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公開番号2024128448
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-24
出願番号2023037428
出願日2023-03-10
発明の名称疎水化処理物の製造方法
出願人株式会社レゾナック
代理人個人,個人,個人
主分類C01B 33/18 20060101AFI20240913BHJP(無機化学)
要約【課題】無機酸化物を疎水化することが可能な新規な疎水化処理物の製造方法を提供すること。
【解決手段】本開示の一側面に係る疎水化処理物の製造方法は、無機酸化物を表面に有する被処理物及び水を含む酸性の反応液を水熱処理することで上記無機酸化物を疎水化する工程を備える。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
無機酸化物を表面に有する被処理物及び水を含む酸性の反応液を水熱処理することで前記無機酸化物を疎水化する工程を備える、疎水化処理物の製造方法。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記無機酸化物が、アルミナである、請求項１に記載の疎水化処理物の製造方法。
【請求項３】
前記無機酸化物が、シリカである、請求項１又は２に記載の疎水化処理物の製造方法。
【請求項４】
前記無機酸化物が、セリアである、請求項１又は２に記載の疎水化処理物の製造方法。
【請求項５】
前記水熱処理が、温度１１０～３００℃の条件で行われる、請求項１又は２に記載の疎水化処理物の製造方法。
【請求項６】
前記水熱処理が、温度１１０～１９０℃、処理時間５分～２４時間の条件で行われる、請求項１又は２に記載の疎水化処理物の製造方法。
【請求項７】
前記被処理物が、粒子である、請求項１又は２に記載の疎水化処理物の製造方法。
【請求項８】
前記被処理物が、半導体ウエハである、請求項１又は２に記載の疎水化処理物の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、疎水化処理物の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
シリカやアルミナなどの酸化物粒子は、電子材料や自動車向けの樹脂部材の無機充填剤として広く使用されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１３２７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、無機酸化物には疎水性が高いことが求められる場合がある。
【０００５】
本開示は、無機酸化物を疎水化することが可能な新規な疎水化処理物の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一側面は、無機酸化物を表面に有する被処理物及び水を含む酸性の反応液を水熱処理することで無機酸化物を疎水化する工程を備える、疎水化処理物の製造方法である。
【０００７】
［１］無機酸化物を表面に有する被処理物及び水を含む酸性の反応液を水熱処理することで上記無機酸化物を疎水化する工程を備える、疎水化処理物の製造方法。
［２］上記無機酸化物が、アルミナである、［１］に記載の疎水化処理物の製造方法。
［３］上記無機酸化物が、シリカである、［１］又は［２］に記載の疎水化処理物の製造方法。
［４］上記無機酸化物が、セリアである、［１］～［３］のいずれかに記載の疎水化処理物の製造方法。
［５］上記水熱処理が、温度１１０～３００℃の条件で行われる、［１］～［４］のいずれかに記載の疎水化処理物の製造方法。
［６］上記水熱処理が、温度１１０～１９０℃、処理時間５分～２４時間の条件で行われる、［１］～［５］のいずれかに記載の疎水化処理物の製造方法。
［７］上記被処理物が、粒子である、［１］～［６］のいずれかに記載の疎水化処理物の製造方法。
［８］上記被処理物が、半導体ウエハである、［１］～［６］のいずれかに記載の疎水化処理物の製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一側面によれば、無機酸化物を疎水化することが可能な新規な疎水化処理物の製造方法が提供される。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。但し、本開示は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１０】
本明細書において、「工程」との語は、独立した工程だけではなく、その工程の所期の作用が達成される限り、他の工程と明確に区別できない工程も含む。本明細書において、「～」を用いて示された数値範囲は、「～」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。本明細書に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値と任意に組み合わせることができる。本明細書に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。「Ａ又はＢ」とは、Ａ及びＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。本明細書に例示する材料は、特に断らない限り、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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