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公開番号2025042505
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-27
出願番号2023149568
出願日2023-09-14
発明の名称エキシマランプ
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 65/00 20060101AFI20250319BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】異常放電が生じるのを抑制し、高照度化を図ることが可能なエキシマランプを提供する。
【解決手段】エキシマランプ10は、外側管25に対して内側管50を溶着させた二重管構造の放電管20を備え、放電管20内には、誘電体50によって被覆された内側電極30が、ランプ軸Cに沿って設けられている。外側電極40が、放電管20(外側管25)の外表面20Sに配設されている。外側電極40は、ランプ軸Cに沿って溶着部Mを覆う位置まで配設される一方、溶着部Mよりもランプ軸方向外側に向けて、外側管延伸部27が設けられている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
外側管と内側管との溶着によって放電空間が形成される放電管と、
前記外側管の外表面に設けられる外側電極とを備え、
前記外側電極が、前記放電空間よりもランプ軸方向外側まで配設され、
前記外側管と前記内側管との溶着部よりもランプ軸方向外側に延びる外側管延伸部が、前記外側管に設けられていることを特徴とするエキシマランプ。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
前記外側電極が、前記溶着部の少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記外側電極が、前記外側管延伸部の少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記内側管に被覆される箔状の内側電極をさらに備え、
前記外側電極が、管軸に沿って前記内側電極の端部を超えて配設されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記外側管延伸部が、前記溶着部よりもランプ軸方向外側に延伸させた部分として、構成されることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記外側管延伸部が、前記外側管に対して同軸的に溶着して形成した別部材として、構成されることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記内側管に被覆される箔状の内側電極をさらに備え、
前記内側管に対し、前記溶着部よりもランプ軸方向外側に延伸する内側管延伸部が設けられ、
前記内側延管伸部の内径が、前記内側電極の幅と比べて小さく、
前記内側延管伸部の厚さが、前記内側管の厚さと比べて大きいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記外側電極が、膜状、板状またはブロック状に構成され、前記放電空間から放射される光を反射することを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、放電管の構成に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
二重管構造のエキシマランプでは、外側管に内側管を溶着させた放電管内に放電ガスが封入される。そして、内側管内に内側電極を配置し、放電管の外表面に外側電極を設け、内側電極に対して給電棒（給電線）を接続させる。内側電極と外側電極との間に高周波電圧を印加することにより、エキシマ光（紫外線）が放射される。
【０００３】
放電管の外表面に設けられる外側電極は、照射方式などに応じて、その素材や配設する構成が定められる。例えば、スポット照射型の小型エキシマランプでは、発光管の端部に光放出面を設け、放電管の外表面には、アルミニウム膜を外側電極として設ける（特許文献１参照）。また、ジャケット管内に配置されるエキシマランプでは、外側電極として構成されるアルミニウム膜が、放電管表面において帯状に形成される（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６５５７０１１号公報
特開２０２２－１３７９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ランプの高照度化を図る場合、アルミニウム膜などの外側電極は、放電管の軸に沿った筒状表面部分だけでなく、外側管と内側管との溶着部分や放電管の端部表面にも設けられる。そのような外側電極の配置構成では、高電圧を印加すると、溶着部を介して、沿面放電を含めた異常放電が外側電極と給電棒との間で生じやすい。異常放電は、ランプ破損や低照度化などを招く。
【０００６】
したがって、異常放電が生じるのを抑制し、高照度化を図ることが可能なエキシマランプを提供することが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様であるエキシマランプは、外側管と内側管との溶着によって放電空間が形成される放電管と、外側管の外表面に設けられる外側電極とを備え、外側電極が、放電空間よりもランプ軸方向外側まで配設され、外側管と内側管との溶着部よりもランプ軸方向外側に延びる外側管延伸部が、外側管に設けられている。
【０００８】
外側電極の構成が、様々であり、例えば、膜状、板状またはブロック状に構成することが可能であり、放電空間から放射される光を反射する。
【０００９】
外側電極の配設は、外側管延伸部を設けた放電管に対して様々である。例えば、外側電極は、溶着部の少なくとも一部を覆うように構成することができる。また、外側電極は、外側管延伸部の少なくとも一部を覆うことができる。あるいは、内側管に被覆される箔状の内側電極を設けた放電管に対し、外側電極は、管軸に沿って内側電極の端部を超えるように配設することができる。
【００１０】
外側管延伸部の構成（成形）は、様々である。例えば、外側管延伸部は、溶着部よりもランプ軸方向外側に延伸させた部分として、構成することができる。また、外側管延伸部は、外側管に対して同軸的に溶着して形成した別部材として、構成することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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