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公開番号2025180036
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-11
出願番号2024087087
出願日2024-05-29
発明の名称情報処理方法及び情報処理装置
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G03F 1/84 20120101AFI20251204BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】特定点の位置を高精度に特定できる情報処理装置を提供する。
【解決手段】4つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する取得部と、区画ごとの、区画に含まれる領域を区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、区画に対応付けて記録する記録部と、を備える情報処理装置を提供する。情報処理装置は、検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定部と、属すると判定された区画に対応付けられた係数を読み出す読み出し部と、特定点の座標を、係数に基づいて変換する変換部と、をさらに備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
４つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する取得ステップと、
前記区画ごとの、前記区画に含まれる領域を前記区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、前記区画に対応付けて記録する記録ステップと、
を備える情報処理方法。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定ステップと、
属すると判定された区画に対応付けられた前記係数を読み出す読み出しステップと、
前記特定点の座標を、前記係数に基づいて変換する変換ステップと、
をさらに備える請求項１に記載の情報処理方法。
【請求項３】
さらに、前記取得ステップでは、前記区画のアライメントマークの座標を、経過時間に基づく関数で補正することで取得する、請求項１に記載の情報処理方法。
【請求項４】
さらに、前記取得ステップでは、前記区画のアライメントマークの隣り合う列の座標を、同一の方向に走査して計測する、請求項１に記載の情報処理方法。
【請求項５】
前記変換ステップで求めた変換後の座標を、さらに前記検査試料のグローバルアライメントマークに基づいて変換する第２の変換ステップと、
を備える請求項２に記載の情報処理方法。
【請求項６】
前記座標変換は、ヘルマート変換、アフィン変換、またはホモグラフィ変換である、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理方法。
【請求項７】
４つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する取得部と、
前記区画ごとの、前記区画に含まれる領域を前記区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、前記区画に対応付けて記録する記録部と、
を備える情報処理装置。
【請求項８】
検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定部と、
属すると判定された区画に対応付けられた前記係数を読み出す読み出し部と、
前記特定点の座標を、前記係数に基づいて変換する変換部と、
をさらに備える請求項７に記載の情報処理装置。
【請求項９】
さらに、前記取得部では、前記区画のアライメントマークの座標を、経過時間に基づく関数で補正することで取得する、請求項７に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
さらに、前記取得部では、前記区画のアライメントマークの隣り合う列の座標を同一の方向に走査して計測する、請求項７に記載の情報処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は情報処理方法及び情報処理装置に関する。
続きを表示（約 990 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、試料に存在する欠陥を検出する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－０８５８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試料の特定点の位置を正確に管理することが求められている。
【０００５】
本開示の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、特定点の位置を高精度で管理することができる情報処理方法及び情報処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の情報処理方法は、
４つのアライメントマークで区画された領域を有する較正用試料の複数の区画のアライメントマークの座標を取得する取得ステップと、
前記区画ごとの、前記区画に含まれる領域を前記区画のアライメントマークの座標を基準とした座標系に座標変換する係数を算出して、前記区画に対応付けて記録する記録ステップと、
を備える情報処理方法である。
【０００７】
本開示の情報処理方法は、
検査試料内の特定点が、較正用試料における複数の区画のうちのどの区画に属するかを判定する判定ステップと、
属すると判定された区画に対応付けられた前記係数を読み出す読み出しステップと、
前記特定点の座標を、前記係数に基づいて変換する変換ステップと、
をさらに備えてもよい。
【０００８】
本開示の情報処理方法は、
さらに、前記取得ステップでは、前記区画のアライメントマークの座標を、経過時間に基づく関数で補正することで取得してもよい。
【０００９】
本開示の情報処理方法は、
さらに、前記取得ステップでは、前記区画のアライメントマークの隣り合う列の座標を、同一の方向に走査して計測してもよい。
【００１０】
本開示の情報処理方法は、
前記変換ステップで求めた変換後の座標を、さらに前記検査試料のグローバルアライメントマークに基づいて変換する第２の変換ステップと、
を備えてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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