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公開番号2025013144
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2024047869
出願日2024-03-25
発明の名称グリース組成物及びグリース組成物の製造方法
出願人出光興産株式会社
代理人弁理士法人大谷特許事務所
主分類C10M 169/02 20060101AFI20250117BHJP(石油,ガスまたはコークス工業;一酸化炭素を含有する工業ガス;燃料;潤滑剤;でい炭)
要約【課題】潤滑性及び熱安定性に優れるグリース組成物を提供する。
【解決手段】基油(A)及び増ちょう剤(B)を含有するグリース組成物であって、前記基油(A)が、下記成分(A1)及び下記成分(A2)からなる群から選択される1種以上を含み、
・成分(A1):水酸基数が3～6であるポリオール(A11)と炭素数14～20の分岐脂肪酸(A12)とのエステル
・成分(A2):ASTM-D7500に準拠したガスクロマトグラフィー蒸留において、3質量%減となる温度が450℃以上であるアルキルナフタレン
前記増ちょう剤(B)が、下記成分(B1)及び下記成分(B2)からなる群から選択される1種以上を含む、グリース組成物とした。
・成分(B1):メラミンシアヌレート
・成分(B2):プリメイドウレア
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
基油（Ａ）及び増ちょう剤（Ｂ）を含有するグリース組成物であって、
前記基油（Ａ）が、下記成分（Ａ１）及び下記成分（Ａ２）からなる群から選択される１種以上を含み、
・成分（Ａ１）：水酸基数が３～６であるポリオール（Ａ１１）と炭素数１４～２０の分岐脂肪酸（Ａ１２）とのエステル
・成分（Ａ２）：ＡＳＴＭ－Ｄ７５００に準拠したガスクロマトグラフィー蒸留において、３質量％減となる温度が４５０℃以上であるアルキルナフタレン
前記増ちょう剤（Ｂ）が、下記成分（Ｂ１）及び下記成分（Ｂ２）からなる群から選択される１種以上を含む、グリース組成物。
・成分（Ｂ１）：メラミンシアヌレート
・成分（Ｂ２）：プリメイドウレア
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記ポリオール（Ａ１１）が、ペンタエリスリトールを含む、請求項１に記載のグリース組成物。
【請求項３】
前記分岐脂肪酸（Ａ１２）が、分岐数が１つであり、α位に分岐を有する分岐脂肪酸を含む、請求項１又は２に記載のグリース組成物。
【請求項４】
前記基油（Ａ）及び前記増ちょう剤（Ｂ）の合計含有量が、前記グリース組成物の全量基準で、９０質量％～１００質量％である、請求項１～３のいずれか１項に記載のグリース組成物。
【請求項５】
前記基油（Ａ）が、前記成分（Ａ２）から選択される１種以上を含み、
前記増ちょう剤（Ｂ）が、前記成分（Ｂ１）から選択される１種以上を含む、請求項１～４のいずれか１項に記載のグリース組成物。
【請求項６】
前記増ちょう剤（Ｂ）の含有量が、前記グリース組成物の全量基準で、５．０質量％～６０質量％である、請求項１～５のいずれか１項に記載のグリース組成物。
【請求項７】
半導体製造装置に用いられる、請求項１～６のいずれか１項に記載のグリース組成物。
【請求項８】
基油（Ａ）と増ちょう剤（Ｂ）とを混合する工程（Ｓ）を含み、
前記工程（Ｓ）において、前記基油（Ａ）として、下記成分（Ａ１）及び下記成分（Ａ２）からなる群から選択される１種以上を配合し、
・成分（Ａ１）：水酸基数が３～６であるポリオール（Ａ１１）と炭素数１４～２０の分岐脂肪酸（Ａ１２）とのエステル
・成分（Ａ２）：ＡＳＴＭ－Ｄ７５００に準拠したガスクロマトグラフィー蒸留において、３質量％減となる温度が４５０℃以上であるアルキルナフタレン
前記増ちょう剤（Ｂ）として、下記成分（Ｂ１）及び下記成分（Ｂ２）からなる群から選択される１種以上を配合する、グリース組成物の製造方法。
・成分（Ｂ１）：メラミンシアヌレート
・成分（Ｂ２）：プリメイドウレア

