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公開番号2024140876
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-10
出願番号2023052235
出願日2023-03-28
発明の名称液体フィルター用基材及び液体フィルター
出願人帝人株式会社
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類B01D 71/26 20060101AFI20241003BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】孔径が比較的小さいながら洗浄によって残留金属の除去が容易な液体フィルター用基材を提供する。
【解決手段】液体フィルター用基材は、孔径が1nm～35nmであり且つ長径1mm以上の粒状物の個数が1m²あたり0個～2個であるポリオレフィン微多孔膜を有する。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
孔径が１ｎｍ～３５ｎｍであり且つ長径１ｍｍ以上の粒状物の個数が１ｍ
２
あたり０個～２個であるポリオレフィン微多孔膜、を有する、
液体フィルター用基材。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚が３μｍ～２０μｍである、請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項３】
前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率が３５％～７０％である、請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項４】
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量が０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉである、請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項５】
前記ポリオレフィン微多孔膜を構成するポリオレフィン全体の重量平均分子量が８０万以上である、請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項６】
前記ポリオレフィン微多孔膜がポリエチレン微多孔膜である、請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項７】
請求項１～請求項６のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材を備える、液体フィルター。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体フィルター用基材及び液体フィルターに関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体のリソグラフィ工程に使用される液状組成物は、その使用前に、液状組成物から微小な異物を除去する目的で、液体フィルターで濾過される。その液体フィルター内部には、緻密な多孔質膜をプリーツ加工した濾材、中空糸を束ねた濾材などが収納されている。
従来、液体フィルターの濾材に使用する多孔質膜として、ポリオレフィン微多孔膜が知られている。特許文献１～７には、小孔径のポリオレフィン微多孔膜からなる液体フィルター用基材が開示されている。
ポリオレフィンはハロゲン元素を含まず、したがって、濾材がポリオレフィン微多孔膜である液体フィルターは、使用後の廃棄処理に制限が少ない点および環境負荷が小さい点で有利である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１４／１８１７６０号
国際公開第２０１４／１８１７６１号
国際公開第２０１４／１８１７６２号
特開２０１４－２１７８００号公報
特開２０１４－２１８５６３号公報
特開２０１８－１６７１９８号公報
国際公開第２０２０／０２２３２１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体フィルターは一般的に、製造後かつ使用前に濾材が洗浄される。濾材を洗浄することによって、液体フィルターの製造中に発生した微粉及び空気中のちり等を濾材から除去し、液体フィルターの被処理液にこれらの異物が混入することを防ぐ。
また、濾材の洗浄の際に、濾材自体に含まれていた微量な金属が溶出して除去される。ポリオレフィン微多孔膜には、製造原料であるポリオレフィンが持ち込んだ金属（カルシウム、亜鉛など。ポリオレフィンの重合触媒又は重合後の添加剤（例えば金属石鹸）に由来する。）が含まれていることがあり、濾材の洗浄の際にこれら金属がポリオレフィン微多孔膜から溶出して除去される。
濾材に含まれている金属は、リソグラフィ工程に使用される液状組成物を濾過する際に液状組成物へ溶出し、半導体の製造歩留まりを低下させる懸念があることから、使用前に濾材から除去されることが望ましい。
【０００５】
ところで、半導体の配線パターンが微細化かつ高密度化するにしたがい、リソグラフィ工程に使用される液状組成物から極微小な異物（例えば粒径が数ｎｍの微小粒子）さえも除去する必要性が高まっている。そのため、より緻密な濾材を備える液体フィルターが要求されている。
ただし、濾材が緻密化するほど、濾材の洗浄効率は下がる傾向がある。ポリオレフィン微多孔膜について言えば、その孔径が小さいほど、濾材の洗浄の際に、ポリオレフィン微多孔膜に含まれていた金属が溶出して除去される効率は下がる。
【０００６】
さらに、ポリオレフィン微多孔膜の緻密化は、下記の機序によっても金属の溶出及び除去を難しくする。
一般的にポリオレフィン微多孔膜の緻密化は、超高分子量ポリオレフィンを原料とすることによって実現される。したがって、ポリオレフィン微多孔膜をより緻密化する方策として、超高分子量ポリオレフィンの分子量を増大することが考えられる。しかし、分子量がより大きい超高分子量ポリオレフィンは、溶融混練の際に融けきらず、ポリオレフィン微多孔膜にポリオレフィンからなる粒状物を発生させることがある。この粒状物には原料ポリオレフィンに含まれていた金属が残留しており、しかも、粒状物内部の金属は濾材の洗浄の際に溶出しにくい。
【０００７】
以上の理由によって、ポリオレフィン微多孔膜の緻密化と残留金属の除去とを共に実現することは難しかった。
【０００８】
本開示は、上記状況のもとになされた。
本開示は、孔径が比較的小さいながら洗浄によって残留金属の除去が容易な液体フィルター用基材を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための具体的手段には、以下の態様が含まれる。
＜１＞
孔径が１ｎｍ～３５ｎｍであり且つ長径１ｍｍ以上の粒状物の個数が１ｍ
２
あたり０個～２個であるポリオレフィン微多孔膜、を有する、
液体フィルター用基材。
＜２＞
前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚が３μｍ～２０μｍである、＜１＞に記載の液体フィルター用基材。
＜３＞
前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率が３５％～７０％である、＜１＞又は＜２＞に記載の液体フィルター用基材。
＜４＞
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量が０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉである、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の液体フィルター用基材。
＜５＞
前記ポリオレフィン微多孔膜を構成するポリオレフィン全体の重量平均分子量が８０万以上である、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の液体フィルター用基材。
＜６＞
前記ポリオレフィン微多孔膜がポリエチレン微多孔膜である、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の液体フィルター用基材。
＜７＞
＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の液体フィルター用基材を備える、液体フィルター。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、孔径が比較的小さいながら洗浄によって残留金属の除去が容易な液体フィルター用基材が提供される。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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