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公開番号2025136108
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024034317
出願日2024-03-06
発明の名称ステージユニット及び処理システム
出願人株式会社東京ウエルズ
代理人個人,個人
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250911BHJP(測定;試験)
要約【課題】電子部品が載せられるステージを移動させるのに有利な技術を提供する。
【解決手段】ベース11に対してステージ12を移動させるステージ移動機構13は、ベースに対してステージを、回転軸線Aに対して直角を成すXY方向dX、dYに移動させるXY移動装置20、30と、ベースに対してステージを、回転軸線を基準とした回転方向に回転させる回転移動装置とを含む。回転移動装置は、回転方向駆動源70と、回転方向駆動源から出力される駆動力によって、ステージとともに回転方向dRに回転させられる回転支持部71と、回転方向駆動源に対する回転支持部のXY方向への移動を許容しつつ回転方向駆動源から出力される駆動力を回転支持部に伝える回転中継部72とを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ベースと、
電子部品が載せられるステージと、
前記ベースに対して前記ステージを移動させるステージ移動機構と、を備え、
前記ステージ移動機構は、
前記ベースに対して前記ステージを、回転軸線に対して直角を成すＸＹ方向に移動させるＸＹ移動装置と、
前記ベースに対して前記ステージを、前記回転軸線を基準とした回転方向に回転させる回転移動装置と、を含み、
前記回転移動装置は、
回転方向駆動源と、
前記回転方向駆動源から出力される駆動力によって、前記ステージとともに前記回転方向に回転させられる回転支持部と、
前記回転方向駆動源から出力される駆動力を前記回転支持部に伝える回転中継部であって、前記回転方向駆動源に対する前記回転支持部の前記ＸＹ方向への移動を許容する回転中継部と、を含む、
ステージユニット。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記回転中継部は、
前記回転支持部に取り付けられる第１カップリングと、
前記回転方向駆動源に取り付けられる第２カップリングと、
前記第１カップリング及び前記第２カップリングに連結され、前記第１カップリングと前記第２カップリングとの間の前記ＸＹ方向の相対位置に応じて姿勢を変えるカップリング連結部と、を有する、
請求項１に記載のステージユニット。
【請求項３】
前記回転中継部は、
前記回転支持部に取り付けられる第１カップリングと、
前記回転方向駆動源に取り付けられる第２カップリングと、を備え、
前記第１カップリング及び前記第２カップリングは、互いに対して前記ＸＹ方向にスライド可能なように、互いに取り付けられる、
請求項１に記載のステージユニット。
【請求項４】
前記ＸＹ移動装置は、
第１方向駆動源と、前記第１方向駆動源から出力される駆動力によって前記ステージとともに第１方向に移動させられる第１方向可動部とを有する第１方向駆動ユニットと、
第２方向駆動源と、前記第２方向駆動源から出力される駆動力によって前記ステージとともに第２方向に移動させられる第２方向可動部とを有する第２方向駆動ユニットと、
前記ベース及び前記ステージに取り付けられ、前記ベース及び前記ステージのうちの一方と前記第２方向可動部との間に配置される第１方向ガイドユニットであって、前記ベースに対する前記ステージの第１方向への移動を許容する第１方向ガイドユニットと、
前記ベース及び前記ステージに取り付けられ、前記ベース及び前記ステージのうちの一方と前記第１方向可動部との間に配置される第２方向ガイドユニットであって、前記ベースに対する前記ステージの第２方向への移動を許容する第２方向ガイドユニットと、
を含む、
請求項１に記載のステージユニット。
【請求項５】
第１方向及び第２方向は、互いに対して直角を成す、
請求項４に記載のステージユニット。
【請求項６】
前記第１方向可動部は、前記第２方向ガイドユニットを介して前記ステージに取り付けられ、
前記第２方向可動部は、前記第１方向ガイドユニットを介して前記ステージに取り付けられる、
請求項４に記載のステージユニット。
【請求項７】
前記第１方向駆動源、前記第２方向駆動源及び前記回転方向駆動源は、前記ベースによって固定的に支持される、
請求項４に記載のステージユニット。
【請求項８】
前記第１方向可動部の移動軌道及び前記第２方向可動部の移動軌道のうちの少なくともいずれか一方の少なくとも一部を区画する逃げ区画部を備える、
請求項４に記載のステージユニット。
【請求項９】
請求項１～８のいずれか一項に記載のステージユニットと、
前記電子部品を前記ステージに載せる載置装置と、
前記ステージに載せられる前の前記電子部品の画像データを取得する撮像装置と、
前記画像データに基づいて前記ステージ移動機構を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記画像データを解析することで得られる前記電子部品の状態を示す状態情報に基づいて、前記ステージ移動機構を制御することで、前記ステージの位置及び方位を調整する、
処理システム。
【請求項１０】
前記状態情報は、前記電子部品の位置の基準位置からのズレを示す位置情報と、前記電子部品の方位の基準方位からのズレを示す方位情報と、を含む、
請求項９に記載の処理システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子部品が載せられるステージユニットと、そのようなステージユニットを備える処理システムとに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
電子部品の検査等の処理を精度良く行うために、電子部品の位置調整が行われる。
【０００３】
例えば特許文献１は、載置面と、載置面に載置される電子部品との間の位置決めの調整を行う装置を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－１２０５６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子部品の位置調整のために、電子部品が載せられるステージをＸ方向、Ｙ方向及びθ方向（回転方向）に移動させるステージユニットを利用することが可能である。
【０００６】
このようなステージユニットは、例えば、ステージをＸ方向に移動させるための駆動源（Ｘ軸モータ）と、ステージをＹ方向に移動させるための駆動源（Ｙ軸モータ）と、ステージをθ方向に移動（回転）させるための駆動源（回転モータ）とを備える。この場合、ステージをＸ方向に移動させる際に、Ｙ軸モータ及び回転モータもステージとともにＸ方向に移動させたり、ステージをＹ方向に移動させる際に、Ｘ軸モータ及び回転モータもステージとともにＹ方向に移動させたりすることが必要になることがある。
【０００７】
Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ及び回転モータは、通常、ある程度の大きさ及び重量を有する。そのため、ステージの移動に応じてＸ軸モータ、Ｙ軸モータ及び回転モータの全体を移動させることは、好ましくないことがある。例えば、電子部品の位置調整のためにステージを移動させる場合、モータがステージとともに移動することで移動部分の全体に作用する慣性（イナーシャ）が増大するため、ステージの移動速度及び移動精度を上げることが難しくなる。
【０００８】
本開示は、電子部品が載せられるステージを移動させるのに有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の一態様は、ベースと、電子部品が載せられるステージと、ベースに対してステージを移動させるステージ移動機構と、を備え、ステージ移動機構は、ベースに対してステージを、回転軸線に対して直角を成すＸＹ方向に移動させるＸＹ移動装置と、ベースに対してステージを、回転軸線を基準とした回転方向に回転させる回転移動装置と、を含み、回転移動装置は、回転方向駆動源と、回転方向駆動源から出力される駆動力によって、ステージとともに回転方向に回転させられる回転支持部と、回転方向駆動源から出力される駆動力を回転支持部に伝える回転中継部であって、回転方向駆動源に対する回転支持部のＸＹ方向への移動を許容する回転中継部と、を含む、ステージユニットに関する。
【００１０】
回転中継部は、回転支持部に取り付けられる第１カップリングと、回転方向駆動源に取り付けられる第２カップリングと、第１カップリング及び第２カップリングに連結され、第１カップリングと第２カップリングとの間のＸＹ方向の相対位置に応じて姿勢を変えるカップリング連結部と、を有してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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