特許ウォッチ

公開番号2025122539
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-21
出願番号2024018104
出願日2024-02-08
発明の名称基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250814BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ハーフピッチよりも狭い狭ピッチでかつフェース・ツー・フェースで複数枚の基板を容易に整列させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】
基板処理装置1の姿勢変換部19は、基準ピッチ保持溝63A,63Bおよび2/3ピッチ保持溝65A,65Bを有する鉛直保持部39.40と、保持溝切替駆動部71とを備える。基準ピッチ保持溝63A,63Bは、基準ピッチで配置される。2/3ピッチ保持溝65A,65Bは、基準ピッチの2/3倍である2/3ピッチで配置される。保持溝切替駆動部71は、プッシャ部材にフェース・ツー・バックで整列された50枚の基板Wを形成するときは、基準ピッチ保持溝63A,63Bを使用できる状態にし、また、プッシャ部材に保持された50枚の基板Wをフェース・ツー・フェースで並べ替えるときは、2/3ピッチ保持溝65A,65Bを使用できる状態にする。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
複数枚の基板を一括して処理する基板処理装置において、
基準ピッチで鉛直方向に配置され、かつ水平姿勢の１枚の基板を各々保持する複数個のハンドを有する基板ハンドリング機構と、
前記基板ハンドリング機構から順番に受け取った、３以上の自然数であるＮ個の基板群であって、前記基準ピッチで整列された２枚以上の基板により各々構成される前記Ｎ個の基板群を、個別に、水平姿勢から鉛直姿勢に変換する姿勢変換部と、
前記基準ピッチの１／Ｎ倍である１／Ｎピッチで整列された前記複数枚の基板を鉛直姿勢で保持するプッシャ部材を有するプッシャ機構であって、前記複数枚の基板が整列される整列方向に前記プッシャ部材を前記１／Ｎピッチずつずらしながら、前記姿勢変換部から受け取った前記Ｎ個の基板群を前記プッシャ部材に１列に整列させることで、前記プッシャ部材に前記複数枚の基板を形成する前記プッシャ機構と、
を備え、
前記姿勢変換部は、
支持台と、
前記支持台の支持面に対して直角に延びるように設けられた、前記Ｎ個の基板群のうちの１個の基板群を水平姿勢で保持する１対の水平保持部と、
前記支持台の前記支持面に対して直角に延びるように設けられた、複数対の基準ピッチ保持溝および複数対の２／Ｎピッチ保持溝を有する１対の鉛直保持部と、
水平軸回りに前記支持台を回転させる回転駆動部と、
前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態と前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態とを切り替える切替駆動部と、を備え、
前記複数対の基準ピッチ保持溝は、前記１対の鉛直保持部が延びる延び方向に前記基準ピッチで配置され、
前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝は、前記延び方向に前記基準ピッチの２／Ｎ倍である２／Ｎピッチで配置され、
前記切替駆動部は、
前記プッシャ部材にフェース・ツー・バックで整列された前記複数枚の基板を形成するときは、前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態にし、また、
前記プッシャ部材に保持された前記複数枚の基板をフェース・ツー・フェースで並べ替えるときは、前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態にすることを特徴とする基板処理装置。
続きを表示（約 2,400 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記１対の鉛直保持部の第１の鉛直保持部は、自身を通過し、かつ前記支持面に対して直角に延びる第１回転軸周りに回転可能であり、
前記第１の鉛直保持部は、前記第１回転軸周りに設けられた第１外周面および第２外周面を有し、
前記１対の鉛直保持部の第２の鉛直保持部は、自身を通過し、かつ前記支持面に対して直角に延びる第２回転軸回りに回転可能であり、
前記第２の鉛直保持部は、前記第２回転軸回りに設けられた第３外周面および第４外周面を有し、
前記第１外周面および前記第３外周面には、前記複数対の基準ピッチ保持溝が設けられており、
前記第２外周面および前記第４外周面には、前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝が設けられており、
前記切替駆動部は、前記第１の鉛直保持部を前記第１回転軸回りに回転させ、また、前記第２の鉛直保持部を前記第２回転軸回りに回転させることで、前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態と前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態とを切り替えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理装置において、
前記第１の鉛直保持部は、前記第１外周面および前記第２外周面に加えて、前記第１回転軸回りに設けられた第５外周面および第６外周面を有し、
前記第２の鉛直保持部は、前記第３外周面および前記第４外周面に加えて、前記第２回転軸回りに設けられた第７外周面および第８外周面を有し、
前記第５外周面および前記第７外周面には、前記延び方向に前記基準ピッチで配置された複数対の処理後用基準ピッチ保持溝が設けられており、
前記第６外周面および前記第８外周面には、前記延び方向に前記２／Ｎピッチで配置された複数対の処理後用２／Ｎピッチ保持溝が設けられており、
