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公開番号2025133540
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-11
出願番号2024031553
出願日2024-03-01
発明の名称懸濁物質濃度の測定装置、懸濁物質濃度の測定方法、晶析反応システム、および晶析反応方法
出願人オルガノ株式会社
代理人弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類G01N 1/00 20060101AFI20250904BHJP(測定;試験)
要約【課題】懸濁物質を含む液体中の懸濁物質の濃度を安定して測定することができ、処理の安定性の向上や運転管理者の負荷低減および安全性の確保が可能となる、懸濁物質濃度の測定装置を提供する。
【解決手段】懸濁物質含有液体を採液する採液配管30と、採液配管30に設置された第1バルブ20と、採液配管30が接続され、懸濁物質含有液体を貯留する測定容器12と、測定容器12の内部を負圧にするための吸気装置14と、測定容器12と吸気装置14とを接続する吸気配管32と、吸気配管32に設置された第2バルブ22と、測定容器12内の懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定するための濃度測定装置と、を備え、吸気装置14によって測定容器12の内部を負圧にし、その負圧を利用することによって、測定容器12内に所定量の懸濁物質含有液体を採液し、懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定する、懸濁物質濃度の測定装置2である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
懸濁物質を含む懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定する懸濁物質濃度の測定装置であって、
前記懸濁物質含有液体を採液する採液配管と、
前記採液配管に設置された第１のバルブと、
前記採液配管が接続され、前記懸濁物質含有液体を貯留する測定容器と、
前記測定容器の内部を負圧にするための吸気装置と、
前記測定容器と前記吸気装置とを接続する吸気配管と、
前記吸気配管に設置された第２のバルブと、
前記測定容器内の前記懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定するための濃度測定装置と、
を備え、
前記吸気装置によって前記測定容器の内部を負圧にし、その負圧を利用することによって、前記測定容器内に所定量の前記懸濁物質含有液体を採液し、前記濃度測定装置によって前記測定容器内の前記懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定することを特徴とする懸濁物質濃度の測定装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の懸濁物質濃度の測定装置であって、
洗浄装置をさらに備えることを特徴とする懸濁物質濃度の測定装置。
【請求項３】
請求項１に記載の懸濁物質濃度の測定装置であって、
前記測定容器に接続され、前記懸濁物質含有液体を排出する排出配管と、
前記排出配管に設置された第３のバルブと、
をさらに備えることを特徴とする懸濁物質濃度の測定装置。
【請求項４】
請求項１に記載の懸濁物質濃度の測定装置であって、
前記懸濁物質含有液体が半導体工場の排水を処理する水処理装置から得られた水であることを特徴とする懸濁物質濃度の測定装置。
【請求項５】
請求項１に記載の懸濁物質濃度の測定装置であって、
前記懸濁物質含有液体中の懸濁物質の少なくとも一部がフッ化カルシウムであることを特徴とする懸濁物質濃度の測定装置。
【請求項６】
フッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加してフッ化カルシウムの結晶を生成させ、フッ化カルシウムの結晶を回収する晶析反応システムであって、
前記フッ素を含む被処理水に前記カルシウム剤を添加して前記フッ化カルシウムの結晶を生成させる晶析反応槽と、
前記晶析反応槽内の懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定する、請求項１～５のいずれか１項に記載の懸濁物質濃度の測定装置と、
を備えることを特徴とする晶析反応システム。
【請求項７】
懸濁物質を含む懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定する懸濁物質濃度の測定方法であって、
測定容器の内部を負圧にし、その負圧を利用することによって、前記測定容器内に所定量の前記懸濁物質含有液体を採液する採液工程と、
前記測定容器内の前記懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定する測定工程と、
