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公開番号2025166603
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-06
出願番号2024070753
出願日2024-04-24
発明の名称半導体集積回路の配線方法、配線プログラム、及び配線装置
出願人ルネサスエレクトロニクス株式会社
代理人個人
主分類H10D 89/10 20250101AFI20251029BHJP()
要約【課題】シールド対象配線が既配線に引き寄せられることなく、シールド対象配線の配線経路を選択すること。
【解決手段】本開示に係る半導体集積回路の配線方法は、コンピュータが、シールド対象配線を配置するための配線トラックを開けて互いに離間する複数のシールド配線候補を配置する処理と、複数のシールド配線候補間に設けられた複数の配線トラックの少なくとも1つに、シールド対象配線を配置する処理と、配置されたシールド対象配線に対してシールド配線として寄与しないシールド配線候補を削除する処理と、を実行する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
コンピュータが、
シールド対象配線を配置するための配線トラックを開けて互いに離間する複数のシールド配線候補を配置する処理と、
複数のシールド配線候補間に設けられた複数の前記配線トラックの少なくとも１つに、シールド対象配線を配置する処理と、
配置された前記シールド対象配線に対してシールド配線として寄与しないシールド配線候補を削除する処理と、
を実行する、
半導体集積回路の配線方法。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記シールド配線候補を削除する処理は、
前記シールド配線候補に隣接する前記配線トラック上に、前記シールド対象配線があるか否かを検索する処理と、
隣接する前記配線トラック上に前記シールド対象配線がない前記シールド配線候補を削除する処理と、
を含む、
請求項１に記載の配線方法。
【請求項３】
前記シールド配線候補の第１部分に隣接する前記配線トラック上には前記シールド対象配線があり、当該シールド配線候補の前記第１部分と異なる第２部分に隣接する前記配線トラック上には前記シールド対象配線がない場合、前記シールド配線候補の前記第２部分を削除する処理をさらに含む、
請求項２に記載の配線方法。
【請求項４】
前記シールド配線候補は、
第１層に配置され、第１方向に延在する複数の第１シールド配線候補と、
前記第１層と異なる第２層に配置され、前記第１方向と直交する第２方向に延在する複数の第２シールド配線候補と、
前記第１シールド配線候補と前記第２シールド配線候補とが交差する位置に配置され、前記第１シールド配線候補と前記第２シールド配線候補とを電気的に接続する複数のビアと、
を含む、
請求項１に記載の配線方法。
【請求項５】
シールド配線候補を削除する処理は、
シールド配線として寄与する第１シールド配線候補に交差する、シールド配線として寄与する第２シールド候補配線が複数ある場合、
シールド配線として寄与する第１シールド配線候補と、シールド配線として寄与する第２シールド候補配線とを接続する複数のビアの内の１つのビアを残して、それ以外のビアを削除する処理をさらに含む、
請求項４に記載の配線方法。
【請求項６】
前記シールド配線候補は、グランドメッシュ又は電源メッシュである、
請求項１に記載の配線方法。
【請求項７】
前記シールド対象配線は、クロック配線である、
請求項１に記載の配線方法。
【請求項８】
シールド対象配線を配置するための配線トラックを開けて互いに離間する複数のシールド配線候補を配置する処理と、
複数のシールド配線候補間に設けられた複数の前記配線トラックの少なくとも１つに、シールド対象配線を配置する処理と、
配置された前記シールド対象配線に対してシールド配線として寄与しないシールド配線候補を削除する処理と、
をコンピュータに実行させる、
半導体集積回路の配線プログラム。
【請求項９】
前記シールド配線候補を削除する処理は、
前記シールド配線候補に隣接する前記配線トラック上に、前記シールド対象配線があるか否かを検索する処理と、
隣接する前記配線トラック上に前記シールド対象配線がない前記シールド配線候補を削除する処理と、
を含む、
請求項８に記載の配線プログラム。
【請求項１０】
前記シールド配線候補の第１部分に隣接する前記配線トラック上には前記シールド対象配線があり、当該シールド配線候補の前記第１部分と異なる第２部分に隣接する前記配線トラック上には前記シールド対象配線がない場合、前記シールド配線候補の前記第２部分を削除する処理をさらに含む、
請求項９に記載の配線プログラム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、半導体集積回路の配線方法、配線プログラム及び配線装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
隣接信号ネット間のクロストークを防止するために、他の信号ネットへ干渉する信号ネットや、他の信号ネットからの干渉を防ぐ必要のある信号ネットの両側にグランドネットや電源ネットを配線してシールドすることが行われている。特許文献１には、シールドされる必要のある信号ネットの配線経路を探索し、当該信号ネットの配線経路が決定したら、当該信号ネットの片側又は両側に、所定のクリアランスを確保した状態で、当該信号ネットをシールドするためのシールドネットを配線する自動配線方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－２５９６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、シールドされる必要のある信号ネットの配線経路を探索する際、既配線の電源ネット又はグランドネットが存在するときは、まず、当該信号ネットが、既配線の電源ネット又はグランドネット（以下、既配線の電源ネット等とする）に所定のクリアランスを確保した状態で隣接する態様となるように、配線経路の探索が行われる。そして、既配線の電源ネット等との隣接配線が成功したときは、既配線の電源ネットが、当該信号ネットをシールドするためのシールドネットとして利用される。
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、既配線の電源ネット等をシールドネットとして利用するために、シールド対象の信号ネットが既配線の電源ネット等に引き寄せられるように配線経路の探索が行われる。これにより、理想的な配線経路が選択できないという問題がある。
【０００６】
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示に係る半導体集積回路の配線方法は、コンピュータが、シールド対象配線を配置するための配線トラックを開けて互いに離間する複数のシールド配線候補を配置する処理と、複数のシールド配線候補間に設けられた複数の前記配線トラックの少なくとも１つに、シールド対象配線を配置する処理と、配置された前記シールド対象配線に対してシールド配線として寄与しないシールド配線候補を削除する処理とを実行する。
【０００８】
本開示に係る半導体集積回路の配線プログラムは、シールド対象配線を配置するための配線トラックを開けて互いに離間する複数のシールド配線候補を配置する処理と、複数のシールド配線候補間に設けられた複数の前記配線トラックの少なくとも１つに、シールド対象配線を配置する処理と、配置された前記シールド対象配線に対してシールド配線として寄与しないシールド配線候補を削除する処理と、をコンピュータに実行させる。
【０００９】
本開示に係る半導体集積回路の配線装置は、シールド対象配線を配置するための配線トラックを開けて互いに離間する複数のシールド配線候補を配置するシールド配線候補配置手段と、複数のシールド配線候補間に設けられた複数の前記配線トラックの少なくとも１つに、シールド対象配線を配置するシールド対象配置手段と、配置された前記シールド対象配線に対してシールド配線として寄与しないシールド配線候補を削除する削除手段と、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、シールド対象配線が既配線に引き寄せられることなく、シールド対象配線の配線経路を選択することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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