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公開番号2024147156
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-16
出願番号2023059989
出願日2023-04-03
発明の名称ミラー装置
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G02B 26/08 20060101AFI20241008BHJP(光学)
要約【課題】窓部材が傾斜して配置されている場合でも好適に実装することができるミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー装置1は、ベース部3と、ミラー面15aを有するミラーユニット2と、ベース部3上に配置された枠部材5と、枠部材5上に配置された窓部材6と、を備える。枠部材5は、第1壁部と、第2壁部と、Y方向において互いに向かい合う一対の立壁部54と、を有する。第1壁部の高さは、第2壁部の高さよりも低い。窓部材6は、第1壁部の頂面上及び第2壁部の頂面上に配置され、ミラー面15aに対して傾斜している。一対の立壁部54の各々の頂面54aは、平坦部を有する。Y方向における一対の立壁部54の各々の頂面54aの幅W3及び底面54bの幅W4は、X方向における第1壁部の幅及び第2壁部の幅よりも広い。一対の立壁部54の各々の底面54bの少なくとも一部は、ベース部3に接触している。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ベース部と、
所定の軸線回りに揺動可能に構成された可動部、及び前記可動部上に形成されたミラー面を有し、第１方向において前記ベース部上に配置されたミラーユニットと、
前記ベース部上に配置された枠部材と、
前記枠部材上に配置された窓部材と、を備え、
前記枠部材は、第１壁部と、前記第１方向に垂直な第２方向において前記第１壁部と向かい合う第２壁部と、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の立壁部と、を有し、
前記第１壁部の高さは、前記第２壁部の高さよりも低く、
前記窓部材は、前記第１壁部の頂面上及び前記第２壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、
前記一対の立壁部の各々の頂面は、平坦部を有し、
前記第３方向における前記一対の立壁部の各々の頂面の幅及び底面の幅は、前記第２方向における前記第１壁部の幅及び前記第２壁部の幅よりも広く、
前記一対の立壁部の各々の底面の少なくとも一部は、前記ベース部に接触している、ミラー装置。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記一対の立壁部の各々の前記底面の全体は、前記ベース部に接触している、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項３】
前記第３方向における前記窓部材の長さは、前記第３方向における前記一対の立壁部の各々の幅よりも長い、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項４】
前記第３方向における前記窓部材の長さは、前記第３方向における前記一対の立壁部の幅の和よりも広い、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項５】
前記第２壁部は、前記第２方向における頂面の幅が前記第２方向における底面の幅よりも狭い部分を有している、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項６】
前記一対の立壁部の各々の高さは、前記第２壁部の高さよりも高い、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項７】
前記第１方向において、前記窓部材の全体は、前記一対の立壁部の各々の頂面に対して前記ベース部の側に位置している、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項８】
前記枠部材は、第１接着材により前記ベース部に固定されており、
前記第１接着材は、全周にわたって前記枠部材と前記ベース部との間に配置されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項９】
前記枠部材は、前記第３方向において互いに向かい合う一対の第３壁部を更に有し、
前記一対の立壁部は、前記第１方向から見た場合に、前記一対の第３壁部の外側に配置されている、請求項１又は２に記載のミラー装置。
【請求項１０】
前記窓部材は、第２接着材により前記一対の第３壁部の頂面に固定されている、請求項９に記載のミラー装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラー装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ミラー装置として、回転可能なミラー部を有するミラーユニットを備え、ベース部上に配置された枠状の部材によりガラス板をミラー部と向かい合うように支持したものがある（例えば特許文献１の図７参照）。特許文献１に記載のミラー装置では、ミラー部が傾斜するようにミラーユニットを配置することでガラス板に対してミラー部を傾斜させ、これにより、ガラス板で反射された反射光をミラーユニットの機能に影響がない方向に反射させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－０９９５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなミラー装置においては、同様の目的を達成するために、ミラーユニットではなくガラス板を傾斜して配置することが考えられる。一方、この場合、ミラー装置におけるガラス板側の構成がベース部の底面に対して傾斜することとなるため、ミラー装置を例えば外部機器等に実装することが難しくなることが懸念される。
【０００５】
そこで、本発明は、窓部材が傾斜して配置されている場合でも好適に実装することができるミラー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のミラー装置は、［１］「ベース部と、所定の軸線回りに揺動可能に構成された可動部、及び前記可動部上に形成されたミラー面を有し、第１方向において前記ベース部上に配置されたミラーユニットと、前記ベース部上に配置された枠部材と、前記枠部材上に配置された窓部材と、を備え、前記枠部材は、第１壁部と、前記第１方向に垂直な第２方向において前記第１壁部と向かい合う第２壁部と、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向において互いに向かい合う一対の立壁部と、を有し、前記第１壁部の高さは、前記第２壁部の高さよりも低く、前記窓部材は、前記第１壁部の頂面上及び前記第２壁部の頂面上に配置され、前記ミラー面に対して傾斜しており、前記一対の立壁部の各々の頂面は、平坦部を有し、前記第３方向における前記一対の立壁部の各々の頂面の幅及び底面の幅は、前記第２方向における前記第１壁部の幅及び前記第２壁部の幅よりも広く、前記一対の立壁部の各々の底面の少なくとも一部は、前記ベース部に接触している、ミラー装置」である。
【０００７】
［１］に記載のミラー装置では、第１壁部の高さが第２壁部の高さよりも低く、窓部材が、第１壁部の頂面上及び第２壁部の頂面上に配置され、ミラー面に対して傾斜している。これにより、窓部材で反射した光が進む方向をミラー面で反射した光が進む方向とは異ならせることができ、窓部材で反射した光がノイズ光となることを抑制することができる。また、一対の立壁部の各々の頂面が平坦部を有している。これにより、窓部材が傾斜して配置されている場合でも、平坦部を基準とすることで、ミラー装置を精度良く実装することができる。また、一対の立壁部の各々の頂面の幅が第１壁部の幅及び第２壁部の幅よりも広い。これにより、例えば実装時に立壁部の頂面を吸引しやすくなり、ミラー装置の実装を容易化することができる。さらに、一対の立壁部の各々の底面の幅が第１壁部の幅及び第２壁部の幅よりも広く、一対の立壁部の各々の底面の少なくとも一部がベース部に接触している。これにより、枠部材をベース部に強固に固定することができる。また、一対の立壁部の各々の頂面及び底面の幅が第１壁部の幅及び第２壁部の幅よりも広いことで、立壁部の強度を高めることができ、例えば実装時に吸引のための治具等を立壁部の頂面に接触させた際に立壁部が破損することを抑制することができる。よって、［１］に記載のミラー装置によれば、窓部材が傾斜して配置されている場合でも好適に実装することができる。
【０００８】
本発明のミラー装置は、［２］「前記一対の立壁部の各々の前記底面の全体は、前記ベース部に接触している、［１］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、枠部材をベース部に一層強固に固定することができる。
【０００９】
本発明のミラー装置は、［３］「前記第３方向における前記窓部材の長さは、前記第２方向における前記一対の立壁部の各々の幅よりも長い、［１］又は［２］に記載のミラー装置」であってもよい。この場合、立壁部によってミラー面へ向かう光又はミラー面で反射した光が遮られることを抑制することができる。
【００１０】
本発明のミラー装置は、［４］「前記第３方向における前記窓部材の長さは、前記第２方向における前記一対の立壁部の幅の和よりも長い、［１］～［３］のいずれかに記載のミラー装置」であってもよい。この場合、立壁部によってミラー面へ向かう光又はミラー面で反射した光が遮られることを抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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