を含むことを特徴とする懸濁物質濃度の測定方法。
【請求項８】
請求項７に記載の懸濁物質濃度の測定方法であって、
洗浄工程をさらに含むことを特徴とする懸濁物質濃度の測定方法。
【請求項９】
請求項７に記載の懸濁物質濃度の測定方法であって、
前記懸濁物質含有液体が半導体工場の排水を処理する水処理装置から得られた水であることを特徴とする懸濁物質濃度の測定方法。
【請求項１０】
請求項７に記載の懸濁物質濃度の測定方法であって、
前記懸濁物質含有液体中の懸濁物質の少なくとも一部がフッ化カルシウムであることを特徴とする懸濁物質濃度の測定方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、懸濁物質を含む液体中の懸濁物質の濃度を測定する懸濁物質濃度の測定装置、懸濁物質濃度の測定方法、その測定装置を備える晶析反応システム、およびその測定方法を含む晶析反応方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
懸濁物質を含む原水に凝集剤を添加してフロックを形成させ、沈殿槽内で汚泥の沈降分離を行う凝集沈殿処理において、例えば特許文献１のように、沈殿槽内の汚泥濃度をコントロールし、沈殿槽内の汚泥を循環利用することによって、沈殿処理水の水質を向上させる方法がある。
【０００３】
しかし、特許文献１のように、沈殿槽内の汚泥濃度をコントロールするために沈殿槽に汚泥濃度計や界面計を水没させて使用する場合、センサ部の汚れなどによって沈殿槽内の汚泥濃度を正しく測定できない場合がある。
【０００４】
また、半導体工場などから排出されるフッ酸含有排液は、フッ素の濃度を放流基準以下にする、またはフッ酸を有価物として再利用するなどの目的を達成するために、特許文献２のように、晶析反応槽内でフッ素を含む被処理水にカルシウム剤を添加して難溶性のフッ化カルシウムを生成する晶析反応の技術によって処理する方法が広く知られている。
【０００５】
このような晶析反応において、フッ素の回収率を上げるため、生成したフッ化カルシウムの結晶の引抜量や晶析の核とする種晶の添加量などを調整し、晶析反応槽内のスラリー濃度を所定の範囲に管理することが求められている。特許文献２では、晶析反応槽内のスラリー濃度を所定の範囲に管理するために結晶濃度計を用いている。
【０００６】
しかし、特許文献２のように、結晶濃度計、例えば超音波式濃度計を用いてスラリー濃度を測定する場合、晶析反応槽のような高濃度スラリーは測定範囲を超えたり、カルシウムなどによるスケール発生によって頻繁にセンサの洗浄が必要になったりする可能性がある。さらに、特許文献２には、作業者が晶析反応槽内のスラリー溶液を何らかの手法でサンプリングし、結晶の沈降体積を測定する方法も記載されている。しかし、サンプリングのときに作業者がフッ酸を含むスラリー溶液を扱う危険性があることや、測定に時間を要するためにスラリー濃度の変動に対して結晶の引抜量や種晶の添加量などが適切に追従できない場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１２－０４５４９４号公報
特許第５９４１３２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、懸濁物質を含む液体中の懸濁物質の濃度を安定して測定することができ、処理の安定性の向上や運転管理者の負荷低減および安全性の確保が可能となる、懸濁物質濃度の測定装置、懸濁物質濃度の測定方法、その測定装置を備える晶析反応システム、およびその測定方法を含む晶析反応方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、懸濁物質を含む懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定する懸濁物質濃度の測定装置であって、前記懸濁物質含有液体を採液する採液配管と、前記採液配管に設置された第１のバルブと、前記採液配管が接続され、前記懸濁物質含有液体を貯留する測定容器と、前記測定容器の内部を負圧にするための吸気装置と、前記測定容器と前記吸気装置とを接続する吸気配管と、前記吸気配管に設置された第２のバルブと、前記測定容器内の前記懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定するための濃度測定装置と、を備え、前記吸気装置によって前記測定容器の内部を負圧にし、その負圧を利用することによって、前記測定容器内に所定量の前記懸濁物質含有液体を採液し、前記濃度測定装置によって前記測定容器内の前記懸濁物質含有液体中の懸濁物質の濃度を測定する、懸濁物質濃度の測定装置である。
【００１０】
前記懸濁物質濃度の測定装置において、洗浄装置をさらに備えることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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