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公開番号2025041300
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-26
出願番号2023148496
出願日2023-09-13
発明の名称ウェーハの両面研磨条件決定方法、ウェーハの両面研磨方法、および、ウェーハの製造方法
出願人株式会社SUMCO
代理人弁理士法人樹之下知的財産事務所
主分類B24B 37/005 20120101AFI20250318BHJP(研削;研磨)
要約【課題】所望の形状のウェーハを得ることができるウェーハの両面研磨条件決定方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハの両面研磨条件決定方法は、円環状の研磨パッドがそれぞれ貼付された上下の定盤を回転させつつ、ウェーハを保持するキャリアを前記上下の定盤の間で自転および公転させることにより行われる前記ウェーハの両面研磨の条件を決定するウェーハの両面研磨条件決定方法であって、前記研磨パッド間の径方向の研磨圧力分布、前記研磨パッド間の径方向の各位置における前記ウェーハの存在確率、および、両面研磨後の前記ウェーハの形状の相関関係を取得する相関関係取得工程と、前記ウェーハの目標形状を取得する目標形状取得工程と、前記相関関係に基づいて、前記目標形状に対応する前記研磨圧力分布および前記存在確率になるように、前記両面研磨の条件を決定する条件決定工程と、を備える。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
円環状の研磨パッドがそれぞれ貼付された上下の定盤を回転させつつ、ウェーハを保持するキャリアを前記上下の定盤の間で自転および公転させることにより行われる前記ウェーハの両面研磨の条件を決定するウェーハの両面研磨条件決定方法であって、
前記研磨パッド間の径方向の研磨圧力分布、前記研磨パッド間の径方向の各位置における前記ウェーハの存在確率、および、両面研磨後の前記ウェーハの形状の相関関係を取得する相関関係取得工程と、
前記ウェーハの目標形状を取得する目標形状取得工程と、
前記相関関係に基づいて、前記目標形状に対応する前記研磨圧力分布および前記存在確率になるように、前記両面研磨の条件を決定する条件決定工程と、を備える、ウェーハの両面研磨条件決定方法。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載のウェーハの両面研磨条件決定方法において、
前記条件決定工程は、前記研磨圧力分布を前記研磨パッド間の径方向中間領域の研磨圧力が内縁側および外縁側の領域よりも高い分布に設定することを前提にして、前記両面研磨の条件を決定する、ウェーハの両面研磨条件決定方法。
【請求項３】
請求項１に記載のウェーハの両面研磨条件決定方法において、
前記条件決定工程は、前記目標形状に対応する前記研磨圧力分布になるように、前記上下の定盤の形状、および、ドレッシングによる前記研磨パッドの研磨面形状のうち、少なくとも一方を決定する、ウェーハの両面研磨条件決定方法。
【請求項４】
請求項１に記載のウェーハの両面研磨条件決定方法において、
前記条件決定工程は、前記目標形状に対応する前記存在確率になるように、前記キャリアの自転速度、および、前記キャリアの中心から前記ウェーハの中心までの距離のうち、少なくとも一方を決定する、ウェーハの両面研磨条件決定方法。
【請求項５】
請求項１に記載のウェーハの両面研磨条件決定方法において、
前記相関関係は、前記研磨圧力分布と前記存在確率に基づき得られる前記ウェーハの所定位置が受ける圧力の期待値、および、両面研磨後の前記ウェーハの形状の相関関係であり、
前記条件決定工程は、前記目標形状に対応する前記圧力の期待値になるように、前記両面研磨の条件を決定する、ウェーハの両面研磨条件決定方法。
【請求項６】
請求項５に記載のウェーハの両面研磨条件決定方法において、
前記相関関係は、前記ウェーハの中心が受ける圧力の前記期待値から外縁部が受ける圧力の前記期待値を除した期待値差、および、両面研磨後の前記ウェーハの形状の相関関係であり、
前記条件決定工程は、前記目標形状に対応する前記期待値差になるように、前記両面研磨の条件を決定する、ウェーハの両面研磨条件決定方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のウェーハの両面研磨条件決定方法に基づき両面研磨の条件を決定する工程と、
前記決定された条件に基づき前記両面研磨の条件を調整する条件調整工程と、
前記調整された条件に基づき前記ウェーハの両面研磨を行う研磨処理工程と、を備える、ウェーハの両面研磨方法。
【請求項８】
請求項７に記載のウェーハの両面研磨方法により前記ウェーハの両面を研磨する工程を備える、ウェーハの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの両面研磨条件決定方法、ウェーハの両面研磨方法、および、ウェーハの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ウェーハの平坦度を高めるための両面研磨方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の方法では、回転定盤の中心からの距離が異なる２点以上の位置における定盤間距離とワークの平坦度との関係を示す関係データを予め取得する。次に、前記関係データに基づいて、ワークの所望の平坦度を得るための前記２点以上の位置における定盤間距離の最適値を算出する。そして、例えば上定盤の冷却水用水路に冷却水を流すことにより、定盤間距離を前記最適値に制御して、ワークを研磨する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１８９５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のように、定盤間距離に基づく研磨圧力の調整によりワークの平坦度を調整するだけでは、所望の形状のワークを得られない可能性がある。
【０００５】
本発明は、所望の形状のウェーハを得ることができるウェーハの両面研磨条件決定方法、ウェーハの両面研磨方法、および、ウェーハの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のウェーハの両面研磨条件決定方法は、円環状の研磨パッドがそれぞれ貼付された上下の定盤を回転させつつ、ウェーハを保持するキャリアを前記上下の定盤の間で自転および公転させることにより行われる前記ウェーハの両面研磨の条件を決定するウェーハの両面研磨条件決定方法であって、前記研磨パッド間の径方向の研磨圧力分布、前記研磨パッド間の径方向の各位置における前記ウェーハの存在確率、および、両面研磨後の前記ウェーハの形状の相関関係を取得する相関関係取得工程と、前記ウェーハの目標形状を取得する目標形状取得工程と、前記相関関係に基づいて、前記目標形状に対応する前記研磨圧力分布および前記存在確率になるように、前記両面研磨の条件を決定する条件決定工程と、を備える。
【０００７】
本発明のウェーハの両面研磨条件決定方法において、前記条件決定工程は、前記研磨圧力分布を前記研磨パッド間の径方向中間領域の研磨圧力が内縁側および外縁側の領域よりも高い分布に設定することを前提にして、前記両面研磨の条件を決定する、ことが好ましい。
【０００８】
本発明のウェーハの両面研磨条件決定方法において、前記条件決定工程は、前記目標形状に対応する前記研磨圧力分布になるように、前記上下の定盤の形状、および、ドレッシングによる前記研磨パッドの研磨面形状のうち、少なくとも一方を決定する、ことが好ましい。
【０００９】
本発明のウェーハの両面研磨条件決定方法において、前記条件決定工程は、前記目標形状に対応する前記存在確率になるように、前記キャリアの自転速度、および、前記キャリアの中心から前記ウェーハの中心までの距離のうち、少なくとも一方を決定する、ことが好ましい。
【００１０】
本発明のウェーハの両面研磨条件決定方法において、前記相関関係は、前記研磨圧力分布と前記存在確率に基づき得られる前記ウェーハの所定位置が受ける圧力の期待値、および、両面研磨後の前記ウェーハの形状の相関関係であり、前記条件決定工程は、前記目標形状に対応する前記圧力の期待値になるように、前記両面研磨の条件を決定する、ことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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