の弾性部材からなるパッド部と、中心部に吸引孔を備えたパッド固定部から構成されており、パッド部を凹型にすることで円盤基板の自重によるたわみ・反りに追従し易い形状とし、真空ポンプ等により真空吸引が開始されると、参考図1に示す状態から参考図2に示す状態に吸着パッドの先端部が変形することで、基板の反りに追従して吸引漏れ無く円盤基板を真空吸着する。真空吸引が停止されると吸着パッドによる真空吸着が解除され、吸着パッドは、参考図2に示す形状から参考図1に示す形状に戻る。
意匠の説明実線で表した部分が、意匠登録を受けようとする部分である。背面図は、正面図と同一に表れるため省略されている。左側面図は、右側面図と同一に表れるため省略されている。参考図1は、円盤基板が吸着パッド上に載置され、かつ吸着パッドが円盤基板を吸着していない状態でのA-A部分の端面図である。参考図2は、吸着パッドが円盤基板を吸着している状態のA-A部分の端面図である。

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