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発行日
2024-07-11
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1775197
登録日
2024-07-03
意匠に係る物品
液体濃度検出器
意匠分類
J1
-500(計量器、測定機械器具及び測量機械器具)
出願番号
2023017994
出願日
2023-09-04
意匠権者
アズビル株式会社
代理人
弁理士法人酒井国際特許事務所
意匠に係る物品の説明
本物品は、半導体ウエハを洗浄する液体(薬液)の濃度を光センサ等を用いて検出するための検出器である。使用に際しては、本物品の「中央貫通孔」に液体が流れる配管を通し、本物品を別途光電変換器にケーブル等を介して接続し、本物品で検出した光信号を前記光電変換器で電気信号に変換し、最適な濃度の液体であるか解析する。なお、配管を「中央貫通孔」に固定する際は、当該孔に配管挿入後、「ネジ1」のみを締め固定する方法、または「ネジ2」のみを締め固定する方法、あるいは「ネジ1」及び「ネジ2」の両方を締め固定する方法があり、検出器を設置する場所の状況に応じてこれら方法を選択できる。
意匠の説明
実線で表わされた部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。
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