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公開日2025-05-21
公報種別公開商標公報
出願番号2025051485,98/866,228
出願日2025-05-12
区分第7類(機械)
商品役務半導体製造用機械並びにその部品及び附属品,半導体製造装置,半導体デバイス製造機械用汚染検知装置,半導体製造用ガスから不純物を取り除くための装置用のフィルター及び清浄装置,半導体レチクル加工装置,レチクルキャリア点検装置,ウェハーキャリアとウェハーキャリアシステムの不純物、欠陥及び汚染を検知するためのセンサーを用いた半導体ウエハー加工装置,半導体基板製造用機械,半導体ウエハー加工用機械,レチクルキャリアとレチクルキャリアシステムの不純物、欠陥及び汚染を検知するためのセンサーを用いた半導体レチクル加工用機械,ウェハーキャリア点検装置,ウェハーキャリア洗浄装置,半導体デバイス製造機械,レチクルキャリア洗浄装置
出願人ブルックス オートメーション ユーエス エルエルシー
代理人弁理士法人浅村特許事務所
OCRテキストPuroSense
OCRテキスト2
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