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公開番号2025030359
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023135581
出願日2023-08-23
発明の名称検査方法、検査装置及び積層体の製造方法
出願人住友化学株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G02B 5/30 20060101AFI20250228BHJP(光学)
要約【課題】円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる技術を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る検査方法は、第1直線偏光板11と第1位相差膜12を有する第1円偏光板1及びポリエチレンテレフタレート系樹脂によって形成された剥離フィルム14aを備える積層体が有する第1円偏光板1の欠陥の有無を検査する検査方法であって、所定波長を含む検査波長範囲内において波長を時間的に変化させながら又は空間的に波長を変化させた状態で検査光5を積層体10に照射する照射工程と、検査光5が照射された積層体10の剥離フィルム14a側から出力された検査光5を検出する検出工程と、検出結果に基づいて第1円偏光板1の欠陥の有無を判定する判定工程とを備え、所定波長は、所定波長の光が剥離フィルムを透過することによってnλの第1位相差又は(n+1/2)λの第2位相差が生じる波長である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１直線偏光板と前記第１直線偏光板に積層された第１位相差膜を有する第１円偏光板、及び、前記第１位相差膜に積層されポリエチレンテレフタレート系樹脂によって形成された剥離フィルムを備えるフィルム状の積層体が有する前記第１円偏光板の欠陥の有無を検査する検査方法であって、
所定波長を含む検査波長範囲内において波長を時間的に変化させながら又は空間的に波長を変化させた状態で検査光を前記積層体に照射する照射工程と、
前記検査光が照射された前記積層体の前記剥離フィルム側から出力された前記検査光を検出する検出工程と、
前記検出工程の検出結果に基づいて前記第１円偏光板の欠陥の有無を判定する判定工程と、
を備え、
前記所定波長は、前記所定波長をλ［ｎｍ］とし、ｎを１以上の整数とした場合において、前記所定波長の光が前記剥離フィルムを透過することによってｎλの第１位相差又は（ｎ＋１／２）λの第２位相差が生じる波長である、
検査方法。
続きを表示（約 2,000 文字）【請求項２】
前記所定波長は、前記所定波長の光が前記剥離フィルムを透過することによって前記第１位相差が生じる波長であり、
前記検査波長範囲は、５００ｎｍ以上且つ５５０ｎｍ以下の波長である、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
前記照射工程では、第２直線偏光板と第２位相差膜とを有する第２円偏光板に前記第２直線偏光板側から通過した前記検査光を前記剥離フィルム側から前記積層体に照射し、
前記検出工程では、前記第１円偏光板によって反射された後に前記剥離フィルムを透過した前記検査光を、第３直線偏光板と第３位相差膜とを有する第３円偏光板に前記第３位相差膜側から通して検出し、
前記第２円偏光板及び前記第３円偏光板は、ともに左回転同士又は右回転同士の円偏光板であり、かつ第１円偏光板とは逆回転の円偏光板である、
請求項２に記載の検査方法。
【請求項４】
前記照射工程では、第４直線偏光板と第４位相差膜とを有する第４円偏光板に前記第４直線偏光板側から通過した前記検査光を前記剥離フィルム側から前記積層体に照射し、
前記検出工程では、前記第１円偏光板によって反射された後に前記剥離フィルムを透過した前記検査光を、前記第４円偏光板に前記第４位相差膜側から通して検出し、
前記第４円偏光板は、前記第１円偏光板とは逆回転の円偏光板である、
請求項２に記載の検査方法。
【請求項５】
前記照射工程では、前記第１円偏光板側から前記検査光を前記積層体に照射し、
前記検出工程では、前記積層体の前記剥離フィルム側から出力された前記検査光を、検出用直線偏光板と検出用位相差膜を有する検出用円偏光板に前記検出用位相差膜側から通して検出し、
前記検出用円偏光板は、前記第１円偏光板と逆回転の円偏光板である、
請求項２に記載の検査方法。
【請求項６】
前記所定波長は、前記所定波長の光が記剥離フィルムを透過することによって前記第２位相差が生じる波長であり、
前記検査波長範囲は、５７０ｎｍ以上且つ６３０ｎｍ以下の波長である、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項７】
前記照射工程では、第２直線偏光板と第２位相差膜とを有する第２円偏光板に前記第２直線偏光板側から通過した前記検査光を前記剥離フィルム側から前記積層体に照射し、
前記検出工程では、前記第１円偏光板によって反射された後に前記剥離フィルムを透過した前記検査光を、第３直線偏光板と第３位相差膜とを有する第３円偏光板に前記第３位相差膜側から通して検出し、
前記第１円偏光板、前記第２円偏光板及び前記第３円偏光板は同じ回転方向の円偏光板である、
請求項６に記載の検査方法。
【請求項８】
前記照射工程では、第４直線偏光板と第４位相差膜とを有する第４円偏光板に前記第４直線偏光板側から通過した前記検査光を前記剥離フィルム側から前記積層体に照射し、
前記検出工程では、前記第１円偏光板によって反射された後に前記剥離フィルムを透過した前記検査光を、前記第４円偏光板に前記第４位相差膜側から通して検出し、
前記第４円偏光板は、前記第１円偏光板とは逆回転の円偏光板である、
請求項６に記載の検査方法。
【請求項９】
前記照射工程では、前記第１円偏光板側から前記検査光を前記積層体に照射し、
前記検出工程では、前記積層体の前記剥離フィルム側から出力された前記検査光を、検出用直線偏光板と検出用位相差膜とを有する第３円偏光板に前記検出用位相差膜側から通して検出し、検出用円偏光板を通して検出し、
前記検出用円偏光板は、前記第１円偏光板と同回転の円偏光板である、
請求項６に記の検査方法。
