特許ウォッチ

公開番号2024121537
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-06
出願番号2023028688
出願日2023-02-27
発明の名称駆動装置、露光装置、露光方法及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240830BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】光学素子の調整に有利な駆動装置を提供する。
【解決手段】光学素子を保持する保持部材に力を加えて前記光学素子を移動又は変形させる駆動装置であって、ベース部と、変形することで前記保持部材に力を加える変形部と、前記変形部と前記ベース部とに囲まれた空間の圧力を調整する圧力調整部と、を有し、前記変形部は、前記圧力調整部が前記空間の圧力を調整することで変形する部分を有し、前記変形する部分において、前記保持部材に力を加えるために前記保持部材に接触する接触領域における前記保持部材に力を加える方向の剛性は、前記保持部材に接触しない非接触領域のうち少なくとも一部の領域における前記方向の剛性よりも高い。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
光学素子を保持する保持部材に力を加えて前記光学素子を移動又は変形させる駆動装置であって、
ベース部と、
変形することで前記保持部材に力を加える変形部と、
前記変形部と前記ベース部とに囲まれた空間の圧力を調整する圧力調整部と、を有し、
前記変形部は、前記圧力調整部が前記空間の圧力を調整することで変形する部分を有し、
前記変形する部分において、
前記保持部材に力を加えるために前記保持部材に接触する接触領域における前記保持部材に力を加える方向の剛性は、前記保持部材に接触しない非接触領域のうち少なくとも一部の領域における前記方向の剛性よりも高い、
ことを特徴とする駆動装置。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記接触領域の厚さは、前記非接触領域のうち少なくとも一部の領域の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記変形する部分は、薄板部と、凸形状部と、から成り、前記凸形状部の少なくとも一部が前記保持部材に力を加えることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記凸形状部は平板形状であることを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記変形する部分の厚さは、前記接触領域からの距離が大きいほど薄くなることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記変形部は、変形により前記光学素子を、前記光学素子を通過する光軸と直交する方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記変形部は前記保持部材と接触しているときにおいて、接触面積が最大となるときの前記変形部の前記保持部材に接触する接触領域の厚さが、前記接触面積が最大でないときの前記変形部の前記保持部材に接触する接触領域の厚さよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記変形部は、前記空間の圧力が大気圧より高くなった場合に前記光学素子を移動又は変形させることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記変形部はダイヤフラムであることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記変形部が前記保持部材に力を加えるときの前記接触領域の長手方向における長さは、前記変形部の長手方向の長さの１％以下の長さであることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、露光装置、露光方法及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶表示デバイスなどの製造工程において、複数の光学素子を有する露光装置が用いられることがある。特許文献１には、流体を用いて光学素子の位置を調整し、収差を低減する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－３５７６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、収差を低減するための光学素子の調整が同一条件のもとで行われたとしても、光学素子を調整する部材が光学素子を調整する際に意図せぬ変形をすることで同一の収差変化量を得られないことがある。
【０００５】
そこで、本発明は、光学素子の調整に有利な駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての光学素子を保持する保持部材に力を加えて前記光学素子を移動又は変形させる駆動装置は、ベース部と、変形することで前記保持部材に力を加える変形部と、前記変形部と前記ベース部とに囲まれた空間の圧力を調整する圧力調整部と、を有し、前記変形部は、前記圧力調整部が前記空間の圧力を調整することで変形する部分を有し、前記変形する部分において、前記保持部材に力を加えるために前記保持部材に接触する接触領域における前記保持部材に力を加える方向の剛性は、前記保持部材に接触しない非接触領域のうち少なくとも一部の領域における前記方向の剛性よりも高い、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光学素子の調整に有利な駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態における露光装置の構成を示す概略図である。
駆動装置により投影光学系の収差を調整する例である。
第１実施形態における投影光学系の内部の構成を示す図である。
第１実施形態における駆動装置の構成の例を示す図である。
第１実施形態における投影光学系の内部の構成の一例を示す図である。
第１実施形態における露光処理を行うときのフローチャートである。
第２実施形態における駆動装置の構成を示す図である。
第３実施形態における投影光学系の内部の構成を示す図である。
第４実施形態における物品の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許