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公開番号2025035853
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-14
出願番号2023143161
出願日2023-09-04
発明の名称アライメント装置、アライメント方法、成膜装置及び製造方法
出願人キヤノントッキ株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250307BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】基板とマスクとのアライメントに有利な技術を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板の成膜面にパターンを成膜するためのマスクとのアライメントに用いられるアライメント装置であって、前記基板を保持する基板保持部と、前記マスクを保持するマスク保持部と、前記基板保持部によって保持された前記基板の成膜面に沿った面内において前記基板保持部と前記マスク保持部との相対位置を変更するように、前記基板保持部及び前記マスク保持部の少なくとも一方を駆動する駆動部と、を有し、前記基板及び前記マスクのうちの一方の部材は、互いに対向する面に設けられた凸部を含み、前記基板及び前記マスクのうちの他方の部材は、互いに対向する面に設けられた凹部を含み、前記駆動部は、前記凸部と前記凹部とが嵌合するように、前記基板保持部及び前記マスク保持部の少なくとも一方を駆動する、ことを特徴とするアライメント装置を提供する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、前記基板の成膜面にパターンを成膜するためのマスクとのアライメントに用いられるアライメント装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記マスクを保持するマスク保持部と、
前記基板保持部によって保持された前記基板の成膜面に沿った面内において前記基板保持部と前記マスク保持部との相対位置を変更するように、前記基板保持部及び前記マスク保持部の少なくとも一方を駆動する駆動部と、
を有し、
前記基板及び前記マスクのうちの一方の部材は、互いに対向する面に設けられた凸部を含み、
前記基板及び前記マスクのうちの他方の部材は、互いに対向する面に設けられた凹部を含み、
前記駆動部は、前記凸部と前記凹部とが嵌合するように、前記基板保持部及び前記マスク保持部の少なくとも一方を駆動する、
ことを特徴とするアライメント装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記一方の部材は、前記互いに対向する面に設けられた複数の凸部を含み、
前記他方の部材は、前記互いに対向する面に設けられた複数の凹部を含み、
前記駆動部は、前記複数の凸部のそれぞれと前記複数の凹部のそれぞれとが嵌合するように、前記基板保持部及び前記マスク保持部の少なくとも一方を駆動する、
ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項３】
前記基板には、複数のチップ領域が設けられ、
前記マスクには、前記複数のチップ領域のそれぞれに対応する複数のパターン領域が設けられ、
前記凸部及び前記凹部のそれぞれは、前記複数のチップ領域の数に応じた数だけ設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項４】
前記凸部及び前記凹部のそれぞれの数は、前記複数のチップ領域の数と同じである、ことを特徴とする請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項５】
前記凸部及び前記凹部のうちの一方は、前記複数のチップ領域のそれぞれの外周領域に少なくとも１つが位置するように設けられ、
前記凸部及び前記凹部のうちの他方は、前記複数のパターン領域のそれぞれの外周領域に少なくとも１つが位置するように設けられている、
ことを特徴とする請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項６】
前記凸部及び前記凹部のうちの一方は、前記複数のチップ領域のそれぞれの間の領域に少なくとも１つが位置するように設けられ、
前記凸部及び前記凹部のうちの他方は、前記複数のパターン領域のそれぞれの間の領域に少なくとも１つが位置するように設けられている、
ことを特徴とする請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項７】
前記基板は、半導体ウエハを含む、ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項８】
前記マスクは、シリコンからなるマスクを含む、ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項９】
前記基板には、複数のチップ領域が設けられ、
前記マスクには、前記複数のチップ領域のそれぞれに対応する複数のパターン領域が設けられ、
前記凸部は、前記チップ領域に設けられたバンクに設けられ、
前記凹部は、前記パターン領域におけるメンブレン部に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項１０】
前記基板には、複数のチップ領域が設けられ、
前記マスクには、前記複数のチップ領域のそれぞれに対応する複数のパターン領域が設けられ、
前記凸部は、前記チップ領域に設けられたバンクであり、
前記凹部は、前記バンクに対応して、前記パターン領域におけるメンブレン部に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、アライメント装置、アライメント方法、成膜装置及び製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置（有機ＥＬディスプレイ）は、例えば、スマートフォン、テレビ、自動車用ディスプレイ、ＶＲＨＭＤ（ＶｉｒｔｕａｌＲｅａｌｉｔｙＨｅａｄＭｏｕｎｔＤｉｓｐｌａｙ）などに適用されている。有機ＥＬ表示装置を製造する工程においては、基板上に有機発光素子（有機ＥＬ素子：ＯＬＥＤ）を形成する際に、一般的に、成膜装置が用いられている。
【０００３】
成膜装置は、蒸着源から放出された蒸着物質（成膜材料）を、画素パターンに対応するパターンが形成されたマスクを介して、基板に付着させて有機物膜や金属膜などの膜を形成（成膜）する。この際、基板とマスクとを高精度に位置合わせ（アライメント）することが必要となる。
【０００４】
基板とマスクとのアライメントに関する技術については、従来から提案されている（特許文献１参照）。特許文献１には、基板をマスクから離間させた状態で基板とマスクとをアライメントし、その後、基板とマスクとを密着させる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－０８３３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術では、基板とマスクとをアライメントした後、基板とマスクとを密着させる際に、基板とマスクとの相対位置がずれ（即ち、基板とマスクとの間で位置ずれが生じ）、アライメント精度が低下する可能性がある。
【０００７】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、基板とマスクとのアライメントに有利な技術を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのアライメント装置は、基板と、前記基板の成膜面にパターンを成膜するためのマスクとのアライメントに用いられるアライメント装置であって、前記基板を保持する基板保持部と、前記マスクを保持するマスク保持部と、前記基板保持部によって保持された前記基板の成膜面に沿った面内において前記基板保持部と前記マスク保持部との相対位置を変更するように、前記基板保持部及び前記マスク保持部の少なくとも一方を駆動する駆動部と、を有し、前記基板及び前記マスクのうちの一方の部材は、互いに対向する面に設けられた凸部を含み、前記基板及び前記マスクのうちの他方の部材は、互いに対向する面に設けられた凹部を含み、前記駆動部は、前記凸部と前記凹部とが嵌合するように、前記基板保持部及び前記マスク保持部の少なくとも一方を駆動する、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば、基板とマスクとのアライメントに有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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