特許ウォッチ

公開番号2025176183
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-03
出願番号2025155229,2024174361
出願日2025-09-18,2021-06-09
発明の名称ロードセル
出願人ミネベアミツミ株式会社
代理人弁理士法人ITOH
主分類G01G 3/14 20060101AFI20251126BHJP(測定;試験)
要約【課題】はかり用途に使用可能な、ひずみゲージを備えたロードセルを提供する。
【解決手段】本ロードセルは、ロバーバル型の起歪体と、前記起歪体に搭載されるひずみゲージと、を備え、前記ひずみゲージは、可撓性を有する基材と、前記基材上に、クロムとニッケルの少なくとも一方を含む材料から形成された抵抗体と、を有し、前記抵抗体の膜厚は、6nm以上100nm以下であり、以てクリープ量及びクリープリカバリー量が±0.0735%以下となる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ロバーバル型の起歪体と、
前記起歪体に搭載されるひずみゲージと、を備え、
前記ひずみゲージは、可撓性を有する基材と、前記基材上に、クロムとニッケルの少なくとも一方を含む材料から形成された抵抗体と、を有し、
前記抵抗体の膜厚は、６ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、以てクリープ量及びクリープリカバリー量が±０．０７３５％以下となる、ロードセル。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記ひずみゲージは、前記抵抗体と電極とを電気的に接続する配線、を含み、
前記配線上に、前記抵抗体よりも低抵抗の材料から形成された導電層が積層される、請求項１に記載のロードセル。
【請求項３】
前記抵抗体は、Ｃｒ、ＣｒＮ、及びＣｒ
２
Ｎを含む膜から形成される、請求項２に記載のロードセル。
【請求項４】
ひずみ限界が１００００με以上となるように、前記抵抗体の膜厚を、６ｎｍ以上５０ｎｍ以下とした、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のロードセル。
【請求項５】
前記抵抗体の膜厚は、１１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、以てクリープ量及びクリープリカバリー量が±０．０３６８％以下となる、請求項４に記載のロードセル。
【請求項６】
前記ひずみゲージが複数の前記抵抗体を有する、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のロードセル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロードセルに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
基材上に抵抗体を備え、測定対象物に貼り付けて、測定対象物の特性を検出するひずみゲージが知られている。ひずみゲージは、例えば、材料のひずみを検出するセンサや、周囲温度を検出するセンサ等のセンサ用途として使用されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－２２１６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ひずみゲージはセンサ用途に用いる以外に、はかり用途に用いる場合もあり、その場合には、センサ用途よりも厳しいクリープに関する規格を満足する必要がある。そのため、センサ用途に使用できるひずみゲージであっても、はかり用途には使用できない場合があった。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、はかり用途に使用可能な、ひずみゲージを備えたロードセルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本ロードセルは、ロバーバル型の起歪体と、前記起歪体に搭載されるひずみゲージと、を備え、前記ひずみゲージは、可撓性を有する基材と、前記基材上に、クロムとニッケルの少なくとも一方を含む材料から形成された抵抗体と、を有し、前記抵抗体の膜厚は、６ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、以てクリープ量及びクリープリカバリー量が±０．０７３５％以下となる。
【発明の効果】
【０００７】
開示の技術によれば、はかり用途に使用可能な、ひずみゲージを備えたロードセルを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係るロードセルを例示する平面図である。
第１実施形態に係るロードセルを例示する側面図である。
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その１）である。
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その２）である。
クリープ量及びクリープリカバリー量の測定方法について説明する図である。
抵抗体の膜厚とクリープ量及びクリープリカバリー量の検討結果を示す図である。
ひずみ限界の実験結果を示す図である。
第１実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その３）である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１０】
〈第１実施形態〉
［ロードセル］
図１は、第１実施形態に係るロードセルを例示する平面図である。図２は、第１実施形態に係るロードセルを例示する側面図である。図１及び図２を参照すると、ロードセル１００は、起歪体１１０と、ひずみゲージ１とを有している。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許