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公開番号2025103942
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221703
出願日2023-12-27
発明の名称分析システム、分析方法、及びプログラム
出願人株式会社堀場製作所
代理人個人,個人
主分類G01N 23/12 20180101AFI20250702BHJP(測定;試験)
要約【課題】サンプルガスに含まれる影響物質の影響を低減する。
【解決手段】分析システム100は、放射線源55と、検出器57と、取得部7と、演算部591と、を備える。放射線源55は、粒子状物質FPに放射線を照射する。検出器57は、粒子状物質FPを通過した放射線を検出する。取得部7は、放射線と相互作用する影響物質に関する情報を取得する。演算部591は、検出器57により検出された粒子状物質FPを通過した放射線の検出結果と、取得部7により取得された情報と、に基づいて粒子状物質FPを分析する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
サンプルガスに含まれる粒子状物質を分析する分析システムであって、
前記粒子状物質に放射線を照射する放射線源と、
前記粒子状物質を通過した放射線を検出する検出器と、
放射線と相互作用する影響物質に関する情報を取得する取得部と、
前記検出器により検出された前記粒子状物質を通過した放射線の検出結果と、前記取得部により取得された前記情報と、に基づいて前記粒子状物質を分析する演算部と、
を備える、分析システム。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
前記演算部は、前記検出器により検出された前記粒子状物質を通過した放射線の検出結果を前記情報に基づいて補正して補正後検出結果を算出し、
前記補正後検出結果に基づいて前記粒子状物質を分析する、請求項１に記載の分析システム。
【請求項３】
前記演算部は、前記検出器により検出された前記粒子状物質を通過した放射線の検出結果に前記情報に依存するパラメータに関する所定の関数を適用することにより、前記補正後検出結果を算出する、請求項２に記載の分析システム。
【請求項４】
前記情報に依存するパラメータは、放射線の吸収係数である、請求項３に記載の分析システム。
【請求項５】
前記演算部は、前記検出器により検出された前記粒子状物質を通過した放射線の検出結果に基づいて前記粒子状物質を分析して補正前分析結果を取得し、前記補正前分析結果を前記情報に基づいて補正する、請求項１に記載の分析システム。
【請求項６】
前記影響物質は、二酸化炭素、水、一酸化炭素、硫黄酸化物、窒素酸化物の少なくとも１つである、請求項１～５のいずれかに記載の分析システム。
【請求項７】
サンプルガスに含まれる粒子状物質を分析する分析方法であって、
前記粒子状物質に放射線を照射するステップと、
前記粒子状物質を通過した放射線を検出するステップと、
放射線と相互作用する影響物質に関する情報を取得するステップと、
前記粒子状物質を通過した放射線の検出結果と前記情報とに基づいて、前記粒子状物質を分析するステップと、
を備える、分析方法。
【請求項８】
サンプルガスに含まれる粒子状物質を分析する分析方法をコンピュータに実行させるプログラムであって、前記分析方法は、
前記粒子状物質に放射線を照射するステップと、
前記粒子状物質を通過した放射線を検出するステップと、
放射線と相互作用する影響物質に関する情報を取得するステップと、
前記粒子状物質を通過した放射線の検出結果と前記情報とに基づいて、前記粒子状物質を分析するステップと、
を備える、プログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の領域に存在するガスに含まれる粒子状物質を分析する分析装置、当該粒子状物質を分析する分析方法、及び、当該分析方法をコンピュータに実行させるためのプログラムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、所定の環境雰囲気中のガスに含まれる粒子状物質を分析する分析装置が知られている。この分析装置では、上記ガスに含まれる粒子状物質に放射線（例えば、β線）を照射し、粒子状物質を通過した後の放射線の強度に基づいて、ガスに含まれる粒子状物質の濃度（質量濃度）を測定できる（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１０２００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の分析装置においては、粒子状物質を含むガスをサンプリングし、サンプリングしたガス（サンプルガスと呼ぶ）を所定の保持部材に保持させ、保持部材に保持した粒子状物質に放射線を照射している。この分析装置では、放射線は、粒子状物質とだけ相互作用するだけでなく、サンプリングガスに含まれる粒子状物質以外の物質とも相互作用する可能性がある。つまり、粒子状物質を通過した後に検出された放射線は、粒子状物質以外の物質の影響も受けている可能性がある。このように、検出された放射線が粒子状物質以外の物質の影響も受けており、この放射線に基づいて粒子状物質を分析すると、正確な粒子状物質の分析ができなくなる可能性がある。
【０００５】
本発明の目的は、所定の領域に存在するガスに含まれる粒子状物質を放射線を用いて分析する場合に、当該ガスに含まれる粒子状物質以外の放射線と相互作用する物質の影響を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
本発明の一見地に係る分析システムは、サンプルガスに含まれる粒子状物質を分析する分析システムである。分析システムは、放射線源と、検出器と、取得部と、演算部と、を備える。放射線源は、粒子状物質に放射線を照射する。検出器は、粒子状物質を通過した放射線を検出する。取得部は、放射線と相互作用する影響物質に関する情報を取得する。演算部は、検出器により検出された粒子状物質を通過した放射線の検出結果と、取得部により取得された情報と、に基づいて粒子状物質を分析する。
【０００７】
上記の分析システムでは、粒子状物質に放射線を照射し、粒子状物質を通過した放射線の検出結果を用いて粒子状物質を分析する。この場合に、上記の分析システムでは、放射線と相互作用する影響物質に関する情報を取得し、粒子状物質を通過した放射線の検出結果だけでなく、サンプルガスに含まれる影響物質に関する情報も考慮して粒子状物質を分析している。これにより、粒子状物質を通過した放射線の検出結果を用いた粒子状物質の分析結果に対する影響物質の影響を低減することができる。この結果、より正確な粒子状物質の分析結果を得られる。
【０００８】
上記の分析システムにおいて、演算部は、検出器により検出された粒子状物質を通過した放射線の検出結果を上記情報に基づいて補正して補正後検出結果を算出し、補正後検出結果に基づいて粒子状物質を分析してもよい。これにより、粒子状物質を通過した放射線の検出結果に対する影響物質の影響を低減させた検出結果（補正後検出結果）を用いて、影響物質の影響が少ない粒子状物質の分析結果を得られる。
【０００９】
上記の分析システムにおいて、演算部は、検出器により検出された粒子状物質を通過した放射線の検出結果に上記情報に依存するパラメータに関する所定の関数を適用することにより、補正後検出結果を算出してもよい。これにより、粒子状物質を通過した放射線の検出結果に対する数学的な演算により、正確な補正後検出結果を算出できる。
【００１０】
上記の分析システムにおいて、上記情報に依存するパラメータは、放射線の吸収係数であってもよい。これにより、より正確な補正後検出結果を算出できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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