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公開番号2025064000
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023173347
出願日2023-10-05
発明の名称走査型顕微鏡、画素生成方法、及びプログラム
出願人株式会社エビデント
代理人インフォート弁理士法人
主分類G02B 21/00 20060101AFI20250410BHJP(光学)
要約【課題】短周期ノイズに限らず長周期ノイズやドリフトも減少させることができる技術を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡は、サンプルからの光を検出する光検出器と、光検出器の出力信号をサンプリングするサンプリング部と、サンプリング部によりサンプリングされた複数のサンプリングデータに対して、少なくとも積算を含む演算を行う演算部と、演算部の演算結果がノイズであるかシグナルであるかを判定する判定部と、演算部の演算結果と判定部の判定結果とに基づいて画素データを生成する画素生成部とを備える。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
サンプルからの光を検出する光検出器と、
前記光検出器の出力信号をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部によりサンプリングされた複数のサンプリングデータに対して、少なくとも積算を含む演算を行う演算部と、
前記演算部の演算結果がノイズであるかシグナルであるかを判定する判定部と、
前記演算部の演算結果と前記判定部の判定結果とに基づいて画素データを生成する画素生成部と
を備えることを特徴とする走査型顕微鏡。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記画素生成部は、前記判定部によりノイズと判定された前記演算部の演算結果を無効とし、前記判定部によりシグナルと判定された前記演算部の演算結果を有効として、前記画素データを生成する
ことを特徴とする請求項１記載の走査型顕微鏡。
【請求項３】
前記画素生成部は、有効とされた前記演算部の演算結果から無効とされた前記演算部の演算結果の傾向に基づく値を減算して、前記画素データを生成する
ことを特徴とする請求項２記載の走査型顕微鏡。
【請求項４】
前記演算部による演算及び前記判定部による判定を、画素周期よりも短い時間間隔で行う
ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の走査型顕微鏡。
【請求項５】
サンプルからの光を検出する光検出器と、
前記光検出器の出力信号を積分する積分回路と、
前記積分回路の出力信号をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部によりサンプリングされたサンプリングデータがノイズであるかシグナルであるかを判定する判定部と、
前記サンプリングデータと前記判定部の判定結果とに基づいて画素データを生成する画素生成部と
を備え、
前記積分回路による積分、前記サンプリング部によるサンプリング、及び前記判定部による判定を、画素周期よりも短い時間間隔で行う
ことを特徴とする走査型顕微鏡。
【請求項６】
前記画素生成部は、前記判定部によりノイズと判定された前記サンプリングデータを無効とし、前記判定部によりシグナルと判定された前記サンプリングデータを有効として、前記画素データを生成する
ことを特徴とする請求項５記載の走査型顕微鏡。
【請求項７】
前記画素生成部は、有効とされた前記サンプリングデータから無効とされた前記サンプリングデータの傾向に基づく値を減算して、前記画素データを生成する
ことを特徴とする請求項６記載の走査型顕微鏡。
【請求項８】
光検出器の出力信号がサンプリングされた複数のサンプリングデータに対して、少なくとも積算を含む演算を行い、
前記演算の結果がノイズであるかシグナルであるかを判定し、
前記演算の結果と前記判定の結果とに基づいて画素データを生成する
処理をコンピュータが実行することを特徴とする画素生成方法。
【請求項９】
光検出器の出力信号がサンプリングされた複数のサンプリングデータに対して、少なくとも積算を含む演算を行い、
前記演算の結果がノイズであるかシグナルであるかを判定し、
前記演算の結果と前記判定の結果とに基づいて画素データを生成する
処理をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書の開示は、走査型顕微鏡、画素生成方法、及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、走査型顕微鏡が備える光検出ユニットのデジタル検出信号を定期的に取得し、その平均化を行うことで、デジタル検出信号に含まれていたノイズを減少させる技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開第５２６４０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の技術では、平均化を行うことで、デジタル検出信号に含まれていたノイズのうち、短周期ノイズ（ホワイトノイズやスイッチングノイズ）を減少させることはできても長周期ノイズやドリフトを減少させることはできない。
【０００５】
本発明の一側面に係る目的は、短周期ノイズに限らず長周期ノイズやドリフトも減少させることができる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る走査型顕微鏡は、サンプルからの光を検出する光検出器と、前記光検出器の出力信号をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部によりサンプリングされた複数のサンプリングデータに対して、少なくとも積算を含む演算を行う演算部と、前記演算部の演算結果がノイズであるかシグナルであるかを判定する判定部と、前記演算部の演算結果と前記判定部の判定結果とに基づいて画素データを生成する画素生成部とを備える。
【０００７】
本発明の他の一態様に係る走査型顕微鏡は、サンプルからの光を検出する光検出器と、前記光検出器の出力信号を積分する積分回路と、前記積分回路の出力信号をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部によりサンプリングされたサンプリングデータがノイズであるかシグナルであるかを判定する判定部と、前記サンプリングデータと前記判定部の判定結果とに基づいて画素データを生成する画素生成部とを備え、前記積分回路による積分、前記サンプリング部によるサンプリング、及び前記判定部による判定を、画素周期よりも短い時間間隔で行う。
【０００８】
本発明の一態様に係る画素生成方法は、光検出器の出力信号がサンプリングされた複数のサンプリングデータに対して、少なくとも積算を含む演算を行い、前記演算の結果がノイズであるかシグナルであるかを判定し、前記演算の結果と前記判定の結果とに基づいて画素データを生成する処理をコンピュータが実行する。
【０００９】
本発明の一態様に係るプログラムは、光検出器の出力信号がサンプリングされた複数のサンプリングデータに対して、少なくとも積算を含む演算を行い、前記演算の結果がノイズであるかシグナルであるかを判定し、前記演算の結果と前記判定の結果とに基づいて画素データを生成する処理をコンピュータに実行させる。
【発明の効果】
【００１０】
上述の態様によれば、短周期ノイズに限らず長周期ノイズやドリフトも減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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