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公開番号2025040353
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-24
出願番号2023147236
出願日2023-09-11
発明の名称移動装置、ステージ装置、基板処理装置及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H02P 25/064 20160101AFI20250314BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】可動子と固定子とが干渉する可能性を低減可能な移動装置を提供する。
【解決手段】互いに対向する固定子及び可動子を有するリニアモータと、前記固定子と前記可動子の間の前記対向する方向の距離に関係する情報を検出する検出部と、前記検出部により検出した前記距離に関係する情報に基づいて、前記対向する方向における前記固定子の位置を調整する調整部と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
互いに対向する固定子及び可動子を有するリニアモータと、
前記固定子と前記可動子の間の前記対向する方向の距離に関係する情報を検出する検出部と、
前記検出部により検出した前記距離に関係する情報に基づいて、前記対向する方向における前記固定子の位置を調整する調整部と、を有することを特徴とする移動装置。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記検出部は、前記固定子と前記可動子とのうち少なくとも一方に配置されている、ことを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項３】
前記検出部は、前記固定子と前記可動子との間の距離を検出可能な、レーザ変位センサ、渦電流センサ、静電容量センサ、干渉計のうちのいずれかを備える、ことを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項４】
前記固定子と前記可動子のうち、一方は磁石、他方はコイルを有し、
前記検出部は、前記固定子と前記可動子との間の前記対向する方向の距離の変化に応じて変化する磁束密度を検出可能なホールセンサを備える、ことを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項５】
前記ホールセンサは、前記可動子に設けられ、前記磁石による漏れ磁束が通過するように配置されている、ことを特徴とする請求項４に記載の移動装置。
【請求項６】
前記リニアモータとは別のリニアモータを有し、
前記リニアモータは、前記別のリニアモータの駆動により発生する反力を低減するためのリニアモータである、ことを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項７】
外部からの振動を低減可能な減衰機構を含む除振台を有し、
前記可動子は前記除振台によって除振される位置に、前記固定子は前記除振台によって除振されない位置に配置されている、ことを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項８】
前記固定子は磁石を含み、前記可動子はコイルを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項９】
前記調整部は、前記検出部により検出した前記距離に関係する情報の値が所定範囲外の値であるときに、前記距離に関係する情報が予め設定した基準値になるように前記対向する方向における前記固定子の位置を調整する、ことを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項１０】
前記検出部を４つ有し、４つの前記検出部は前記可動子の互いに異なる４箇所の位置にそれぞれ配置されていること、を特徴とする請求項１に記載の移動装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動装置、ステージ装置、基板処理装置及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶表示デバイスなどの製造工程において、特許文献１に開示されているように、基板を保持して移動するステージにリニアモータが用いられることがある。リニアモータは、一方が磁石を含み、他方がコイルを含む、可動子と固定子とにより構成され、コイルに電流が供給されることでリニアモータに推力が発生する。ここで、リニアモータに供給する電流に対する推力の発生量を増加させることで、効率よく推力を発生させることができる。また、一般的に可動子と固定子との間の距離が近いほど大きな推力を発生させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１１－１６８０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、各部品の公差などにより可動子の位置毎に可動子と固定子との間の距離が変化し、場合によっては可動子と固定子とが干渉（接触）してしまう。
【０００５】
そこで、本発明は、可動子と固定子とが干渉する可能性を低減可能な移動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての移動装置は、互いに対向する固定子及び可動子を有するリニアモータと、前記固定子と前記可動子の間の前記対向する方向の距離に関係する情報を検出する検出部と、前記検出部により検出した前記距離に関係する情報に基づいて、前記対向する方向における前記固定子の位置を調整する調整部と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、可動子と固定子とが干渉する可能性を低減可能な移動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態における、ステージ装置の構成を示す図である。
第１実施形態における、固定子の位置を調整する機構を示す模式図である。
図２（ａ）の断面Ａ－Ａ’における構成を示した断面図である。
第２実施形態における、固定子の位置を調整する機構を示す模式図である。
第３実施形態における、ステージ装置の構成を示す図である。
第３実施形態における、固定子の位置を調整する機構を示す模式図である。
第４実施形態における露光装置の概略図である。
第５実施形態における物品の製造方法のフローチャートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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