【請求項１０】
前記照射工程では、前記検査波長範囲を含む波長範囲の光を出力する光源からの光を、前記検査波長範囲の上限の波長を選択的に通すバンドパスフィルタに通して得られる前記検査光を前記積層体に照射し、
前記バンドパスフィルタは、所定方向に沿って前記検査波長範囲内において波長が変化する波長グラデーションを前記検査光の照射領域に形成するように、前記第１円偏光板及び前記剥離フィルムの積層方向に直交する平面に対して傾けて配置されており、
前記検出工程では、前記照射領域に対して、前記積層体を前記所定方向に沿って移動させながら前記剥離フィルムから出力される前記検査光を検出する、
請求項１～９の何れか１項に記載の検査方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査方法、検査装置及び積層体の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等に用いられる偏光板は、一般的に偏光子が２枚の保護フィルムに挟まれて構成されている。偏光板を表示装置に貼り付けるため、片方の保護フィルムには粘着剤層が積層され、更に粘着剤層に剥離フィルムが積層される。また、他方の保護フィルムにもその表面を保護する剥離フィルム（表面保護フィルム）が貼合される場合が多い。偏光板はこのように剥離フィルムが積層された状態で流通搬送され、表示装置の製造工程で表示装置に貼合する際に剥離フィルムが剥離される。
【０００３】
ところで、偏光板はその製造段階において、偏光子と保護フィルムとの間に異物が混入したり、気泡が残ったり、あるいは、保護フィルムが位相差フィルムの機能を持つ場合には配向欠陥が内在していることがある（以下、これらの異物、気泡及び配向欠陥をまとめて、「欠陥」ということがある）。欠陥が存在する偏光板を表示装置に貼合した場合、その欠陥の箇所が輝点として視認されたり、欠陥の箇所で画像がゆがんで見えたりすることがある。特に、輝点として視認される欠陥は、当該表示装置の黒表示時に視認されやすい。
【０００４】
そこで、偏光板を表示装置に貼合する前段階（剥離フィルムを備えた状態の偏光板）で、この偏光板の欠陥を検出するための検査が行われる。この欠陥の検査は、一般的には偏光板の偏光軸を利用した光検査である。具体的には、特許文献１に示されているように、被検査物である偏光板と光源との間に偏光フィルタを設けたうえで、この偏光板又は偏光フィルタを平面方向に回転させ、これらのそれぞれの偏光軸方向を特定の関係とする。偏光軸方向同士が互いに直交する場合（すなわちクロスニコルを構成する配置の場合）、偏光フィルタを通過した直線偏光は、偏光板を通過しない。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が透過してしまうので、その光が検出されることで欠陥の存在が判明する。一方、偏光板と偏光フィルタとの偏光軸方向同士が平行である場合、偏光フィルタを通過した直線偏光は偏光板を透過する。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が遮断されるので、その光が検出されないことで欠陥の存在が判明する。偏光板を透過してきた光を検査者が目視により検出するか、あるいはＣＣＤカメラと画像処理装置とを組み合わせた画像解析処理値により自動的に検出することで、偏光板の欠陥の有無の検査を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平９－２２９８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
偏光板が円偏光板である場合、観察視野が暗くなるように円偏光板に対して位相差フィルタを更に配置して、欠陥箇所において生じた輝点を検出することが考えられる。
【０００７】
円偏光板も、通常、剥離フィルムが積層された状態で流通搬送される。そのため、円偏光板を検査する場合は、剥離フィルムが積層された状態で検査される。剥離フィルムは、円偏光板を表示装置に取り付ける場合には剥がされるフィルムであることから、剥離フィルムの位相差は厳密に管理されていない。そのため、剥離フィルムに内在する位相差によって、観察視野が十分暗くなりきらない場合があり、欠陥の検出精度が低下していた。
【０００８】
そこで本発明は、円偏光板の欠陥の検出精度を向上可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
［１］一実施形態に係る検査方法は、第１直線偏光板と上記第１直線偏光板に積層された第１位相差膜を有する第１円偏光板、及び、上記第１位相差膜に積層されポリエチレンテレフタレート系樹脂によって形成された剥離フィルムを備えるフィルム状の積層体が有する上記第１円偏光板の欠陥の有無を検査する検査方法であって、所定波長を含む検査波長範囲内において波長を時間的に変化させながら又は空間的に波長を変化させた状態で検査光を上記積層体に照射する照射工程と、上記検査光が照射された上記積層体の上記剥離フィルム側から出力された上記検査光を検出する検出工程と、上記検出工程の検出結果に基づいて上記第１円偏光板の欠陥の有無を判定する判定工程と、を備え、上記所定波長は、上記所定波長をλ［ｎｍ］とし、ｎを１以上の整数とした場合において、上記所定波長の光が上記剥離フィルムを透過することによってｎλの第１位相差又は（ｎ＋１／２）λの第２位相差が生じる波長である。
【００１０】
上記［１］に記載の検査方法では、所定波長を含む検査波長範囲内において波長を時間的に変化させながら又は空間的に波長を変化させた状態で検査光を上記積層体に照射する。そのため、所定波長の光に対する検出結果を確実に取得できる。上記所定波長は、上記所定波長をλ［ｎｍ］とし、ｎを１以上の整数とした場合において、上記所定波長の光が上記剥離フィルムを透過することによってｎλの第１位相差又は（ｎ＋１／２）λの第２位相差が生じる波長である。よって、所定波長の光に対して、剥離フィルムの影響が低減する。そのため、第１円偏光板に欠陥が存在した場合、欠陥を精度良く検出できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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