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公開番号2025025870
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-21
出願番号2023131076
出願日2023-08-10
発明の名称マッピング装置およびロードポート装置
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類H01L 21/67 20060101AFI20250214BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】検出センサを配置する突起の間隔が狭くても飛び出したウエアへの突起の衝突を防止できるマッピング装置。
【解決手段】対象物を第1方向に沿って所定間隔で収容可能な容器内における対象物の収容状態を検出するマッピング装置であって、前記第1方向および第2方向に移動するマッピングフレームと、前記マッピングフレームから前記第2方向に関して第1の長さ突出しており第3方向に関して第1の間隔を空けて配置される一対の第1凸部と、前記一対の第1凸部の各先端近傍に設けられる第1センサ部と、を有する第1検出部と、前記マッピングフレームから前記第1の長さより長い第2の長さ突出しており前記第3方向に関して前記第1凸部と同じ位置に配置される一対の第2凸部と、前記一対の第2凸部の各先端近傍に設けられる第2センサ部と、を有し、前記第1検出部に対して所定距離異なる位置に配置される第2検出部と、を有するマッピング装置。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
複数の対象物を第１方向に沿って所定間隔で収容可能な容器内における前記対象物の収容状態を検出するマッピング装置であって、
前記第１方向および前記第１方向に略垂直である第２方向に移動するマッピングフレームと、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して第１の長さ突出しており前記第１方向および前記第２方向とは略垂直である第３方向に関して第１の間隔を空けて配置される一対の第１凸部と、前記一対の第１凸部の各先端近傍に設けられる第１センサ部と、を有する第１検出部と、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して前記第１の長さより長い第２の長さ突出しており前記第３方向に関して前記第１凸部と同じ位置に配置される一対の第２凸部と、前記一対の第２凸部の各先端近傍に設けられる第２センサ部と、を有し、前記第１方向に関して前記第１検出部に対して所定距離異なる位置に配置される第２検出部と、を有するマッピング装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
複数の対象物を第１方向に沿って所定間隔で収容可能な容器内における前記対象物の収容状態を検出するマッピング装置であって、
前記第１方向および前記第１方向に略垂直である第２方向に移動可能なマッピングフレームと、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して第１の長さ突出しており前記第１方向および前記第２方向とは略垂直な第３方向に関して第１の間隔を空けて配置される一対の第１凸部と、前記一対の第１凸部の各先端近傍に設けられる第１センサ部と、を有する第１検出部と、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して前記第１の長さより長い第２の長さ突出しており前記第３方向に関して第１の間隔より狭い第２の間隔を空けて配置される一対の第２凸部と、前記一対の第２凸部の各先端近傍に設けられる第２センサ部と、を有し、前記第１方向に関して前記第１検出部に対して所定距離異なる位置に配置される第２検出部と、を有するマッピング装置。
【請求項３】
前記第１方向は下方向であり、前記第１検出部は、前記第２検出部より前記所定距離下方に配置されているか、または、
前記第１方向は上方向であり、前記第１検出部は、前記第２検出部より前記所定距離上方に配置されている請求項１または請求項２に記載のマッピング装置。
【請求項４】
前記第２検出部による前記対象物の検出結果である第２検出結果を記憶する記憶部を有する請求項１または請求項２に記載のマッピング装置。
【請求項５】
前記対象物の前記第１検出部による検出結果である第１検出結果が入力され、前記第１検出結果が前記第１センサ部による前記対象物の検出を示すものである場合、前記第１センサ部による前記対象物の検出時から起算して前記マッピングフレームが前記所定距離移動する前に、前記マッピングフレームの移動を停止させる移動制御部を有する請求項１または請求項２に記載のマッピング装置。
【請求項６】
前記容器の前記第１方向に平行な容器中心軸から検出位置までの最短距離が、第１検出部および第２検出部より長い第３検出部を有する請求項１または請求項２に記載のマッピング装置。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載のマッピング装置と、
前記容器を載置する載置部と、
前記容器の蓋を開閉するドアと、を有するロードポート装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、マッピング装置およびロードポート装置に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ロードポート装置のように基板などの板状対象物を受け渡しする装置には、容器に収容される対象物の収容状態を検出するマッピング装置が備えられる。マッピング装置は、容器内に収容される対象物の数、位置を検出するとともに、対象物が容器内に正常に収容されているかを検出する（特許文献１参照）。マッピング装置によって検出する対象物は、シリコン基板やこれに処理を施したものの他、ガラス基板などの薄板状の材料が含まれる。
