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公開番号
2024171433
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2024-12-12
出願番号
2023088433
出願日
2023-05-30
発明の名称
半導体装置、車両および半導体装置の製造方法
出願人
ローム株式会社
代理人
個人
主分類
H01L
23/29 20060101AFI20241205BHJP(基本的電気素子)
要約
【課題】 放熱を促進することが可能な半導体装置、車両および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体装置A1は、半導体素子10と、半導体素子10に接する封止体70と、を備える。封止体70は、セラミックを主成分とする。
【選択図】図12
特許請求の範囲
【請求項1】
半導体素子と、
前記半導体素子に接する封止体と、を備え、
前記封止体は、セラミックを主成分とする、半導体装置。
続きを表示(約 760 文字)
【請求項2】
前記半導体素子が搭載された支持基板をさらに備え、
前記封止体は、前記支持基板の少なくとも一部に接する、請求項1に記載の半導体装置。
【請求項3】
前記封止体は、前記支持基板のすべてを覆う、請求項2に記載の半導体装置。
【請求項4】
複数の前記半導体素子を備え、
前記複数の半導体素子は、第1半導体素子および第2半導体素子を含む、請求項2に記載の半導体装置。
【請求項5】
前記支持基板は、第1導電性基板および第2導電性基板を含み、
前記第1半導体素子は、前記第1導電性基板に導通接合されており、
前記第2半導体素子は、前記第2導電性基板に導通接合されている、請求項4に記載の半導体装置。
【請求項6】
前記複数の半導体素子および前記支持基板の少なくともいずれかに導通する複数の導通部材をさらに備え、
前記封止体は、前記複数の導通部材の少なくとも一部ずつに接する、請求項5に記載の半導体装置。
【請求項7】
前記複数の導通部材は、前記第1導電性基板に導通する第1端子、前記第2半導体素子に導通する第2端子、および前記第2導電性基板に導通する第3端子、を含む、請求項6に記載の半導体装置。
【請求項8】
前記第1端子は、前記封止体から突出する第1端子部を有する、請求項7に記載の半導体装置。
【請求項9】
前記第2端子は、前記封止体から突出する第2端子部を有する、請求項8に記載の半導体装置。
【請求項10】
前記第3端子は、前記封止体から突出する第3端子部を有する、請求項9に記載の半導体装置。
(【請求項11】以降は省略されています)
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体装置、車両および半導体装置の製造方法に関する。
続きを表示(約 1,500 文字)
【背景技術】
【0002】
特許文献1には、従来の半導体装置が開示されている。特許文献1に記載の半導体装置は、半導体素子および封止樹脂を備えている。封止樹脂は、半導体素子を覆っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
再公表2020/105476号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
半導体素子において生じる熱は、速やかに外部に放熱されることが好ましい。
【0005】
本開示は、上記課題に鑑みて考え出されたものであり、その目的は、放熱を促進することが可能な半導体装置、車両および半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の第1の側面によって提供される半導体装置は、半導体素子と、前記半導体素子に接する封止体と、を備え、前記封止体は、セラミックを主成分とする。
【0007】
本開示の第2の側面によって提供される半導体装置の製造方法は、支持基板に半導体素子を搭載する工程と、前記支持基板および前記半導体素子の少なくともいずれかに導通部材を導通接合する工程と、前記半導体素子、前記支持基板および前記導通部材の少なくとも一部ずつに接し且つセラミックを主成分とする封止体を形成する工程と、を備える。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、放熱を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す斜視図である。
図2は、図1の斜視図において封止体を省略した図である。
図3は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す平面図である。
図4は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す正面図である。
図5は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す底面図である。
図6は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す左側面図である。
図7は、第1実施形態にかかる半導体装置を示す右側面図である。
図8は、図3の平面図において封止体を想像線で示した図である。
図9は、図8の平面図において第2端子を省略した図である。
図10は、図8の一部を拡大した部分拡大平面図である。
図11は、図8のXI-XI線に沿う断面図である。
図12は、図11の一部を拡大した部分拡大断面図である。
図13は、図11の一部を拡大した部分拡大断面図である。
図14は、第1実施形態にかかる半導体装置が搭載された車両を示す構成図である。
図15は、第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
図16は、第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一例を示す断面図である。
図17は、第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一例を示す断面図である。
図18は、第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一例を示す断面図である。
図19は、第1実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一例を示す断面図である。
図20は、第2実施形態にかかる半導体装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本開示の半導体装置の好ましい実施の形態について、図面を参照して、以下に説明する。
(【0011】以降は省略されています)
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