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公開番号2025116791
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-08
出願番号2024115436
出願日2024-07-19
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20250801BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】膜の欠陥を高確度で判定することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】本開示に係る検査装置1は、膜50を透過する第1光L1で膜50を照明して膜50の第1面51側から第1観察光R1を受光する第1光学系10と、膜50の第1面51で反射する第2光L2で膜50を第1面51側から照明して第1面51側から第2観察光R2を受光する第2光学系20と、第1光学系10での明視野観察の観察結果、及び、第2光学系20での暗視野観察の観察結果の組み合わせに基づいて、膜50の欠陥DFの位置が、膜50の第1面51より上方における欠陥DFまたは第1面51の下方における欠陥DFのいずれであるかを判定する判定部31と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
膜を透過する第１光で前記膜を照明して前記膜の第１面側から第１観察光を受光する第１光学系と、
前記膜の第１面で反射する第２光で前記膜を第１面側から照明して前記第１面側から第２観察光を受光する第２光学系と、
前記第１光学系での明視野観察の観察結果、及び、前記第２光学系での暗視野観察の観察結果の組み合わせに基づいて、前記膜の厚み方向における前記第１面側を上方、前記第１面の反対側の第２面側を下方としたときの前記膜の欠陥の位置が、前記膜の第１面より上方における前記欠陥または前記第１面より下方における前記欠陥のいずれであるかを判定する判定部と、
を備えた検査装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記判定部は、
前記第１光学系での前記観察結果及び前記第２光学系での前記観察結果の双方で前記欠陥が検出された場合に、前記第１面より上方における前記欠陥と判定し、
前記第１光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出され、かつ、前記第２光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出されない場合に、前記第１面より下方における前記欠陥と判定する、
請求項１に検査装置。
【請求項３】
前記判定部は、
前記第１光学系での前記観察結果及び前記第２光学系での前記観察結果の双方で前記欠陥が検出された場合に、前記第１面の表面上の異物による前記欠陥と判定し、
前記第１光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出され、かつ、前記第２光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出されない場合に、前記第２面の表面上の異物による前記欠陥と判定する、
請求項１に検査装置。
【請求項４】
前記第１光学系は、前記第１光の光軸を前記第１面に対して垂直にし、
前記第２光学系は、前記第２光の光軸を前記第１面に対して傾けた斜入射照明を用いており、
前記第２光学系で前記第２観察光を受光する対物レンズは、前記第１光学系で前記第１観察光を受光する前記対物レンズと共通である、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第１光学系は、前記第１光で前記第１面側から前記膜を照明し、
前記対物レンズは、前記第１光学系の前記第１光を前記膜に対して集光させる、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１光学系における前記第１光は、６００ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長を含み、
前記第２光学系における前記第２光は、３５０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の波長を含み、
前記第２光学系における前記第２光の入射角度は、６０°以上８５°以下を含む、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項７】
前記判定部は、
前記第１光学系での前記観察結果により、前記欠陥の大きさを含む形状を判定し、
前記欠陥の前記形状が所定形状の場合において、前記欠陥の前記膜の厚み方向における位置を判定する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項８】
前記第２光学系は、前記第２光の偏光状態を、前記膜を透過する光量が大きくなる偏光状態へ変更する偏光状態変更、前記第２光の波長を、前記膜を透過する光量が大きくなる波長へ変更する波長変更、及び、前記第２光の入射角を、前記膜を透過する光量が大きくなる入射角へ変更する入射角変更のうち、少なくともいずれかを行った変更暗視野観察を行い、
前記判定部は、前記変更暗視野観察の結果から、前記欠陥の高さ情報を取得し、前記欠陥を分類する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項９】
前記膜は、フォトマスクに取り付けられたペリクルを含む、
請求項４に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記対物レンズの焦点深度は、前記フォトマスクと前記ペリクルとの間の距離よりも小さい、
請求項９に記載の検査装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査装置及び検査方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ペリクルの異物を、ペリクルの表面の異物か裏面の異物かを判別可能な暗視野照明系による検査方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平６－２５８２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ペリクル等の膜の欠陥が膜の表面の欠陥か裏面の欠陥かさらに高確度で判定することが所望されている。
【０００５】
本開示は、上記の問題を解決するためになされたものであり、膜の欠陥を高確度で判定することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示にかかる検査装置は、膜を透過する第１光で前記膜を照明して前記膜の第１面側から第１観察光を受光する第１光学系と、前記膜の第１面で反射する第２光で前記膜を第１面側から照明して前記第１面側から第２観察光を受光する第２光学系と、前記第１光学系での明視野観察の観察結果、及び、前記第２光学系での暗視野観察の観察結果の組み合わせに基づいて、前記膜の厚み方向における前記第１面側を上方、前記第１面の反対側の第２面側を下方としたときの前記膜の欠陥の位置が、前記膜の第１面より上方における前記欠陥または前記第１面より下方における前記欠陥のいずれであるかを判定する判定部と、を備える。
【０００７】
上記検査装置では、前記判定部は、前記第１光学系での前記観察結果及び前記第２光学系での前記観察結果の双方で前記欠陥が検出された場合に、前記第１面より上方における前記欠陥と判定し、前記第１光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出され、かつ、前記第２光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出されない場合に、前記第１面より下方における前記欠陥と判定してもよい。
【０００８】
上記検査装置では、前記判定部は、前記第１光学系での前記観察結果及び前記第２光学系での前記観察結果の双方で前記欠陥が検出された場合に、前記第１面の表面上の異物による前記欠陥と判定し、前記第１光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出され、かつ、前記第２光学系での前記観察結果で前記欠陥が検出されない場合に、前記第２面の表面上の異物による前記欠陥と判定してもよい。
【０００９】
上記検査装置では、前記第１光学系は、前記第１光の光軸を前記第１面に対して垂直にし、前記第２光学系は、前記第２光の光軸を前記第１面に対して傾けた斜入射照明を用いており、前記第２光学系で前記第２観察光を受光する対物レンズは、前記第１光学系で前記第１観察光を受光する前記対物レンズと共通でもよい。
【００１０】
上記検査装置では、前記第１光学系は、前記第１光で前記第１面側から前記膜を照明し、前記対物レンズは、前記第１光学系の前記第１光を前記膜に対して集光させてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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