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公開番号2024151753
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-25
出願番号2023065397
出願日2023-04-13
発明の名称検査装置、検査方法
出願人富士電機株式会社
代理人弁理士法人RYUKA国際特許事務所
主分類G01N 21/956 20060101AFI20241018BHJP(測定;試験)
要約【課題】検査において、過検出を抑制することが好ましい。
【解決手段】被検査デバイスを検査する検査装置であって、前記被検査デバイスに第1の光および前記第1の光とは照射特性の異なる第2の光を照射する光源と、前記第1の光および前記第2の光のそれぞれについて前記被検査デバイスからの反射光を検出する撮像部と、前記撮像部における前記第1の光および前記第2の光の少なくとも一方の検出結果に基づいて前記被検査デバイスの良否を判定する判定部とを備える検査装置を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被検査デバイスを検査する検査装置であって、
前記被検査デバイスに第１の光および前記第１の光とは照射特性の異なる第２の光を照射する光源と、
前記第１の光および前記第２の光のそれぞれについて前記被検査デバイスからの反射光を検出する撮像部と、
前記撮像部における前記第１の光および前記第２の光の少なくとも一方の検出結果に基づいて前記被検査デバイスの良否を判定する判定部と
を備える検査装置。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
前記第１の光と前記第２の光は拡散度合が異なる光である
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記第１の光は同軸光であり、前記第２の光は拡散光である
請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記判定部は、前記同軸光についての前記検出結果に基づいて前記被検査デバイスの良否を判定し、前記判定の結果が不良の場合、前記拡散光についての前記検出結果に基づいて前記被検査デバイスの良否を判定する
請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記同軸光の波長と前記拡散光の波長は異なっており、
前記撮像部は、前記同軸光についての前記被検査デバイスからの前記反射光と前記拡散光についての前記被検査デバイスからの前記反射光を同時に検出する
請求項３に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１の光と前記第２の光は波長が異なる光である
請求項１に記載の検査装置。
【請求項７】
前記第１の光および前記第２の光はともに拡散光である
請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記第１の光と前記第２の光は前記被検査デバイスに対する照射角が異なる光である
請求項１に記載の検査装置。
【請求項９】
前記検査装置は、表面に斑点模様およびプローブ痕を有するキャリブレーション用チップを用いて、設定されたタイミングで、前記被検査デバイスに照射する前記同軸光の強度を決定するキャリブレーション動作を行い、
前記キャリブレーション動作において、前記キャリブレーション用チップに照射する前記同軸光の強度を徐々に増加させ、前記斑点模様の画像の輝度と、前記プローブ痕の画像の輝度の差異が設定値以上となる前記同軸光の強度を予め測定する
請求項３に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記被検査デバイスは表面に斑点模様を有する半導体チップであり、
前記光源は、前記半導体チップの型式に応じて前記同軸光の強度を調整する
請求項３に記載の検査装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、照射光として拡散光を照射する表面検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］特開２０２１－１７９３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
検査において、過検出を抑制することが好ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、被検査デバイスを検査する検査装置を提供する。前記検査装置は、前記被検査デバイスに第１の光および前記第１の光とは照射特性の異なる第２の光を照射する光源を備えてよい。前記いずれかの検査装置は、前記第１の光および前記第２の光のそれぞれについて前記被検査デバイスからの反射光を検出する撮像部を備えてよい。前記いずれかの検査装置は、前記撮像部における前記第１の光および前記第２の光の少なくとも一方の検出結果に基づいて前記被検査デバイスの良否を判定する判定部を備えてよい。
【０００５】
前記いずれかの検査装置において、前記第１の光と前記第２の光は拡散度合が異なる光であってよい。
【０００６】
前記いずれかの検査装置において、前記第１の光は同軸光であり、前記第２の光は拡散光であってよい。
【０００７】
前記いずれかの検査装置において、前記判定部は、前記同軸光についての前記検出結果に基づいて前記被検査デバイスの良否を判定し、前記判定の結果が不良の場合、前記拡散光についての前記検出結果に基づいて前記被検査デバイスの良否を判定してよい。
【０００８】
前記いずれかの検査装置において、前記同軸光の波長と前記拡散光の波長は異なっていてよい。前記いずれかの検査装置において、前記撮像部は、前記同軸光についての前記被検査デバイスからの前記反射光と前記拡散光についての前記被検査デバイスからの前記反射光を同時に検出してよい。
【０００９】
前記いずれかの検査装置において、前記第１の光と前記第２の光は波長が異なる光であってよい。
【００１０】
前記いずれかの検査装置において、前記第１の光および前記第２の光はともに拡散光であってよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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