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公開番号2025178734
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-09
出願番号2024085517
出願日2024-05-27
発明の名称ロボット教示システム及びロボット制御装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類B25J 9/22 20060101AFI20251202BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムにおいて、搬送ロボットをチャンバ内における目標位置に移動させる作業プログラムを適切に生成することができるロボット教示システム及びロボット制御装置を提供することである。
【解決手段】ロボット教示システム11は、搬送ロボット20におけるワークWを保持する保持部22に設置されたセンサ30によってチャンバPC内をセンシングしながら当該チャンバPC内の特徴点を検知する特徴点検知手段130と、特徴点の位置を算出する位置算出手段140と、特徴点の位置に基づく目標位置に移動するように搬送ロボット20を動作させるための作業プログラムを生成するプログラム生成手段150と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
複数のチャンバ、当該複数のチャンバ間においてワークを搬送する搬送ロボット、及び当該搬送ロボットの動作を制御するロボット制御装置を有し、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムで用いられるロボット教示システムであって、
前記搬送ロボットにおける前記ワークを保持する保持部に設置されたセンサによって前記チャンバ内をセンシングしながら当該チャンバ内の特徴点を検知する特徴点検知手段と、
前記特徴点の位置を算出する位置算出手段と、
前記特徴点の位置に基づく目標位置に移動するように前記搬送ロボットを動作させるための作業プログラムを生成するプログラム生成手段と、を備える、
ロボット教示システム。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
前記特徴点は、前記チャンバ内において前記ワークを支持する支持ピンの少なくとも一部を含む、
請求項１に記載のロボット教示システム。
【請求項３】
前記特徴点は、前記チャンバを構成する壁面の少なくとも一部を含む、
請求項１に記載のロボット教示システム。
【請求項４】
前記作業プログラムでは、前記チャンバ内における衝突を回避するように前記搬送ロボットの動作経路が設定される、
請求項１に記載のロボット教示システム。
【請求項５】
前記チャンバ内における前記特徴点の位置をマッピングするマッピング手段と、
前記マッピングの結果を表示する表示手段と、をさらに備える、
請求項１に記載のロボット教示システム。
【請求項６】
前記目標位置をどのように設定するかをユーザ操作から受け付ける目標位置受付手段を、さらに備える、
請求項１に記載のロボット教示システム。
【請求項７】
フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムに用いられ、複数のチャンバ間においてワークを搬送する搬送ロボットの動作を制御するロボット制御装置であって、
前記搬送ロボットにおける前記ワークを保持する保持部に設置されたセンサによって前記チャンバ内をセンシングしながら当該チャンバ内の特徴点を検知する特徴点検知手段と、
前記特徴点の位置を算出する位置算出手段と、
前記特徴点の位置に基づく目標位置に移動するように前記搬送ロボットを動作させるための作業プログラムを生成するプログラム生成手段と、を備える、
ロボット制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボット教示システム及びロボット制御装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、産業界において、多くの産業用ロボットが普及している。例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）を含む大型のフラットパネル用のガラス基板に対して処理を行うための大型の製造システムがある。
【０００３】
このような大型の製造システムでは、ガラス基板などのワークに対して種々の処理を行うために、各処理に対応するプロセスチャンバが複数配置されている。さらに、搬送ロボット（搬送装置）がトランスファチャンバに配置されており、当該搬送ロボット（搬送装置）によって、各プロセスチャンバにおける所望の位置へワークが搬送される。
【０００４】
特許文献１では、搬送装置は、支持ピックの先端に光学センサを備えて、搬送室において当該支持ピックを上方移動させながら先端方向に光を照射することによって、搬送室とロードロック室との間の開口部の上端位置を特定している。また、ロードロック室において、支持ピックを上方移動／回転移動させながら先端方向／下方向に光を照射することによって、バッファ（溝）の上端位置／側壁位置を特定している。そして、特定された開口部の上端位置やバッファ（溝）の上端位置／側壁位置に基づいて、搬送装置の動作が補正される。このように、特許文献１では、搬送装置の動作位置に関する調整を自動的に行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－２２０５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されている搬送装置では、チャンバ内で回転しながら特定のバッファ（溝）の上端位置／側壁位置を確認しているため、これらに衝突する可能性があり、また、局所的な検知であるため、チャンバ内全体を把握できていない。チャンバ内にその他の障害物が存在した場合には、これらに衝突するおそれもある。
【０００７】
ところで、そもそも大型のフラットパネル用のガラス基板に対して処理を行うための大型の製造システムでは、作業者がチャンバ内部の様子を直接確認しながら、搬送ロボットを操作することは困難であるという問題がある。
【０００８】
そこで、本発明は、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムにおいて、搬送ロボットをチャンバ内における目標位置に移動させる作業プログラムを適切に生成することができるロボット教示システム及びロボット制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係るロボット教示システムは、複数のチャンバ、当該複数のチャンバ間においてワークを搬送する搬送ロボット、及び当該搬送ロボットの動作を制御するロボット制御装置を有し、フラットパネルを製造するフラットパネル製造システムで用いられるロボット教示システムであって、搬送ロボットにおけるワークを保持する保持部に設置されたセンサによってチャンバ内をセンシングしながら当該チャンバ内の特徴点を検知する特徴点検知手段と、特徴点の位置を算出する位置算出手段と、特徴点の位置に基づく目標位置に移動するように搬送ロボットを動作させるための作業プログラムを生成するプログラム生成手段と、を備える。
【００１０】
この態様によれば、特徴点検知手段は、搬送ロボットにおける保持部に設置されたセンサによってチャンバ内の特徴点を検知し、プログラム生成手段は、位置算出手段によって算出された特徴点の位置に基づく目標位置に移動するように搬送ロボットを動作させるための作業プログラムを生成する。これにより、チャンバ内部の様子を把握して、搬送ロボットをチャンバ内における目標位置に移動させる作業プログラムを適切に生成することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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