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公開番号2025056544
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-08
出願番号2023166078
出願日2023-09-27
発明の名称リニアモータ、位置決め装置、処理装置、デバイス製造方法
出願人住友重機械工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H02K 41/03 20060101AFI20250401BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】複数のコイルユニットの間隙部の悪影響を低減できるリニアモータ等を提供する。
【解決手段】リニアモータは、磁気回路を備える可動子と、可動子の移動方向に沿って配列される複数のコイル4を備え、当該複数のコイル4に流される駆動電流に応じて、移動方向に沿った磁気的な直線動力を磁気回路に及ぼす固定子3と、を備える。固定子3は、可動子の速度の変化が比較的大きい速度変化領域と、可動子の速度の変化が比較的小さい速度安定領域と、に区分され、複数のコイル4は、当該複数のコイル4より少ない複数のコイルユニット2にグルーピングされて設けられ、速度変化領域内に配置される第1コイルユニット21および速度安定領域内に過半が配置される第2コイルユニット22の間隙部23が、速度変化領域内に配置される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
磁気回路を備える可動子と、
前記可動子の移動方向に沿って配列される複数のコイルを備え、当該複数のコイルに流される駆動電流に応じて、前記移動方向に沿った磁気的な直線動力を前記磁気回路に及ぼす固定子と、
を備えるリニアモータであって、
前記固定子は、前記可動子の速度の変化が比較的大きい速度変化領域と、前記可動子の速度の変化が比較的小さい速度安定領域と、に区分され、
前記複数のコイルは、前記速度変化領域内に配置される第１コイルユニットと、前記速度安定領域内に過半が配置される第２コイルユニットに分かれて設けられる、
リニアモータ。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記第１コイルユニットおよび前記第２コイルユニットの間隙部が、前記速度変化領域内に配置される、請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記第１コイルユニットの前記移動方向に沿った長さは、前記第２コイルユニットの前記移動方向に沿った長さより短い、請求項２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記速度安定領域は、一つの前記第２コイルユニットによってカバーされる、請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記可動子は、前記固定子の両端の間で駆動され、
前記速度変化領域は、前記固定子の各端を含む二つの端部領域であり、
前記速度安定領域は、前記二つの端部領域に挟まれた中央領域である、
請求項２から４のいずれかに記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記複数のコイルは、二列に亘って設けられ、
前記磁気回路は、前記二つのコイル列にそれぞれ対向するように設けられ、
前記二つのコイル列は、前記移動方向に沿って互いにずれて配置される、
請求項２から４のいずれかに記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記第１コイルユニットおよび前記第２コイルユニットに跨って構成される前記各コイル列において、前記第１コイルユニットおよび前記第２コイルユニットの前記間隙部における前記コイルが省略されている、請求項６に記載のリニアモータ。
【請求項８】
請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータを動力源とする位置決め装置。
【請求項９】
請求項８に記載の位置決め装置によって位置決めされた被処理物を処理する処理装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の処理装置による前記被処理物の処理を通じてデバイスを製造するデバイス製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、リニアモータ等に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、流される三相交流に応じて磁気的な直線動力を発生させる三相コイル群を含むコイルユニット（電機子ブロック）が、移動方向に沿って複数配列されたリニアモータが開示されている。隣接するコイルユニットの間には間隙が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－２７８９３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１によれば、各コイルユニットは、それらの間隙が磁極ピッチを電機子ブロック数で除した値の整数倍の電気角に対応するように配置される。しかし、各コイルユニットを配置する際に、誤差が発生する可能性がある。また、各コイルユニットの間隙部において、推力や速度の変動であるリップルが大きくなる恐れがある。
【０００５】
本開示はこうした状況に鑑みてなされたものであり、複数のコイルユニットの間隙部の悪影響を低減できるリニアモータ等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本開示のある態様のリニアモータは、磁気回路を備える可動子と、可動子の移動方向に沿って配列される複数のコイルを備え、当該複数のコイルに流される駆動電流に応じて、移動方向に沿った磁気的な直線動力を磁気回路に及ぼす固定子と、を備えるリニアモータであって、固定子は、可動子の速度の変化が比較的大きい速度変化領域と、可動子の速度の変化が比較的小さい速度安定領域と、に区分され、複数のコイルは、速度変化領域内に配置される第１コイルユニットと、速度安定領域内に過半が配置される第２コイルユニットに分かれて設けられる。
【０００７】
本態様では、複数のコイルが速度変化領域側の第１コイルユニットと速度安定領域側の第２コイルユニットに分かれて設けられる。速度変化領域では、可動子の速度の変化が比較的大きく（例えば、可動子の加速や減速が頻繁に行われる）、要求される駆動精度（位置精度や速度精度）が元々高くないため、第１コイルユニットおよび第２コイルユニットの間隙部で各コイルユニットの配置誤差や大きいリップルがあっても実用的な悪影響は少ない。
【０００８】
本開示の別の態様は、位置決め装置である。この装置は、上記のリニアモータを動力源とする。
【０００９】
本開示の更に別の態様は、処理装置である。この装置は、上記の位置決め装置によって位置決めされた被処理物を処理する。
【００１０】
本開示の更に別の態様は、デバイス製造方法である。この方法は、上記の処理装置による被処理物の処理を通じてデバイスを製造する。
（【００１１】以降は省略されています）

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