特許ウォッチ

公開番号2025169285
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-12
出願番号2025129048,2021547683
出願日2025-08-01,2020-02-12
発明の名称磁気によりガイドされた材料取扱いロボット
出願人パーシモンテクノロジーズコーポレイション,PERSIMMON TECHNOLOGIES, CORP.,住友重機械工業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251105BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】真空中で放出ガス、放出粒子等で環境を汚染しないロボットを提供する。
【解決手段】ロボットは、その上で基板を支持する第1のデバイスと、第1のデバイスが接続された第1の搬送機構と、を備え、第1の搬送機構は、レール又は磁気浮上ガイドと、レール又は磁気浮上ガイドの上方に、第1のデバイスとレール又は磁気浮上ガイドとの間に隙間を空けて、第1のデバイスを垂直に置く磁気システムと、レール又は磁気浮上ガイドに沿って第1のデバイスを動かすリニアアクチュエータと、を備える。磁気システムは、第1のデバイスの第1の側の第1の角部にある第1の電磁アクチュエータと、第1のデバイスの第1の側の第2の角部にある第2の電磁アクチュエータと、第1のデバイスの対向する第2の側にあり、第1のデバイスの3つの側の角部に近接配置されない第3の電磁アクチュエータと、を備える。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
その上で基板を支持するように構成された第１のデバイスと、
前記第１のデバイスが接続された第１の搬送機構と、
外部のコントローラと通信するよう構成された無線通信デバイスと、
を備える装置であって、
前記第１の搬送機構は、水平経路に沿った移動のために前記第１のデバイスを支持するように構成され、
前記第１の搬送機構は、
・第１のガイド及び第２のガイドを含む少なくとも２つのガイドと、
・前記少なくとも２つのガイドの上方に、前記第１のデバイスと前記少なくとも２つのガイドとの間に隙間を空けて、前記第１のデバイスを垂直に置くように構成された磁気システムと、
・前記少なくとも２つのガイドに沿った前記経路に前記第１のデバイスを動かすように構成されたリニアアクチュエータと、
を備え、
前記磁気システムは、
・前記第１のデバイスの第１の側の第１の角部にある第１の電磁アクチュエータと、
・前記第１のデバイスの前記第１の側の第２の角部にある第２の電磁アクチュエータと、
・前記第１のデバイスの対向する第２の側にあり、前記第１のデバイスの３つの側の角部に近接配置されない第３の電磁アクチュエータと、
を備え、
前記無線通信デバイスは、前記磁気システムを制御するために、前記コントローラ内のマスターコントローラと通信するように構成された光通信リンクを備える、
装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記第１、第２、及び第３の電磁アクチュエータは、いずれも、前記少なくとも２つのガイドの垂直上方に前記第１のデバイスを離間させるアクチュエータである、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１及び第２の電磁アクチュエータはそれぞれ、前記第１のデバイスと前記第１のガイドとの間に相反する水平力を生成するように構成される、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記第３の電磁アクチュエータは、前記第１のデバイスと前記第２のガイドとの間に水平力を生成するように構成されていない、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の電磁アクチュエータはそれぞれ、前記第１のデバイスと前記第１のガイドとの間に第１の方向に水平力を生成するように構成され、
前記装置は、前記第１のデバイスの３つの側のそれぞれ第３及び第４の角部に近接する第４の電磁アクチュエータ及び第５の電磁アクチュエータをさらに備え、
前記第４及び第５の電磁アクチュエータはそれぞれ、前記第１のデバイスと前記第２のガイドとの間に反対の第２の方向に水平力を生成するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記第１のデバイスと前記第１のガイドとの間に第１の方向に水平力を生成するように構成される、前記第１のデバイスの前記第１の側に近接して配置された第４の電磁アクチュエータと、前記第１のデバイスの３つの側のそれぞれ第３及び第４の角部に近接する第４の電磁アクチュエータ及び第５の電磁アクチュエータと、をさらに備え、
前記第４及び第５の電磁アクチュエータはそれぞれ、前記第１のデバイスと前記第２のガイドとの間に反対の第２の方向に水平力を生成するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記少なくとも２つのガイドは、前記第１のガイドと前記第２のガイドとの間に第３のガイドを備え、
前記装置は、前記第３のガイドに第４の電磁アクチュエータ及び第５の電磁アクチュエータをさらに含み、
前記第４及び第５の電磁アクチュエータはそれぞれ、前記第１のデバイスと前記第３のガイドとの間に相反する水平力を生成するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記第１のデバイスは、その中にロボットモータを有するロボット筐体と、前記ロボットモータに接続されたロボットアームと、を備え、
前記ロボットアームは前記ロボット筐体の外側に配置され、
前記ロボットアームはその上で前記基板を支持するように構成されたエンドエフェクタを備え、
前記第１の側は前記ロボット筐体の第１の側面であり、前記第２の側は前記ロボット筐体の第２の対向する側面である、請求項１から７のいずれかに記載の装置。