前記切替駆動部は、前記第１の鉛直保持部を前記第１回転軸回りに回転させ、また、前記第２の鉛直保持部を前記第２回転軸回りに回転させることで、前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態と、前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態と、前記複数対の処理後用基準ピッチ保持溝を使用できる状態と、前記複数対の処理後用２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態とを切り替え、
前記切替駆動部は、
前記プッシャ部材に保持された前記複数枚の基板をフェース・ツー・バックで並べ替えるときは、前記複数対の処理後用２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態にし、また、
前記プッシャ部材に保持された前記複数枚の基板を前記Ｎ個の基板群に分解するときは、前記複数対の処理後用基準ピッチ保持溝を使用できる状態にすることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１に記載の基板処理装置において、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記切替駆動部により、前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態にさせ、
前記姿勢変換部により、前記基板ハンドリング機構から前記Ｎ個の基板群を順番に受け取り、また、
前記姿勢変換部により、前記Ｎ個の基板群を個別に、水平姿勢から鉛直姿勢に変換させ、
前記プッシャ機構により、前記プッシャ部材を前記整列方向に前記１／Ｎピッチずつずらしながら、前記プッシャ部材により、前記Ｎ個の基板群を順番に受け取らせることで、前記Ｎ個の基板群から形成され、また、前記１／Ｎピッチでかつフェース・ツー・バックで整列された前記複数枚の基板を前記プッシャ部材に保持させ、
前記切替駆動部により、前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態にさせ、
前記１対の鉛直保持部により、２枚以上の第１基板および２枚以上の第２基板が交互に配置された前記複数枚の基板のうちの前記２／Ｎピッチで整列された前記２枚以上の第１基板を前記プッシャ部材から受け取り、
前記プッシャ機構により、前記２枚以上の第２基板を鉛直姿勢で保持する前記プッシャ部材を鉛直軸回りに１８０度回転させ、
前記２枚以上の第１基板と、１８０度回転された前記２枚以上の第２基板とを交互に配置させながら、前記プッシャ部材により、前記２枚以上の第１基板を前記１対の鉛直保持部から受け取ることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記１／Ｎピッチでかつフェース・ツー・フェースで整列された前記複数枚の基板を一括して処理する基板処理部と、
前記１／Ｎピッチでかつフェース・ツー・フェースで整列された前記複数枚の基板を前記基板処理部に搬送する主搬送機構と、
を更に備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項１、２、４、５のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記Ｎ個の基板群は、３個の基板群であり、
前記１／Ｎピッチは、前記基準ピッチの１／３倍である１／３ピッチであり、
前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝は、前記延び方向に前記基準ピッチの２／３倍である２／３ピッチで配置される複数対の２／３ピッチ保持溝であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項３に記載の基板処理装置において、
前記Ｎ個の基板群は、３個の基板群であり、
前記１／Ｎピッチは、前記基準ピッチの１／３倍である１／３ピッチであり、
前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝は、前記延び方向に前記基準ピッチの２／３倍である２／３ピッチで配置される複数対の２／３ピッチ保持溝であり、
前記複数対の処理後２／Ｎピッチ保持溝は、前記延び方向に２／３ピッチで配置された複数対の処理後２／３ピッチ保持溝であることを特徴とする基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を処理する基板処理装置に関する。基板は、例えば、半導体基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが挙げられる。ＦＰＤは、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ（electroluminescence）表示装置などが挙げられる。
続きを表示（約 3,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複数枚の基板を一括して処理液に浸漬して処理する基板処理装置が知られている。この基板処理装置は、姿勢変換機構（姿勢変換部）とプッシャ（プッシャ機構）を備える（例えば、特許文献１参照）。姿勢変換機構は、水平姿勢と垂直姿勢との間で基板の姿勢を変換する。プッシャは、昇降保持部（プッシャ部材）の上下動によって、姿勢変換機構との間で垂直姿勢の複数枚の基板を受け渡すことができる。
【０００３】