【０００３】
一方、半導体処理工場において搬送される対象物の大型化や薄型化が進むとともに、容器および容器の収容される対象物の多様化が進んでいる。たとえば、２００ｍｍ（８インチ）のシリコンウエハを収容する容器と、３００ｍｍ（１２インチ）のシリコンウエハを収容する容器が、同時に半導体処理工場において流され、２種類の容器が入れ替わり立ち代わり、所定のロードポート装置に送り届けられる場合がある。その場合、ロードポートに備えられるマッピング装置としては、２００ｍｍのシリコンウエハと３００ｍｍのシリコンウエハの両方に対応するものが求められる。
【０００４】
しかしながら、２００ｍｍのシリコンウエハを収容する容器に対応する従来のマッピング装置を、３００ｍｍのシリコンウエハを収容する容器に適用しようとすると、若干容器から飛び出している３００ｍｍのシリコンウエハが存在した場合に、たとえその飛び出し量が仮に２００ｍｍのシリコンウエハであれば許容範囲内であったとしても、マッピング装置の検出部とシリコンウエハとが衝突してしまう問題が生じ得る。これは、２００ｍｍのシリコンウエハを収容する容器に対応する従来のマッピング装置では、３００ｍｍのシリコンウエハに適用した場合において、シリコンウエハの飛び出しを許容できる許容範囲が狭くなるためである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１１－３５３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本開示は、大きさの異なる複数の対象物に適用した場合にも、対象物とセンサとの衝突を防止できるマッピング装置およびロードポート装置に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本開示の第１の観点に係るマッピング装置は、
複数の対象物を第１方向に沿って所定間隔で収容可能な容器内における前記対象物の収容状態を検出するマッピング装置であって、
前記第１方向および前記第１方向に略垂直である第２方向に移動するマッピングフレームと、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して第１の長さ突出しており前記第１方向および前記第２方向とは略垂直である第３方向に関して第１の間隔を空けて配置される一対の第１凸部と、前記一対の第１凸部の各先端近傍に設けられる第１センサ部と、を有する第１検出部と、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して前記第１の長さより長い第２の長さ突出しており前記第３方向に関して前記第１凸部と同じ位置に配置される一対の第２凸部と、前記一対の第２凸部の各先端近傍に設けられる第２センサ部と、を有し、前記第１方向に関して前記第１検出部に対して所定距離異なる位置に配置される第２検出部と、を有する。
【０００８】
本開示の第１の観点に係るマッピング装置は、対象物の重なり方向である第１方向に対して所定距離異なる位置に配置される第１検出部と第２検出部とを有しており、第２凸部の突出長さ（第２の長さ）は、第１凸部の突出長さ（第１の長さ）より長い。第１検出部は突出長さが短いので、容器から飛び出した対象物との接触を避けつつ、突出長さの長い第２検出部と衝突する可能性のある対象物を検出し、マッピングフレーム等の適切な動作により、対象物と第２検出部との衝突を防止することができる。また、第１凸部と第２凸部の第３方向に関する位置を同じとすることにより、第２凸部の間隔を、サイズの小さい対象物の容器の開口幅を最大限活用して広くすることが可能であり、対象物の飛び出し許容範囲を広くすることができる。
【０００９】
また、たとえば、本開示の第２の観点に係るマッピング装置は、
複数の対象物を第１方向に沿って所定間隔で収容可能な容器内における前記対象物の収容状態を検出するマッピング装置であって、
前記第１方向および前記第１方向に略垂直である第２方向に移動可能なマッピングフレームと、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して第１の長さ突出しており前記第１方向および前記第２方向とは略垂直な第３方向に関して第１の間隔を空けて配置される一対の第１凸部と、前記一対の第１凸部の各先端近傍に設けられる第１センサ部と、を有する第１検出部と、
前記マッピングフレームから前記第２方向に関して前記第１の長さより長い第２の長さ突出しており前記第３方向に関して第１の間隔より狭い第２の間隔を空けて配置される一対の第２凸部と、前記一対の第２凸部の各先端近傍に設けられる第２センサ部と、を有し、前記第１方向に関して前記第１検出部に対して所定距離異なる位置に配置される第２検出部と、を有する。
【００１０】
本開示の第２の観点に係るマッピング装置は、第１の観点に係るマッピング装置と同様に、対象物の重なり方向である第１方向に対して所定距離異なる位置に配置される第１検出部と第２検出部とを有しており、第２凸部の突出長さ（第２の長さ）は、第１凸部の突出長さ（第１の長さ）より長い。第１検出部は突出長さが短いので、容器から飛び出した対象物との接触を避けつつ、突出長さの長い第２検出部と衝突する可能性のある対象物を検出し、マッピングフレーム等の適切な動作により、対象物と第２検出部との衝突を防止することができる。また、第２凸部の第２の間隔を第１凸部の第１の間隔より狭くすることにより、サイズの小さい対象物を収容する容器の第１方向上面と第１凸部との上方から見た場合の重複を避け、第２凸部が容器の上面を上下方向に通過可能とし、マッピングフレームの動きを単純化することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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