【請求項９】
前記第１の電磁アクチュエータに第１のセンサを、前記第２の電磁アクチュエータに第２のセンサを、前記第３の電磁アクチュエータに第３のセンサを、さらに備え、
前記第１～第３のセンサは、前記第１及び第２のガイドに対する前記第１のデバイスの位置を測定するように構成される、請求項１から８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
前記無線通信デバイスは、前記装置のモータアンプからの全運動軸の位置を周期的に前記コントローラに送信すると共に、前記装置の入出力モジュールからのデジタル及びアナログ入力のステータスと、前記入出力モジュールからのデジタル入力変更のタイミングとを前記コントローラに送信するように構成される、請求項１から９のいずれかに記載の装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
例示的かつ非制限的な実施形態は、概して、基板搬送ロボットアセンブリに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【従来技術の簡単な説明】
【０００２】
基板を搬送するためのロボットが知られている。米国特許出願公開第２０１６／０２２９２９６号明細書、第２０１３／００７１２１８号明細書、第２０１５／０２１４０８６号明細書、及び第２０１７／００２８５４６号明細書（これらは、その全体が参照により本明細書に組み込まれる）に記載されているような基板搬送ロボットの搬送のためのリニア駆動システムも知られている。
【摘要】
【０００３】
以下の摘要は、単に例示的であるように意図される。この摘要は、特許請求の範囲を制限することを意図したものではない。
【０００４】
一態様によれば、装置が提供される。当該装置は、その上で基板を支持するように構成された第１のデバイスと、前記第１のデバイスが接続された第１の搬送機構と、を備える。前記第１の搬送機構は、水平経路に沿った移動のために前記第１のデバイスを支持するように構成される。前記第１の搬送機構は、少なくとも２つのレールと、前記少なくとも２つのレールの上方に、前記第１のデバイスと前記少なくとも２つのレールとの間に隙間を空けて、前記第１のデバイスを垂直に置くように構成された磁気システムと、前記少なくとも２つのレールに沿った経路に前記第１のデバイスを動かすように構成されたリニアアクチュエータと、を備える。前記磁気システムは、前記第１のデバイスの第１の側の第１の角部にある第１の電磁アクチュエータと、前記第１のデバイスの前記第１の側の第２の角部にある第２の電磁アクチュエータと、前記第１のデバイスの対向する第２の側にあり、前記第１のデバイスの３つの側の角部に近接配置されない第３の電磁アクチュエータと、を備える。
【０００５】
別の態様によれば、方法が提供される。当該方法は、第１のデバイスの第１の側の第１の角部に近接して第１の電磁アクチュエータを接続することと、前記第１のデバイスの前記第１の側の第２の角部に近接して第２の電磁アクチュエータを接続することと、前記第１のデバイスの対向する第２の側に近接して第３の電磁アクチュエータを接続することと、前記第１のデバイスを少なくとも２つのレールの上方に配置することと、を含む。前記第１の角部は前記第１のデバイスの３つの側にあり、前記第１のデバイスはその上で基板を支持するように構成され、前記第１の電磁アクチュエータは、前記第１のデバイスが接続された第１の搬送機構の磁気システムの一部であり、前記第１の搬送機構は、水平経路に沿った移動のために前記第１のデバイスを支持するように構成される。前記第２の電磁アクチュエータは、前記磁気システムの一部であり、前記第２の角部は前記第１のデバイスの３つの側にある。前記第３の電磁アクチュエータは、前記磁気システムの一部であり、前記第３の電磁アクチュエータは、前記第１のデバイスの３つの側の角部に近接配置されない。前記第１及び第２の電磁アクチュエータは前記レールのうちの第１のレールに配置され、前記第３の電磁アクチュエータは前記レールのうちの異なる第２のレールに配置される。
【０００６】
別の態様によれば、方法が提供される。当該方法は、第１のレールの上方に第１のデバイスの第１の角部を垂直に置くように磁気システムの第１の電磁アクチュエータを制御することと、前記第１のレールの上方に前記第１のデバイスの異なる第２の角部を垂直に置くように前記磁気システムの第２の電磁アクチュエータを制御することと、第２のレールの上方に前記第１のデバイスを垂直に置くように前記磁気システムの第３の電磁アクチュエータを制御することと、を含む。前記第１の電磁アクチュエータは、前記第１のレール及び前記第２のレールの上方に、前記第１のデバイスと前記レールとの間に隙間を空けて、前記第１のデバイスを磁気により垂直に置くように構成された第１の搬送機構の一部であり、前記第１の搬送機構は、水平経路に沿った移動のために前記第１のデバイスを支持するように構成され、前記第１の角部は前記第１のデバイスの３つの側にあり、前記第１のデバイスはその上で基板を支持するように構成される。前記第２の角部は前記第１のデバイスの３つの側にあり、前記第１及び第２の角部は前記第１のデバイスの第１の側にある。前記第３の電磁アクチュエータは、前記第１のデバイスの対向する第２の側に配置され、前記第３の電磁アクチュエータは、前記第１のデバイスの３つの側の角部に近接配置されない。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
前述の態様及び他の特徴は、以下の説明で添付図面と共に説明される。
【０００８】
本明細書に記載されるような特徴を含む基板処理装置の概略上面図である。
【０００９】
図１に示す基板処理装置の基板搬送装置の斜視図である。
【００１０】
図２に示す基板搬送装置の斜視図である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許