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公開番号2024141871
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-10
出願番号2023053725
出願日2023-03-29
発明の名称固体撮像装置
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類H01L 27/146 20060101AFI20241003BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】透明基板に遮光膜を配置しても、透明基板の接着性の低下を抑制する固体撮像装置を提供する。
【解決手段】固体撮像装置1は、固体撮像素子10と、固体撮像素子10が搭載された基板20と、基板20と対向するように配置された透明基板30と、透明基板30の内面側または外面側であって、透明基板30側から見たとき固体撮像素子10の撮像領域12を取り囲むように配置された遮光膜45と、固体撮像素子10を囲うように、および、遮光膜45と重なるように、基板20と透明基板30との間に配置されたフレーム40と、フレーム40と透明基板30とを接着する光硬化型の接着剤50とを備える。遮光膜45は、フレーム40および接着剤50と重なる部分R1において、光を透過する透光領域47を有し、遮光膜45の透光領域47の膜厚は、遮光膜45の透光領域47以外の非透光領域46の膜厚よりも薄い。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
固体撮像素子と、
前記固体撮像素子が搭載された基板と、
前記基板と対向するように配置された透明基板と、
前記透明基板の内面側または外面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光膜と、
前記固体撮像素子を囲うように、および、前記遮光膜と重なるように、前記基板と前記透明基板との間に配置されたフレームと、
前記フレームと前記透明基板とを接着する光硬化型の接着剤と、
を備え、
前記遮光膜は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分において、光を透過する透光領域を有し、
前記遮光膜の前記透光領域の膜厚は、前記遮光膜の前記透光領域以外の非透光領域の膜厚よりも薄い、
固体撮像装置。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
固体撮像素子と、
前記固体撮像素子と対向するように配置された透明基板と、
前記透明基板の内面側または外面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光膜と、
前記固体撮像素子の撮像領域を囲うように、および、前記遮光膜と重なるように、前記固体撮像素子と前記透明基板との間に配置されたフレームと、
を備え、
前記フレームは、光硬化型の接着剤であり、
前記遮光膜は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分において、光を透過する透光領域とを有し、
前記遮光膜の前記透光領域の膜厚は、前記遮光膜の前記透光領域以外の非透光領域の膜厚よりも薄い、
固体撮像装置。
【請求項３】
前記遮光膜の前記透光領域は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分の全体である、請求項１または２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記遮光膜の前記透光領域は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分の一部である、請求項１または２に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記遮光膜の前記非透光領域および前記透光領域は着色剤を含む、請求項１または２に記載の固体撮像装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ＣＭＯＳセンサまたはＣＣＤセンサなどのイメージセンサである固体撮像装置が知られている。このような固体撮像装置は、例えば、固体撮像素子（半導体チップ）と、固体撮像素子が搭載された基板と、基板と対向するように配置された透明基板と、固体撮像素子を囲うように、基板と透明基板との間に配置されたフレームとを備え、固体撮像素子が基板と、透明基板と、フレームとで封止された中空構造を有する。
【０００３】
このような中空構造の固体撮像装置では、強い光が入射する際、例えばフレームの表面等の反射光（迷光）が増大し、その結果、撮像画像に発生するフレアまたはゴースト等の光学ノイズが増大する。この点に関し、特許文献１には、透明基板の内面側または外面側であって、固体撮像素子の周囲に対応する位置に遮光膜を配置し、上述した迷光を低減し、光学ノイズを低減することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第５９３０２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フレームと遮光膜を形成する際、フレームと遮光膜が接するように形成する場合、ズレると、フレームと遮光膜の間に空白ができてしまい、遮光できない部分が生じる場合がある。このため製造誤差等を考慮すると、遮光膜は、フレームと重なるように配置することが好ましい。また、透明基板とフレームとは、或いは、透明基板の内面側の遮光膜とフレームとは、接着剤で接着されることが好ましい。或いは、フレームが接着剤であることが好ましい。しかし、接着剤が光硬化型の接着剤である場合、遮光膜の存在によって接着剤が硬化不良となり、透明基板の接着性が低下することが考えられる。
【０００６】
本発明は、透明基板に遮光膜を配置しても、透明基板の接着性の低下を抑制する固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る固体撮像装置は、
［１］固体撮像素子と、前記固体撮像素子が搭載された基板と、前記基板と対向するように配置された透明基板と、前記透明基板の内面側または外面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光膜と、前記固体撮像素子を囲うように、および、前記遮光膜と重なるように、前記基板と前記透明基板との間に配置されたフレームと、前記フレームと前記透明基板とを接着する光硬化型の接着剤とを備える。前記遮光膜は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分において、光を透過する透光領域を有し、前記遮光膜の前記透光領域の膜厚は、前記遮光膜の前記透光領域以外の非透光領域の膜厚よりも薄い。
【０００８】
本発明に係る別の固体撮像装置は、
［２］固体撮像素子と、前記固体撮像素子と対向するように配置された透明基板と、前記透明基板の内面側または外面側であって、前記透明基板側から見たとき、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲むように配置された遮光膜と、前記固体撮像素子の撮像領域を囲うように、および、前記遮光膜と重なるように、前記固体撮像素子と前記透明基板との間に配置されたフレームとを備える。前記フレームは、光硬化型の接着剤である。前記遮光膜は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分において、光を透過する透光領域とを有し、前記遮光膜の前記透光領域の膜厚は、前記遮光膜の前記透光領域以外の非透光領域の膜厚よりも薄い。
［３］前記遮光膜の前記透光領域は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分の全体である、［１］または［２］に記載の固体撮像装置。
［４］前記遮光膜の前記透光領域は、前記フレームおよび前記接着剤と重なる部分の一部である、［１］～［３］のいずれかに記載の固体撮像装置。
［５］前記遮光膜の前記非透光領域および前記透光領域は着色剤を含む、［１］～［４］のいずれかに記載の固体撮像装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、固体撮像装置において、透明基板に遮光膜を配置しても、透明基板の接着性の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態に係る固体撮像装置を受光面側から示す概略図である。
第１実施形態に係る固体撮像装置の概略断面図であって、図１に示すII-II線断面図である。
第１実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を示す概略図である。
第１実施形態の変形例に係る固体撮像装置を受光面側から示す概略図である。
第２実施形態に係る固体撮像装置の概略断面図である。
第２実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を示す概略図である。
第３実施形態に係る固体撮像装置の概略断面図である。
第３実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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