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公開番号2024137501
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-07
出願番号2023049037
出願日2023-03-24
発明の名称貯蔵装置
出願人大陽日酸株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類B08B 3/08 20060101AFI20240927BHJP(清掃)
要約【課題】貯蔵タンクの残留物を精密に除去できる貯蔵装置を提供する。
【解決手段】液体又は固体状態の貯蔵物質を貯蔵する貯蔵タンク2と、溶剤を貯蔵する溶剤タンク3と、前記溶剤タンク3に不活性ガスを供給でき、前記貯蔵タンク2からガスを排出でき、前記溶剤タンク3への前記不活性ガスの供給と前記貯蔵タンク2からのガスの排出とにより前記溶剤タンク3から前記貯蔵タンク2に前記溶剤を供給でき、前記貯蔵タンク2に不活性ガスを供給でき、且つ、前記貯蔵タンク2への前記不活性ガスの供給により前記貯蔵タンク2から前記溶剤を排出できる経路部4と、前記貯蔵タンク2に供給された前記溶剤中の前記貯蔵物質を検出する検出部5とを有する、貯蔵装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液体又は固体状態の貯蔵物質を貯蔵する貯蔵タンクと、
溶剤を貯蔵する溶剤タンクと、
前記溶剤タンクに不活性ガスを供給でき、前記貯蔵タンクからガスを排出でき、前記溶剤タンクへの前記不活性ガスの供給と前記貯蔵タンクからのガスの排出とにより前記溶剤タンクから前記貯蔵タンクに前記溶剤を供給でき、前記貯蔵タンクに不活性ガスを供給でき、且つ、前記貯蔵タンクへの前記不活性ガスの供給により前記貯蔵タンクから前記溶剤を排出できる経路部と、
前記貯蔵タンクに供給された前記溶剤中の前記貯蔵物質を検出する検出部とを有する、貯蔵装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
酸性又はアルカリ性の溶液である酸・アルカリ性溶液を貯蔵する酸・アルカリ性溶液タンクを有し、
前記経路部は、前記酸・アルカリ性溶液タンクに不活性ガスを供給でき、前記酸・アルカリ性溶液タンクへの前記不活性ガスの供給と前記貯蔵タンクからのガスの排出とにより前記酸・アルカリ性溶液タンクから前記貯蔵タンクに前記酸・アルカリ性溶液を供給でき、且つ、前記貯蔵タンクへの不活性ガスの供給により前記貯蔵タンクから前記酸・アルカリ性溶液を排出できる、請求項１に記載の貯蔵装置。
【請求項３】
前記経路部は、前記貯蔵タンク内の前記酸・アルカリ性溶液中に不活性ガスを供給できる、請求項２に記載の貯蔵装置。
【請求項４】
前記酸・アルカリ性溶液は、硝酸、クエン酸若しくはフッ酸を含む酸性溶液、又は、アンモニア水を含むアルカリ性溶液である、請求項２に記載の貯蔵装置。
【請求項５】
前記酸・アルカリ性溶液を貯蔵する再利用タンクを有し、
前記経路部は、前記再利用タンクからガスを排出でき、前記貯蔵タンクへの不活性ガスの供給と前記再利用タンクからのガスの排出とにより前記貯蔵タンクから前記再利用タンクに前記酸・アルカリ性溶液を供給でき、且つ、前記再利用タンクへの不活性ガスの供給と前記貯蔵タンクからのガスの排出とにより前記再利用タンクから前記貯蔵タンクに前記酸・アルカリ性溶液を供給できる、請求項２に記載の貯蔵装置。
【請求項６】
前記経路部は、前記貯蔵タンクに脱イオン水を供給でき、且つ、前記貯蔵タンクから前記脱イオン水を排出できる、請求項１に記載の貯蔵装置。
【請求項７】
前記経路部は、前記脱イオン水を前記貯蔵タンクに流通させることができる、請求項６に記載の貯蔵装置。
【請求項８】
前記貯蔵タンクを加熱できる加熱部を有し、
前記経路部は、前記加熱部によって温度が上昇した状態の前記貯蔵タンクに不活性ガスを供給することで前記貯蔵タンクを乾燥させることができる、請求項１に記載の貯蔵装置。
【請求項９】
前記貯蔵物質は、２５℃、１気圧で液体又は固体状態となる有機又は無機金属化合物である、請求項１に記載の貯蔵装置。
【請求項１０】
前記溶剤は有機化合物である、請求項１に記載の貯蔵装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は貯蔵装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
貯蔵タンクを洗浄する装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３３８１９２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体又は固体状態の貯蔵物質を貯蔵する貯蔵タンクを有する貯蔵装置は、不純物の混入を抑制して貯蔵物質の高純度を保ちつつ貯蔵タンクを繰り返し使用するために、使用後に貯蔵タンクに残留した貯蔵物質の残留物を精密に除去できることが好ましい。
【０００５】
そこで本発明の目的は、貯蔵タンクの残留物を精密に除去できる貯蔵装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は以下のとおりである。
【０００７】
［１］
液体又は固体状態の貯蔵物質を貯蔵する貯蔵タンクと、
溶剤を貯蔵する溶剤タンクと、
前記溶剤タンクに不活性ガスを供給でき、前記貯蔵タンクからガスを排出でき、前記溶剤タンクへの前記不活性ガスの供給と前記貯蔵タンクからのガスの排出とにより前記溶剤タンクから前記貯蔵タンクに前記溶剤を供給でき、前記貯蔵タンクに不活性ガスを供給でき、且つ、前記貯蔵タンクへの前記不活性ガスの供給により前記貯蔵タンクから前記溶剤を排出できる経路部と、
前記貯蔵タンクに供給された前記溶剤中の前記貯蔵物質を検出する検出部とを有する、貯蔵装置。
【０００８】
［２］
酸性又はアルカリ性の溶液である酸・アルカリ性溶液を貯蔵する酸・アルカリ性溶液タンクを有し、
前記経路部は、前記酸・アルカリ性溶液タンクに不活性ガスを供給でき、前記酸・アルカリ性溶液タンクへの前記不活性ガスの供給と前記貯蔵タンクからのガスの排出とにより前記酸・アルカリ性溶液タンクから前記貯蔵タンクに前記酸・アルカリ性溶液を供給でき、且つ、前記貯蔵タンクへの不活性ガスの供給により前記貯蔵タンクから前記酸・アルカリ性溶液を排出できる、［１］に記載の貯蔵装置。
【０００９】
［３］
前記経路部は、前記貯蔵タンク内の前記酸・アルカリ性溶液中に不活性ガスを供給できる、［２］に記載の貯蔵装置。
【００１０】
［４］
前記酸・アルカリ性溶液は、硝酸、クエン酸若しくはフッ酸を含む酸性溶液、又は、アンモニア水を含むアルカリ性溶液である、［２］又は［３］に記載の貯蔵装置。
（【００１１】以降は省略されています）

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