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公開番号2025124495
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-26
出願番号2024020593
出願日2024-02-14
発明の名称部品保持装置
出願人株式会社東京ウエルズ
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250819BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】コンパクトな構成で、電子部品にかかる荷重を抑えることが可能な部品保持装置を提供する。
【解決手段】制御保持部42は、押圧設定値未満の大きさの力が接続部材31に対して退避方向D2に作用した場合、接続部材31及び部品保持部の制御保持部42に対する退避方向D2への相対的な移動を許容することなく、接続部材31を支持する。一方、押圧設定値以上の大きさの力が接続部材31に対して退避方向D2に作用した場合、制御保持部42は、接続部材31及び部品保持部の制御保持部42に対する退避方向D2への相対的な移動を許容し、接続部材31が、磁力に抗し、部品保持部とともに制御保持部42に対して相対的に退避方向D2に移動する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
電子部品の持ち上げ及び電子部品の放出のうちの少なくともいずれか一方を行う部品保持装置であって、
押し当てられる前記電子部品を保持するように構成される部品保持部と、
前記部品保持部に接続される接続部材と、磁力を介して前記接続部材を支持する制御保持部と、を有する荷重制御部と、
前記部品保持部を、前記制御保持部を介して前記接続部材を支持し、前記電子部品に対して前進方向に押し当てるように、前記接続部材及び前記制御保持部とともに移動させるピックアップ移動駆動部と、を備え、
前記制御保持部は、
押圧設定値未満の大きさの力が前記接続部材に対して前記前進方向とは逆向きの退避方向に作用した場合、前記接続部材及び前記部品保持部の前記制御保持部に対する前記退避方向への相対的な移動を許容することなく、前記接続部材を支持し、
前記押圧設定値以上の大きさの力が前記接続部材に対して前記退避方向に作用した場合、前記接続部材及び前記部品保持部の前記制御保持部に対する前記退避方向への相対的な移動を許容し、前記接続部材が、前記磁力に抗し、前記部品保持部とともに前記制御保持部に対して相対的に前記退避方向に移動する、
部品保持装置。
続きを表示（約 860 文字）【請求項２】
複数の前記部品保持部を移動可能に支持し、前記複数の部品保持部を処理位置に順次位置づける保持移動支持部を備え、
前記ピックアップ移動駆動部は、前記処理位置に位置づけられる前記部品保持部を選択的に前記前進方向に移動させる、
請求項１に記載の部品保持装置。
【請求項３】
前記接続部材は、前記前進方向に延在し且つ一端側において前記部品保持部に接続される支持延在部と、前記前進方向に作用する前記制御保持部からの前記磁力を受ける磁力作用部と、を有し、
前記磁力作用部は、前記磁力作用部と前記制御保持部との間に介在するスペーサーを介し、前記磁力を受ける、
請求項１又は２に記載の部品保持装置。
【請求項４】
前記制御保持部の温度を調整する温度調整部を備える、
請求項１又は２に記載の部品保持装置。
【請求項５】
前記制御保持部に流される電流を、ＰＷＭ方式で制御する通電制御部を備え、
前記磁力の大きさは、前記制御保持部に流される電流の大きさに応じて可変である、
請求項１又は２に記載の部品保持装置。
【請求項６】
前記ピックアップ移動駆動部は、動力発生部と、前記動力発生部から出力される動力に応じて昇降方向に沿って昇降する昇降延在部と、を有し、
前記制御保持部は、前記昇降延在部に取り付けられ、前記昇降延在部とともに前記昇降方向に昇降し、
前記接続部材は、前記制御保持部を貫通するように前記昇降方向に延在し且つ一端側において前記制御保持部から突出する突出部と、前記突出部の他端側に接続され且つ前記制御保持部を介して前記部品保持部とは反対側で前記制御保持部と前記昇降方向に重なるように延在する重なり部であって、前記磁力を介して前記制御保持部により支持され且つ前記制御保持部を介して前記昇降延在部に取り付けられる重なり部と、を有する、
請求項１又は２に記載の部品保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子部品を保持する部品保持装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスなどの各種機器に用いられる電子部品は、製造処理、検査処理、梱包処理及び搬送処理などの様々な場面において、ピックアップ装置などの部品保持装置によって載置面から持ち上げられたり、載置面に置かれたりする。
【０００３】
部品保持装置は、対象の電子部品に接触して荷重をかけつつ当該電子部品を保持し、その後、当該電子部品を持ち上げる。そのため、部品保持装置によって電子部品に過度な荷重がかからないようにするため、電子部品にかかる荷重を制限するための様々な構成が提案されている。例えば、スプリング又はボイスコイルモータ（ＶＣＭ：Voice Coil Motor）を利用して電子部品にかかる荷重の一部を吸収することで、電子部品にかかる荷重を抑えることが可能である。
【０００４】
特許文献１は、ボイスコイルモータから出力される推力を利用して、電子部品に吸着ノズルを押し当てて吸着する電子部品保持装置を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０１２／０７３２８２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本開示は、コンパクトな構成で、電子部品にかかる荷重を抑えることが可能な部品保持装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一態様は、電子部品の持ち上げ及び電子部品の放出のうちの少なくともいずれか一方を行う部品保持装置であって、押し当てられる電子部品を保持するように構成される部品保持部と、部品保持部に接続される接続部材と、磁力を介して接続部材を支持する制御保持部と、を有する荷重制御部と、部品保持部を、制御保持部を介して接続部材を支持し、電子部品に対して前進方向に押し当てるように、接続部材及び制御保持部とともに移動させるピックアップ移動駆動部と、を備え、制御保持部は、押圧設定値未満の大きさの力が接続部材に対して前進方向とは逆向きの退避方向に作用した場合、接続部材及び部品保持部の制御保持部に対する退避方向への相対的な移動を許容することなく、接続部材を支持し、押圧設定値以上の大きさの力が接続部材に対して退避方向に作用した場合、接続部材及び部品保持部の制御保持部に対する退避方向への相対的な移動を許容し、接続部材が、磁力に抗し、部品保持部とともに制御保持部に対して相対的に退避方向に移動する、部品保持装置に関する。
【０００８】
部品保持装置は、複数の部品保持部を移動可能に支持し、複数の部品保持部を処理位置に順次位置づける保持移動支持部を備え、ピックアップ移動駆動部は、処理位置に位置づけられる部品保持部を選択的に前進方向に移動させてもよい。
【０００９】
接続部材は、前進方向に延在し且つ一端側において部品保持部に接続される支持延在部と、前進方向に作用する制御保持部からの磁力を受ける磁力作用部と、を有し、磁力作用部は、磁力作用部と制御保持部との間に介在するスペーサーを介し、磁力を受けてもよい。
【００１０】
部品保持装置は、制御保持部の温度を調整する温度調整部を備えてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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