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公開番号2024178445
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-24
出願番号2024169008,2024527202
出願日2024-09-27,2024-03-18
発明の名称エンコーダ用反射型光学式スケールおよび反射型光学式エンコーダ
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人
主分類G01D 5/347 20060101AFI20241217BHJP(測定;試験)
要約【課題】うねりを抑制することが可能なエンコーダ用反射型光学式スケールを提供する。
【解決手段】第1面、および第1面に対向する第2面を有する、円盤状の金属基材1と、金属基材1の第1面側に、金属基材1の円周方向に沿ってパターン状に配置された低反射層2と、を有する、エンコーダ用反射型光学式スケール10であって、金属基材1の厚さが、0.3mm以上、1.1mm以下であり、上記エンコーダ用反射型光学式スケールのうねりが、30μm以下である、エンコーダ用反射型光学式スケールを提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１面、および前記第１面に対向する第２面を有する、円盤状の金属基材と、
前記金属基材の前記第１面側に、前記金属基材の円周方向に沿ってパターン状に配置された低反射層と、
を有する、エンコーダ用反射型光学式スケールであって、
前記金属基材の厚さが、０．３ｍｍ以上、１．１ｍｍ以下であり、
前記エンコーダ用反射型光学式スケールのうねりが、３０μｍ以下である、エンコーダ用反射型光学式スケール。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
中心孔を有する有孔円盤状である、請求項１に記載のエンコーダ用反射型光学式スケール。
【請求項３】
内径寸法精度を示す工程能力指数Ｃｐが、１．３３以上である、請求項２に記載のエンコーダ用反射型光学式スケール。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載のエンコーダ用反射型光学式スケールと、
前記エンコーダ用反射型光学式スケールの前記低反射層が配置された側の表面に、測定光を照射する光源と、
前記エンコーダ用反射型光学式スケールからの反射光を検出する光検出器と、
を備える、反射型光学式エンコーダ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、エンコーダ用反射型光学式スケールおよび反射型光学式エンコーダに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、制御機構を備えるサーボモータ等に光学式エンコーダが使用されている。光学式エンコーダには、透過型エンコーダと反射型エンコーダがあるが、反射型エンコーダは透過型エンコーダに比べて光路が短く、小型化、薄型化が容易であり、また、発光素子や受光素子の位置決めが不要であり組み立てが容易であるという利点を有する。
【０００３】
反射型光学式エンコーダは、反射型光学式スケール、スケールに光を照射するＬＥＤ等の光源、およびスケールからの反射光を検出する光検出器を備える。反射型光学式スケールは、反射領域（高反射領域）と非反射領域（低反射領域）が交互に配置され、反射領域における光の反射率は、非反射領域における光の反射率よりも高い（例えば、特許文献１）。これにより、スケールから反射し光検出器に入射する光の強さは、スケールの位置の変化により強弱を生じる。光検出器は、スケールの位置が測長方向に移動することによって生じる光の強弱を検出する。反射型光学式エンコーダは、検出された光の強弱にしたがって、このスケールの位置の変位情報を処理し、位置情報を取得しうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－２４１２４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、反射型光学式スケールは、複数の反射型光学式スケールが並んで配置されている多面付け体を個片化することによって製造される。多面付け体を構成する基材が金属基材である場合、個片化工程においては、加工精度が良好であることから、金属基材のエッチング加工によって個片化する場合が多い。しかし、金属基材のエッチング加工による個片化は、コスト面で不利である。
【０００６】
そこで、金属基材の厚さを薄くすることで、エッチングコストを削減することが検討されている。また、金属基材の厚さが薄いほうが、精度良くエッチング加工できる。しかし、金属基材が薄いと、反射型光学式スケールの取り扱いが困難になる。また、金属基材が薄いと、金属基材自体にうねりや反りが生じやすいため、反射型光学式スケールにうねりや反りが生じる場合がある。また、金属基材のエッチング加工の場合、通常、反射型光学式スケールの外周には、反射型光学式スケールとフレームとを繋ぐブリッジが設けられる。エッチング加工後にブリッジを切断することで、個々の反射型光学式スケールに分離する。この場合、反射型光学式スケールにブリッジ痕が生じる。ブリッジ痕はバリや突起となり、反射型光学式スケールに部分的に歪みが発生する。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、うねりを抑制することが可能なエンコーダ用反射型光学式スケールを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一実施形態は、第１面、および上記第１面に対向する第２面を有する、円盤状の金属基材と、上記金属基材の上記第１面側に、上記金属基材の円周方向に沿ってパターン状に配置された低反射層と、を有する、エンコーダ用反射型光学式スケールであって、上記金属基材の厚さが、０．３ｍｍ以上、１．１ｍｍ以下であり、上記エンコーダ用反射型光学式スケールのうねりが、３０μｍ以下である、エンコーダ用反射型光学式スケールを提供する。
【０００９】
本開示の他の実施形態は、上述のエンコーダ用反射型光学式スケールと、上記エンコーダ用反射型光学式スケールの上記低反射層が配置された側の表面に、測定光を照射する光源と、上記エンコーダ用反射型光学式スケールからの反射光を検出する光検出器と、を備える、反射型光学式エンコーダを提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本開示におけるエンコーダ用反射型光学式スケールにおいては、うねりを抑制することが可能であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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