特許ウォッチ

公開番号2025164347
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-30
出願番号2024068246
出願日2024-04-19
発明の名称露光装置、露光方法、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20251023BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】露光を行ううえで有利な原版ホルダを提供すること。
【解決手段】原版を保持する原版ホルダであって、前記原版の下面の少なくとも一部を保持するホルダ部と、前記原版と前記ホルダ部との間を流れる気体を封止する封止部材と、を有する。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
原版を保持する原版ホルダであって、
前記原版の下面の少なくとも一部を保持するホルダ部と、
前記原版と前記ホルダ部との間を流れる気体を封止する封止部材と、を有することを特徴とする原版ホルダ。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
前記封止部材は、前記封止部材が設けられていない場合と比較して、前記原版と前記ホルダ部との間を介して前記原版の下方から前記原版の上方に流れる気体の量を低減することを特徴とする請求項１に記載の原版ホルダ。
【請求項３】
前記封止部材は、前記気体の量を１０％以下に低減することを特徴とする請求項２に記載の原版ホルダ。
【請求項４】
前記ホルダ部は、前記原版の端部の近傍を保持することを特徴とする請求項１に記載の原版ホルダ。
【請求項５】
前記原版の上面を保持する保持部材を更に有することを特徴とする請求項１に記載の原版ホルダ。
【請求項６】
前記封止部材は、前記保持部材に設けられることを特徴とする請求項５に記載の原版ホルダ。
【請求項７】
前記封止部材は、前記原版と前記保持部材との隙間に設けられることを特徴とする請求項５に記載の原版ホルダ。
【請求項８】
前記封止部材は、前記原版の端部に接触して、連続して一周するように設けられる特徴とする請求項５に記載の原版ホルダ。
【請求項９】
前記ホルダ部は、前記原版の下面の少なくとも一部を保持する接触面よりも位置が高い面を有することを特徴とする請求項１に記載の原版ホルダ。
【請求項１０】
前記封止部材は、前記原版と前記ホルダ部との隙間に設けられることを特徴とする請求項６に記載の原版ホルダ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、露光方法、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスやフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などの製造工程で用いられるリソグラフィ装置の１つとして、露光装置が知られている。露光装置は原版を介して基板を露光することで、原版に形成された回路パターンを基板上に転写（形成）する露光処理を行う装置である。
【０００３】
近年、回路パターンの微細化により、原版の平面度を高精度に保つチャックが要求されている。しかし、複数サイズの原版を保持可能なチャックで上記を実現することは困難である。そのため、近年の露光装置では１種類の原版サイズにのみ対応していることが一般的である。しかし、特許文献１にあるように、原版アタッチメント（原版ホルダ）を提供することで、原版サイズが相違しても露光を可能にする技術が開示されている。
【０００４】
また、近年の露光装置において、原版の大型化に伴い原版が自重で撓み、それにより露光精度が低下しうる。その対策として、原版の上方に圧力を制御できる気密空間を形成する撓み補正ユニットを配置し、気密空間の圧力を制御することにより、原版の撓みを補正する手法が知られている。特許文献２には、撓み補正ユニットに関する内容が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０２０／１６２３９６号
特開２０１１－１２８６４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の原版アタッチメントを用いる場合には、原版と原版アタッチメントとの間に空間が存在してしまう。そのため、原版の上方に圧力を制御できる気密空間を形成することができず、特許文献２に記載の撓み補正ユニットを適用した場合に、原版の撓みを補正することが困難となりうる。これにより、露光精度が低下してしまうおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明は、露光を行ううえで有利な原版ホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての原版ホルダは、原版を保持する原版ホルダであって、前記原版の下面の少なくとも一部を保持するホルダ部と、前記原版と前記ホルダ部との間を流れる気体を封止する封止部材と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、露光を行ううえで有利な原版ホルダを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
露光装置の構成を示す概略図である。
原版が原版ステージに載置された例を示す図である。
原版ホルダの構成を示す斜視図である。
原版が原版ホルダに搭載された状態を示す上面図である。
原版が搭載された原版ホルダを原版ステージに載置した状態を示す図である。
原版ホルダと撓み補正ユニットとを示す図である。
原版ホルダの構成を説明するための図である。
封止部材が別の場所に設けられる例を説明するための図である。
物品の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許