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公開番号2025101213
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-07
出願番号2023217883
出願日2023-12-25
発明の名称液体吐出ヘッドの製造方法
出願人理想テクノロジーズ株式会社
代理人弁理士法人鈴榮特許綜合事務所
主分類B41J 2/16 20060101AFI20250630BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】精度を確保しやすい液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】一実施形態にかかる液体吐出ヘッドの製造方法は、基板の表面と、前記基板の表面に配され片側の側面部がテーパ状に傾斜する圧電部材の前記側面部に、列方向に並ぶ複数の個別電極層を形成することと、前記圧電部材に複数の溝を形成し、前記圧電部材を前記列方向に交互に並ぶ複数の第1圧電素子と複数の第2圧電素子とに分割することと、を備える。前記個別電極層は、前記溝の形成前において、複数の前記第1圧電素子の位置にそれぞれ形成される。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
基板の表面と、前記基板の表面に配され片側の側面部がテーパ状に傾斜する圧電部材の前記側面部に、列方向に並ぶ複数の個別電極層を形成することと、
前記圧電部材に複数の溝を形成し、前記圧電部材を前記列方向に交互に並ぶ複数の第１圧電素子と複数の第２圧電素子とに分割することと、を備え、
前記個別電極層は、前記溝の形成前において、複数の前記第１圧電素子の位置にそれぞれ形成される、液体吐出ヘッドの製造方法。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記溝の形成により、前記圧電部材の、一方向における一方側が分割され、複数の前記第１圧電素子と複数の前記第２圧電素子とが交互に並んで形成されるとともに、
複数の前記第１圧電素子のテーパ状の側面部に形成された複数の前記個別電極層が部分的に除去され、成形される、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記列方向における前記個別電極層の配列のピッチは、前記溝の配列のピッチより大きく、
前記溝の形成により、複数の前記個別電極層が部分的に除去され、前記個別電極層の幅よりも小さい狭幅部を有する個別電極部が形成される、請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記圧電部材は、ＰＺＴを含み積層方向に積層される複数の圧電体層と、複数の内部電極と、を有する積層圧電部材であり、
前記基板の表面と、前記圧電部材の、両側の側面部とを含む領域に電極膜を形成することで、前記片側の側面部に前記個別電極層を形成するとともに、反対側の側面部に、共通電極を構成する共通電極層を形成する、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記基板の表面に一対の前記圧電部材が配され、
一方と他方の前記圧電部材における、複数の前記第１圧電素子と、複数の前記第２圧電素子とは、前記列方向において互い違いに配列されるとともに、
一方と他方の前記圧電部材における、複数の前記個別電極層は、前記列方向において互い違いに配置された前記第１圧電素子に、それぞれ形成され、
複数の前記溝は、一対の前記圧電部材にそれぞれ形成される両側の前記個別電極層に至って形成される、請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタなどの液体吐出装置の駆動源として、ＰＺＴなどの圧電体を用いた圧電アクチュエータが用いられる。例えば圧電部材に溝を形成することで、複数の柱状の圧電素子を形成し、駆動波形を与えて駆動させる駆動圧電素子と、駆動波形を与えず支柱として使用する非駆動圧電素子とが交互に並ぶアクチュエータを形成する。例えばアクチュエータの一方の外部電極を、駆動電圧が個別に印加される個別電極とし、他方の外部電極を、常に同じ電圧（０を含む）が印加される共通電極とする。このような構成において圧電部材の一方側のコーナーを切り欠くことで、個別電極を分離させる方法があるが、圧電素子は脆く微細な形状となるため、実装性を確保することが難しい。
【０００３】
また、平板状の基板に、個別電極側の側面がテーパ状に構成された積層型の圧電部材を設け、基板上に電極を引き出す構造も考えられる。個別電極を圧電部材と基板に形成する方法として、予め電極を形成し、溝を形成した後に、不要な電極をＰＥＰ法により除去する方法が一般的である。しかしながら、溝を先に形成すると、駆動圧電素子又は圧電支柱に形成される膜に露光現像する必要があり、高精度が求められる。また、現像時やエッチング時に、現像液やエッチャントなどの液の流れが溝によって乱れ、パターンの均一性を確保することが難しくなる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第５６６８３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、精度を確保しやすい液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一実施形態にかかる液体吐出ヘッドの製造方法は、基板の表面と、前記基板の表面に配され片側の側面部がテーパ状に傾斜する圧電部材の前記側面部に、列方向に並ぶ複数の個別電極層を形成することと、前記圧電部材に複数の溝を形成し、前記圧電部材を前記列方向に交互に並ぶ複数の第１圧電素子と複数の第２圧電素子とに分割することと、を備える。前記個別電極層は、前記溝の形成前において、複数の前記第１圧電素子の位置にそれぞれ形成される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態に係るインクジェットヘッドの構成を示す断面図。
同インクジェットヘッドの構成を示す断面図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。
実施形態に係るインクジェット記録装置の概略構成を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、実施形態に係る液体吐出ヘッドであるインクジェットヘッド１及び液体吐出装置であるインクジェット記録装置１００について、図１乃至図１１を参照して説明する。図１及び図２は、インクジェットヘッド１の概略構成を示す断面図である。図３乃至図１０はインクジェットヘッドの製造方法を示す説明図であり、図１１は、インクジェット記録装置１００の概略構成を示す説明図である。図中矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは互いに直交する３方向をそれぞれ示す。各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。
【０００９】
図１及び図２に示すように、インクジェットヘッド１は、基板１０と、一対のアクチュエータ部２０と、流路部材４０と、複数のノズル５１を有するノズルプレート５０と、構造部としてのフレーム部６０と、駆動回路７０と、を備える。
【００１０】
一例として、インクジェットヘッド１は、アクチュエータ部２０を２つ備え、複数のノズル５１が列方向（Ｘ方向）に並ぶノズル列、複数の圧力室３１が列方向に並ぶ圧力室列、及び複数の圧電素子２１、２２、が列方向に並ぶ素子列をそれぞれ２列ずつ有する。本実施形態において、複数の圧電体層２１１の積層方向、圧電素子２１、２２の振動方向、振動板３０の振動方向、がそれぞれＺ方向に沿う例を示す。
（【００１１】以降は省略されています）

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