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリース組成物及びグリース組成物の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置等に用いられるグリース組成物としては、例えば、基油としてパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）を用い、増ちょう剤としてポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を用いたフッ素グリース組成物が知られている。また、特許文献１では、エステル油又はフッ素を含まないエーテル油を含む基油と、ウレア化合物及び自己潤滑性を有する増ちょう剤を少なくとも含む増ちょう剤とを含有するグリース組成物が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－２０２０６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基油としてパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）等のフッ素油を用いたフッ素グリース組成物は、潤滑性が不十分なことがあり、その改善が求められる。
また、半導体製造装置において、例えば、成膜及びエッチング等の処理等は、２００℃以上の高温下にて行われることがある。このような高温下においては、グリース組成物には熱安定性も求められる。
【０００５】
本発明は、かかる要求に鑑みてなされたものであって、潤滑性及び熱安定性に優れるグリース組成物を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、下記［１］～［２］が提供される。
［１］基油（Ａ）及び増ちょう剤（Ｂ）を含有するグリース組成物であって、
前記基油（Ａ）が、下記成分（Ａ１）及び下記成分（Ａ２）からなる群から選択される１種以上を含み、
・成分（Ａ１）：水酸基数が３～６であるポリオール（Ａ１１）と炭素数１４～２０の分岐脂肪酸（Ａ１２）とのエステル
・成分（Ａ２）：ＡＳＴＭ－Ｄ７５００に準拠したガスクロマトグラフィー蒸留において、３質量％減となる温度が４５０℃以上であるアルキルナフタレン
前記増ちょう剤（Ｂ）が、下記成分（Ｂ１）及び下記成分（Ｂ２）からなる群から選択される１種以上を含む、グリース組成物。
・成分（Ｂ１）：メラミンシアヌレート
・成分（Ｂ２）：プリメイドウレア
［２］基油（Ａ）と増ちょう剤（Ｂ）とを混合する工程（Ｓ）を含み、
前記工程（Ｓ）において、前記基油（Ａ）として、下記成分（Ａ１）及び下記成分（Ａ２）からなる群から選択される１種以上を配合し、
・成分（Ａ１）：水酸基数が３～６であるポリオール（Ａ１１）と炭素数１４～２０の分岐脂肪酸（Ａ１２）とのエステル
・成分（Ａ２）：ＡＳＴＭ－Ｄ７５００に準拠したガスクロマトグラフィー蒸留において、３質量％減となる温度が４５０℃以上であるアルキルナフタレン
前記増ちょう剤（Ｂ）として、下記成分（Ｂ１）及び下記成分（Ｂ２）からなる群から選択される１種以上を配合する、グリース組成物の製造方法。
・成分（Ｂ１）：メラミンシアヌレート
・成分（Ｂ２）：プリメイドウレア
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、潤滑性及び熱安定性優れるグリース組成物を提供することが可能となる。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本明細書に記載された数値範囲の上限値及び下限値は任意に組み合わせることができる。例えば、数値範囲として「Ａ～Ｂ」及び「Ｃ～Ｄ」が記載されている場合、「Ａ～Ｄ」及び「Ｃ～Ｂ」の数値範囲も、本発明の範囲に含まれる。
また、本明細書に記載された数値範囲「下限値～上限値」は、特に断りのない限り、下限値以上、上限値以下であることを意味する。
また、本明細書において、実施例の数値は、上限値又は下限値として用いられ得る数値である。
【０００９】
［グリース組成物の態様］
本実施形態のグリース組成物は、基油（Ａ）及び増ちょう剤（Ｂ）を含有する。
基油（Ａ）は、下記成分（Ａ１）及び下記成分（Ａ２）からなる群から選択される１種以上を含む。
・成分（Ａ１）：水酸基数が３～６であるポリオール（Ａ１１）と炭素数１４～２０の分岐脂肪酸（Ａ１２）とのエステル
・成分（Ａ２）：ＡＳＴＭ－Ｄ７５００に準拠したガスクロマトグラフィー蒸留において、３質量％減となる温度が４５０℃以上であるアルキルナフタレン
そして、増ちょう剤（Ｂ）は、下記成分（Ｂ１）及び下記成分（Ｂ２）からなる群から選択される１種以上を含む。
・成分（Ｂ１）：メラミンシアヌレート
・成分（Ｂ２）：プリメイドウレア
【００１０】
本発明者らは、上記課題を解決すべく、鋭意検討を重ねた。
その結果、上記基油（Ａ）及び上記増ちょう剤（Ｂ）を含有するグリース組成物が、潤滑性及び熱安定性に優れることを知見するに至った。
本発明者らは、上記知見に基づき、さらに種々検討を重ね、本発明を完成するに至った。
（【００１１】以降は省略されています）

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