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公開番号2024169072
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023086260
出願日2023-05-25
発明の名称放射線検出装置
出願人株式会社堀場製作所
代理人個人,個人
主分類G01N 23/2204 20180101AFI20241128BHJP(測定;試験)
要約【課題】磁性を有する試料からの放射線を容易に検出することができる放射線検出装置を提供する。
【解決手段】放射線検出装置は、試料が載置される試料台と、前記試料台に載置された試料からの放射線を検出する放射線検出器と、磁界を発生させる第1磁界発生部を有しており、前記試料台及び前記放射線検出器の間の位置に配置された電子トラップとを備え、前記試料台は、載置された磁性を有する試料を吸引する磁界を発生させる第2磁界発生部を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
試料が載置される試料台と、
前記試料台に載置された試料からの放射線を検出する放射線検出器と、
磁界を発生させる第１磁界発生部を有しており、前記試料台及び前記放射線検出器の間の位置に配置された電子トラップとを備え、
前記試料台は、載置された磁性を有する試料を吸引する磁界を発生させる第２磁界発生部を有すること
を特徴とする放射線検出装置。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
前記第２磁界発生部が発生させる磁界は、前記試料台に試料が載置される位置において、前記第１磁界発生部が発生させる磁界よりも強いこと
を特徴とする請求項１に記載の放射線検出装置。
【請求項３】
前記試料台は、載置される試料と前記第２磁界発生部との間に位置する非磁性部材を更に有すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の放射線検出装置。
【請求項４】
上面が開放された筒状であり、粉末の試料が収納された状態で前記試料台に載置される試料ケースを更に備えること
を特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記載の放射線検出装置。
【請求項５】
内部が減圧される減圧室を更に備え、
前記試料台は、前記減圧室の内部に配置されていること
を特徴とする請求項１乃至４の何れか一つに記載の放射線検出装置。
【請求項６】
前記試料台に載置された試料へＸ線が照射され、
前記放射線検出器は、前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出すること
を特徴とする請求項１乃至５の何れか一つに記載の放射線検出装置。
【請求項７】
前記試料台に載置された試料へ放射線を照射する照射部と、
前記放射線検出器が検出した放射線のスペクトルを生成するスペクトル生成部と、
前記スペクトル生成部が生成したスペクトルを表示する表示部と
を更に備えることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一つに記載の放射線検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線検出装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
放射線分析は、Ｘ線等の放射線を試料へ照射し、試料から発生する放射線を検出し、放射線の検出結果に基づいて試料の成分を分析する手法である。放射線分析を行う放射線分析装置は、試料が載置される試料台と、放射線検出器とを備える。試料台に載置された試料に放射線が照射され、試料から発生した放射線を放射線検出器で検出する。放射線検出器には、検出対象となる放射線以外に電子が入射することがある。このような電子は、ノイズの原因となる。放射線検出装置には、放射線検出器への電子の入射を防止するために、磁石を用いた電子トラップを放射線検出器の先端に備えたものがある。特許文献１には、電子トラップを備えた放射線検出装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００２－２２１５０４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
放射線検出器は、試料から発生した放射線を高い効率で検出するために、試料台に近づけて使用される。磁石を用いた電子トラップが放射線検出器の先端に配置されている場合は、磁性を有する試料が電子トラップに吸引され、試料が移動し、試料からの放射線の検出が困難になることがある。
【０００５】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、磁性を有する試料からの放射線を容易に検出することができる放射線検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一形態に係る放射線検出装置は、試料が載置される試料台と、前記試料台に載置された試料からの放射線を検出する放射線検出器と、磁界を発生させる第１磁界発生部を有しており、前記試料台及び前記放射線検出器の間の位置に配置された電子トラップとを備え、前記試料台は、載置された磁性を有する試料を吸引する磁界を発生させる第２磁界発生部を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の一形態においては、試料が載置される試料台と試料から発生する放射線を検出する放射線検出器との間には、第１磁界発生部を有する電子トラップが配置されている。試料台は、第２磁界発生部を有する。試料が磁性体であり、第１磁界発生部が発生させる磁界が試料に作用する場合でも、試料は第２磁界発生部に吸引され、試料台から移動しない。
【０００８】
本発明の一形態に係る放射線検出装置は、前記第２磁界発生部が発生させる磁界は、前記試料台に試料が載置される位置において、前記第１磁界発生部が発生させる磁界よりも強いことを特徴とする。
【０００９】
本発明の一形態においては、試料が試料台に載置される位置において、第２磁界発生部が発生させる磁界は、第１磁界発生部が発生させる磁界よりも強い。このため、試料が磁性体であったとしても、試料は、第１磁界発生部には吸引されず、第２磁界発生部に吸引され、即ち、試料は試料台に吸引される。試料は試料台から移動しない。
【００１０】
本発明の一形態に係る放射線検出装置は、前記試料台は、載置される試料と前記第２磁界発生部との間に位置する非磁性部材を更に有することを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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