特許ウォッチ

公開番号2024130286
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039927
出願日2023-03-14
発明の名称成膜装置及び成膜方法
出願人キヤノントッキ株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類C23C 14/50 20060101AFI20240920BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】基板に悪影響を与えることなく、吸着部材に対して、基板を安定した状態で吸着させることのできる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】静電チャック31と、静電チャック31に対する基板の吸着の前及び後の少なくともいずれかに、基板の成膜側の面の周縁を支持する複数の支持部材41と、基板の成膜側の面に交差する方向に移動可能に構成され、基板の周縁を複数の支持部材41と挟み込むように基板の成膜側の面とは反対側から基板の周縁を押圧する複数の押圧部材71と、を備え、複数の押圧部材71は、基板が複数の支持部材41に支持されている際に基板の自重に伴う基板の変形量が第1領域よりも小さい第2領域を前記第1領域よりも強く押圧することを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板の成膜側の面とは反対側の面を吸着する吸着部材と、
前記吸着部材に対する前記基板の吸着の前及び後の少なくともいずれかに、前記基板の成膜側の面の周縁を支持する複数の支持部材と、
前記基板の成膜側の面に交差する方向に移動可能に構成され、前記基板の周縁を前記複数の支持部材と挟み込むように前記基板の成膜側の面とは反対側から前記基板の周縁を押圧する複数の押圧部材と、
を備え、
前記複数の押圧部材は、前記基板が前記複数の支持部材に支持されている際に前記基板の自重に伴う前記基板の変形量が第１領域よりも小さい第２領域を前記第１領域よりも強く押圧することを特徴とする成膜装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
基板の成膜側の面とは反対側の面を吸着する吸着部材と、
前記吸着部材に対する前記基板の吸着の前及び後の少なくともいずれかに、前記基板の成膜側の面の周縁を支持する複数の支持部材と、
前記基板の成膜側の面に交差する方向に移動可能に構成され、前記基板のうち前記複数の支持部材による各々の支持領域の真裏の位置をそれぞれ押圧する複数の押圧部材と、
を備え、
前記各々の支持領域には、前記基板が前記複数の支持部材に支持されている際に、前記基板の自重に伴う前記基板の変形量が大きな第１領域と、前記変形量が前記第１領域よりも小さな第２領域と、を有しており、
前記複数の押圧部材は、前記第２領域を前記第１領域よりも強く押圧することを特徴とする成膜装置。
【請求項３】
前記複数の押圧部材は、前記第１領域を押圧しないことを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記複数の押圧部材は、前記基板の成膜側の面に交差する方向において前記第１領域と重なる位置には配置されないことを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記複数の押圧部材は、前記基板から離間した状態では、前記基板の成膜側の面に交差する方向に見た場合に前記基板と重なり、かつ前記吸着部材の吸着面より前記基板から遠い位置にあることを特徴とする１または２に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記押圧部材を前記基板の成膜側の面に交差する方向に移動させる軸部材を備えており、前記軸部材は前記基板の成膜側の面に交差する方向に見た場合に前記基板の外側で前記吸着部材の側方に配されていることを特徴とする請求項５に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記吸着部材には、前記押圧部材を前記基板から遠ざけるために前記押圧部材が退避する凹部が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記吸着部材により吸着された前記基板に対して、薄膜を形成する成膜源を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。
【請求項９】
請求項１または２に記載の成膜装置を用いた成膜方法であって、
前記複数の支持部材が前記基板の周縁を支持する支持工程と、
前記支持工程の後に、前記複数の押圧部材により前記基板の周縁を押圧する押圧工程と、
前記押圧工程の後に、前記基板を前記吸着部材による吸着位置に相対的に移動する移動
工程と、
前記移動工程の後に、前記複数の押圧部材による押圧を解除する押圧解除工程と、
前記押圧解除工程の後に前記吸着部材により前記基板を吸着する吸着工程と、
前記吸着工程の後に成膜を行う成膜工程と、を有する
ことを特徴とする成膜方法。
【請求項１０】
請求項１または２に記載の成膜装置を用いた成膜方法であって、
前記複数の支持部材が前記基板の周縁を支持する支持工程と、
前記支持工程の後に、前記複数の押圧部材により前記基板の周縁を押圧する押圧工程と、
前記押圧工程の後に、前記基板を前記吸着部材による吸着位置に相対的に移動する移動工程と、
前記移動工程の後に前記吸着部材により前記基板を吸着する吸着工程と、
前記吸着工程の後に、前記押圧部材による押圧を解除する押圧解除工程と、
前記押圧解除工程の後に成膜を行う成膜工程と、を有する
ことを特徴とする成膜方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置及び成膜方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、成膜装置において、基板の成膜側の面とは反対側の面を吸着する吸着部材を備える技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－９９９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、基板の大判化が進んでおり、吸着部材に基板を吸着する前の状態において、基板が大きく撓んでいると、吸着部材に対して基板を適切に吸着するのが難しいことがある。そこで、本出願人は、基板の周縁が支持されている状態で、基板の周縁を支持された側とは反対側から押圧することによって、基板の撓みを抑制する技術について検討している。しかしながら、押圧時に基板に対する応力が部分的に高くなり、基板に悪影響を与えることが懸念される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の成膜装置は、
基板の成膜側の面とは反対側の面を吸着する吸着部材と、
前記吸着部材に対する前記基板の吸着の前及び後の少なくともいずれかに、前記基板の成膜側の面の周縁を支持する複数の支持部材と、
前記基板の成膜側の面に交差する方向に移動可能に構成され、前記基板の周縁を前記複数の支持部材と挟み込むように前記基板の成膜側の面とは反対側から前記基板の周縁を押圧する複数の押圧部材と、
を備え、
前記複数の押圧部材は、前記基板が前記複数の支持部材に支持されている際に前記基板の自重に伴う前記基板の変形量が第１領域よりも小さい第２領域を前記第１領域よりも強く押圧することを特徴とする。
【０００６】
また、他の発明の成膜装置は、
基板の成膜側の面とは反対側の面を吸着する吸着部材と、
前記吸着部材に対する前記基板の吸着の前及び後の少なくともいずれかに、前記基板の成膜側の面の周縁を支持する複数の支持部材と、
前記基板の成膜側の面に交差する方向に移動可能に構成され、前記基板のうち前記複数の支持部材による各々の支持領域の真裏の位置をそれぞれ押圧する複数の押圧部材と、
を備え、
前記各々の支持領域には、前記基板が前記複数の支持部材に支持されている際に、前記基板の自重に伴う前記基板の変形量が大きな第１領域と、前記変形量が前記第１領域よりも小さな第２領域と、を有しており、
前記複数の押圧部材は、前記第２領域を前記第１領域よりも強く押圧することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
以上説明したように、本発明によれば、基板に悪影響を与えることなく、吸着部材に対して、基板を安定した状態で吸着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
成膜装置の概略構成図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
成膜装置の要部の動作説明図。
有機ＥＬ表示装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００１０】
（実施例）
図１～図１２を参照して、本発明の実施例に係る成膜装置及び成膜方法について説明する。なお、図１～３、及び５～１２においては、各部材の動作を分かり易くするために、一体的に動作する部材について同種のハッチングを付している。これらの図においては、各部材を断面的に示しているが、各部材については、紙面の手前側と奥側の異なった位置に配され得るため、ハッチングが付されているからと言って、必ずしも断面を示したものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許