姿勢変換機構から２５枚の基板が昇降保持部に渡された後に、昇降保持部が鉛直軸回りに１８０度旋回する。１８０度の旋回により、保持された２５枚の基板がハーフピッチだけ移動する。この状態で、姿勢変換機構から別の２５枚の基板が昇降保持部に渡される。これにより、後で渡された２５枚の基板は、先に渡された２５枚の基板の間に入り込み、合計で５０枚の基板からなる基板群が昇降保持部上に形成される。このとき、隣り合う２枚の基板は各前面同士（または裏面同士）が対向したフェース・ツー・フェース状態となる。また、昇降保持部で保持された５０枚の基板は、キャリア内での基板保持ピッチの半分のハーフピッチで整列する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－０９３２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板処理装置の処理液（薬液及び洗浄液）の使用量を削減するために、ハーフピッチよりも更に狭いピッチで複数枚の基板を整列させ、この狭いピッチで整列された複数枚の基板を一括して処理したいという要望がある。また、この場合、ハーフピッチよりも狭い狭ピッチで整列された複数枚の基板をフェース・ツー・フェース状態にすることが難しい場合がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ハーフピッチよりも狭い狭ピッチでかつフェース・ツー・フェースで複数枚の基板を容易に整列させることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、本発明に係る基板処理装置は、複数枚の基板を一括して処理する基板処理装置において、基準ピッチで鉛直方向に配置され、かつ水平姿勢の１枚の基板を各々保持する複数個のハンドを有する基板ハンドリング機構と、前記基板ハンドリング機構から順番に受け取った、３以上の自然数であるＮ個の基板群であって、前記基準ピッチで整列された２枚以上の基板により各々構成される前記Ｎ個の基板群を、個別に、水平姿勢から鉛直姿勢に変換する姿勢変換部と、前記基準ピッチの１／Ｎ倍である１／Ｎピッチで整列された前記複数枚の基板を鉛直姿勢で保持するプッシャ部材を有するプッシャ機構であって、前記複数枚の基板が整列される整列方向に前記プッシャ部材を前記１／Ｎピッチずつずらしながら、前記姿勢変換部から受け取った前記Ｎ個の基板群を前記プッシャ部材に１列に整列させることで、前記プッシャ部材に前記複数枚の基板を形成する前記プッシャ機構と、を備え、前記姿勢変換部は、支持台と、前記支持台の支持面に対して直角に延びるように設けられた、前記Ｎ個の基板群のうちの１個の基板群を水平姿勢で保持する１対の水平保持部と、前記支持台の前記支持面に対して直角に延びるように設けられた、複数対の基準ピッチ保持溝および複数対の２／Ｎピッチ保持溝を有する１対の鉛直保持部と、水平軸回りに前記支持台を回転させる回転駆動部と、前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態と前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態とを切り替える切替駆動部と、を備え、前記複数対の基準ピッチ保持溝は、前記１対の鉛直保持部が延びる延び方向に前記基準ピッチで配置され、前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝は、前記延び方向に前記基準ピッチの２／Ｎ倍である２／Ｎピッチで配置され、前記切替駆動部は、前記プッシャ部材にフェース・ツー・バックで整列された前記複数枚の基板を形成するときは、前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態にし、また、前記プッシャ部材に保持された前記複数枚の基板をフェース・ツー・フェースで並べ替えるときは、前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態にすることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明に係る基板処理装置によれば、姿勢変換部の一対の鉛直保持部は、複数対の基準ピッチ保持溝および複数対の２／Ｎピッチ保持溝を有する。複数対の基準ピッチ保持溝は、基準ピッチで配置される。また、複数対の２／Ｎピッチ保持溝は、基準ピッチの２／Ｎ倍である２／Ｎピッチで配置される。切替駆動部は、複数対の基準ピッチ保持溝が使用可能な状態に切り替える。これにより、プッシャ機構は、１／Ｎピッチずつ移動させながら、基準ピッチで各々整列された複数個の基板群をプッシャ部材に保持させることができる。そのため、一旦、プッシャ部材には、１／Ｎピッチでかつフェース・ツー・バックで整列された複数枚の基板が保持される。
【０００９】
そして、姿勢変換部の切替駆動部は、複数対の２／Ｎピッチ保持溝が使用可能な状態に切り替える。これにより、姿勢変換部は、２枚以上の第１基板と２枚以上の第２基板とが交互に配置された複数枚の基板のうちの２枚以上の第１基板を、プッシャ部材が保持する複数枚の基板から抜き出すことができる。その後、プッシャ機構は、プッシャ部材上に残された２枚以上の第２基板を鉛直軸回りに１８０度回転させる。その後、プッシャ部材には、姿勢変換部が抜き取った２枚以上の第１基板が戻される。これにより、プッシャ部材には、１／Ｎピッチでかつフェース・ツー・フェースで整列された複数枚の基板が保持される。したがって、ハーフピッチよりも狭い１／Ｎピッチでかつフェース・ツー・フェースで複数枚の基板を容易に整列させることができる。
【００１０】
また、上述の基板処理装置において、前記１対の鉛直保持部の第１の鉛直保持部は、自身を通過し、かつ前記支持面に対して直角に延びる第１回転軸周りに回転可能であり、前記第１の鉛直保持部は、前記第１回転軸周りに設けられた第１外周面および第２外周面を有し、前記１対の鉛直保持部の第２の鉛直保持部は、自身を通過し、かつ前記支持面に対して直角に延びる第２回転軸回りに回転可能であり、前記第２の鉛直保持部は、前記第２回転軸回りに設けられた第３外周面および第４外周面を有し、前記第１外周面および前記第３外周面には、前記複数対の基準ピッチ保持溝が設けられており、前記第２外周面および前記第４外周面には、前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝が設けられており、前記切替駆動部は、前記第１の鉛直保持部を前記第１回転軸回りに回転させ、また、前記第２の鉛直保持部を前記第２回転軸回りに回転させることで、前記複数対の基準ピッチ保持溝を使用できる状態と前記複数対の２／Ｎピッチ保持溝を使用できる状態とを切り替えることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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