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公開番号2025167707
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024072546
出願日2024-04-26
発明の名称空気清浄装置および空気清浄システム
出願人ウシオ電機株式会社
代理人個人,個人
主分類F24F 8/22 20210101AFI20251030BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】シロキサンや微粒子など汚染物質を除去可能な空気清浄装置を提供する。
【解決手段】光源部110は、汚染物質2に対して光トラップ力を及ぼしうる強度を有するレーザビーム4を発生する少なくともひとつの紫外レーザ112を含む。付着部120は、レーザビーム4に対して透明であり、レーザビーム4の光路上に、清浄化すべき空気が存在する空間10に面して配置される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
汚染物質に対して光トラップ力を及ぼしうる強度を有するレーザビームを発生する少なくともひとつの紫外レーザを含む光源部と、
前記レーザビームに対して透明であり、前記レーザビームの光路上に清浄化すべき空気が存在する空間に面して配置された付着部と、
を備えることを特徴とする空気清浄装置。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
前記レーザビームの強度は、８ＭＷ／ｃｍ
２
以上であることを特徴とする請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項３】
前記紫外レーザは、ＧａＮ系の半導体レーザであることを特徴とする請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項４】
前記光源部は、複数の前記紫外レーザを含み、複数の紫外レーザは隣接して配置されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の空気清浄装置。
【請求項５】
前記付着部に汚染物質が付着した面を清浄な面に切り替え可能な切り替え機構をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の空気清浄装置。
【請求項６】
前記切り替え機構は、前記付着部を交換可能としたことを特徴とする請求項５に記載の空気清浄装置。
【請求項７】
前記切り替え機構は、前記光源部を取り囲む円筒形状である前記付着部を、回動可能であることを特徴とする請求項５に記載の空気清浄装置。
【請求項８】
前記切り替え機構は、シート状である前記付着部を、ロール状に巻き取り可能であることを特徴とする請求項５に記載の空気清浄装置。
【請求項９】
前記付着部は、前記半導体レーザのチップが収容されるＣＡＮパッケージのガラス窓であることを特徴とする請求項３に記載の空気清浄装置。
【請求項１０】
前記光源部と前記付着部に加えて空気を浄化するフィルタを備え、前記フィルタを通過した空気に前記レーザビームを照射することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の空気清浄装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、空気清浄化技術に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等の製造、検査は、クリーンルーム内で行われる。クリーンルームには、ウルパフィルタ（ULPA：Ultra Low Penetration Air Filter）やヘパフィルタ（HEPA：High Efficiency Particulate Air Filter）等の高性能フィルタが設置されており、クリーンルーム内に飛散している種々のパーティクルを除去している。これらのフィルタはＪＩＳ規格にも規定されているが、へパフィルタでは、粒径が０．３μｍの粒子に対して９９．９７％以上の粒子捕集率を有し、ウルパフィルタでは、粒径が０．１５μｍの粒子に対して９９．９９９５％の粒子捕集率を有している。
【０００３】
ところがこうした高性能フィルタでは除去できない物質として、ガス状シロキサンが知られている。ガス状シロキサンは、クリーンルーム内の気密性の保持を目的として使用されているシリコンシーラント、シリコンゲルなどのシール材等から発生したり、生産材料に付着た状態でクリーンルーム内に持ち込まれたり、作業者が使用する化粧品等から持ち込まれる。一方で、微小粒子を光で保持、移動する技術として光トラップ力（光ピンセットとも呼ばれる）が知られており、その原理は特許文献２や特許文献３で説明されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２３－６４２３１号公報
特開２００３－２３１０９５号公報
特公平５－６１３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
シロキサンをはじめとする不純物が製造中の半導体デバイスに付着すると、デバイス特性を悪化させるなど、歩留まり低下の要因となる。
【０００６】
本開示はかかる状況においてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、シロキサンや微粒子など汚染物質を除去可能な空気清浄装置の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示のある態様の空気清浄装置は、汚染物質に対して光トラップ力を及ぼしうる強度を有するレーザビームを発生する少なくともひとつの紫外レーザを含む光源部と、レーザビームに対して透明であり、レーザビームの光路上に清浄化すべき空気が存在する空間に面して配置された付着部と、を備える。
【０００８】
なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたもの、構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明あるいは本開示の態様として有効である。さらに、この項目（課題を解決するための手段）の記載は、本発明の欠くべからざるすべての特徴を説明するものではなく、したがって、記載されるこれらの特徴のサブコンビネーションも、本発明たり得る。
【発明の効果】
【０００９】
本開示のある態様に係る空気清浄装置によれば、汚染物質を除去できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施形態に係る空気清浄装置を示す図である。
空気清浄装置の動作を説明する図である。
実施例１に係る空気清浄装置を示す図である。
実施例２に係る空気清浄装置を示す図である。
実施例３に係る空気清浄装置を示す図である。
実施例４に係る空気清浄装置を示す図である。
実施例５に係る空気清浄装置を示す図である。
実施例６に係る空気清浄装置を示す図である。
空気清浄装置を備える半導体製造装置を示す図である。
空気清浄装置を備える密閉型カセットを示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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