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公開番号2025054618
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-08
出願番号2023163750
出願日2023-09-26
発明の名称フォトマスク収納ケース及びフォトマスク収納ケースの製造方法
出願人株式会社協同
代理人個人
主分類G03F 1/66 20120101AFI20250331BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】従来の樹脂製の大型のフォトマスク収納ケースは、インジェクション成型による一体成形ができなかったため、各部材を貼り合わせて作成していた。
【解決手段】本発明のフォトマスク収納ケースは、合成樹脂製の下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、上記下側ケース部は、収納されるフォトマスクを載置し、固定する固定部を有する、金属製の枠体よりなるフォトマスク固定枠と、該固定枠を着脱自在に設けた下側ケース本体とよりなることを特徴とする。また、上記下側ケース本体は、真空成型により一体に形成されたものであることを特徴とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
合成樹脂製の下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなり、
上記下側ケース部は、収納されるフォトマスクを載置し、固定する固定部を有する、金属製の枠体よりなるフォトマスク固定枠と、該固定枠を着脱自在に設けた下側ケース本体とよりなることを特徴とするフォトマスク収納ケース。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
上記枠体は、棒体を連結して形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項３】
上記棒体は、
一端から他端まで長手方向に延びる溝を有する、棒状のアルミプロファイルと、
上記溝を塞ぐパイプと、
上記アルミプロファイルの端面の上記溝の端面開口部を塞ぐキャップとよりなることを特徴とする請求項２に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項４】
上記下側ケース本体は、真空成型により一体に形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケースの下側ケース部。
【請求項５】
上記上側ケース部は、真空成型により一体に形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケースの下側ケース部。
【請求項６】
上記金属製のフォトマスク固定枠はアルミニウム製であることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項７】
上記固定枠には、取っ手部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク収納ケース。
【請求項８】
収納されるフォトマスクを載置し固定する固定部を有する、金属製のフォトマスク固定枠と、該固定枠を着脱自在に設けた下側ケース本体とよりなる下側ケース部と、該下側ケース部を塞ぐ上側ケース部とよりなるフォトマスク収納ケースの上記下側ケース本体を、真空成型により一体に形成することを特徴とするフォトマスク収納ケースの製造方法。
【請求項９】
上記上側ケース部を、真空成型により一体に形成することを特徴とする請求項７に記載のフォトマスク収納ケースの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に、大型のガラス製フォトマスクを収納するケース及びその製造方法に関するものである。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
（１．１．従来の収納ケースの説明）
【０００３】
図３～図７は、従来の合成樹脂製のフォトマスク収納ケース１を示す。
【０００４】
従来のフォトマスク収納ケース１は、例えば、ガラス製フォトマスク２を収納する、上面が開口した、合成樹脂製の矩形箱状の下側ケース部３と、該下側ケース部３の開口部を開閉自在に塞ぐ合成樹脂製の上側ケース部４とよりなる。
【０００５】
また、上記収納ケース１を立てた時に、移動容易とするために、上記収納ケース１の下側の側壁部１ａには、キャスター等の移動手段５が設けられる。
【０００６】
また、上記下側ケース部３と上記上側ケース部４とには、上記下側ケース部３に上記上側ケース部４を固定する一方の連結固定部３ｂと他方の連結固定部４ｂがそれぞれ設けられている。
【０００７】
また、上記収納ケース１は、一般に、フォトマスクを収納する時は、傾斜させ、或いは、寝かせ、保管時、移動時は、立てて使用され、例えば、高さ約１０００ｍｍ、幅約１２００ｍｍ、厚さ約２５０ｍｍの大きさであり、例えば、高さ８００ｍｍ、幅９４５ｍｍ、厚さ８．０ｍｍや１０．０ｍｍの矩形状のガラス製フォトマスク２が収納される。
【０００８】
（１．２．下側ケース部３の説明）
【０００９】
上記下側ケース部３は、大型の収納ケースの場合、インジェクション成型では大きすぎて製作ができないため、例えば、図５に示すように、矩形板状の底板部３ｃの上下左右辺に、４枚の矩形板状の側壁部３ａを、それぞれ接着により貼り付けて作成していた。
【００１０】
なお、上記下側ケース部３には、収納されるフォトマスクを載置し、固定するための固定部を有し、該固定部は、例えば、上記下側ケース部３の底板部３ｃの上面の四隅に設けた、収納されるフォトマスク２の各角部をそれぞれ載置する載置面６ａを有すると共に、該角部の２辺の端面に当接して位置決めするＬ字状の切り欠き部６ｂとを有するフォトマスク位置決め載置部６と、該載置されたフォトマスクの上下方向の移動を規制（固定）する、上記下側ケース部３の底板部３ｃの上面の上下に設けた一方及び他方のフォトマスク上下方向移動規制手段と、上記載置されたフォトマスクの左右方向の移動を規制（固定）する、上記下側ケース部３の底板部３ｃの上面の左右に設けた一方及び他方のフォトマスク左右方向移動規制手段とよりなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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