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公開番号2024120997
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-05
出願番号2024107436,2023501983
出願日2024-07-03,2021-02-26
発明の名称アクチュエーター
出願人パイオニア株式会社,パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 26/08 20060101AFI20240829BHJP(光学)
要約【課題】ミラーを二軸駆動するアクチュエーターを小型化することが一例として挙げられる。
【解決手段】アクチュエーター(10)は、ミラー(20)、第1の電磁石(30)、および第2の電磁石(40)を備える。ミラー(20)には、永久磁石(21)が設けられている。ミラー(20)は、基準面(101)に対し、第1の軸(201)と第1の軸(201)に非平行な第2の軸(202)とを揺動軸として揺動可能である。第1の電磁石(30)は、ミラー(20)を、第1の軸(201)に対して揺動させる。第2の電磁石(40)は、ミラー(20)を、第2の軸(202)に対して揺動させる。そして、アクチュエーター(10)において、以下の(A)および(B)の少なくともいずれかが成り立つ。(A)基準面(101)に垂直な方向から見て、第1の電磁石(30)は第1の軸(201)に対して線対称ではない。(B)基準面(101)に垂直な方向から見て、第2の電磁石(40)は第2の軸(202)に対して線対称ではない。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
永久磁石が設けられ、基準面に対し、第１の軸と前記第１の軸に非平行な第２の軸とを揺動軸として揺動可能なミラーと、
前記ミラーを、前記第１の軸に対して揺動させる第１の電磁石と、
前記ミラーを、前記第２の軸に対して揺動させる第２の電磁石とを備え、
前記第２の電磁石は、前記第１の電磁石よりも小さい
アクチュエーター。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエーターに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
光で所定の領域を走査して測定する測定装置等では、光の出射方向を可変とするために可動ミラーが用いられる。
【０００３】
特許文献１には、ミラーに固定された永久磁石と、電磁石とを相互作用させて、ミラーに駆動トルクを生じさせる光走査装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００９－６９６７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ミラーを駆動するアクチュエーターの小型化が、それを含む測定装置等の全体の小型化のために重要である。一方、ミラーを二軸に対して駆動しようとすると、二組の電磁石が必要となり、アクチュエーターが大型化するという問題があった。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題としては、ミラーを二軸駆動するアクチュエーターを小型化することが一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、
永久磁石が設けられ、基準面に対し、第１の軸と前記第１の軸に非平行な第２の軸とを揺動軸として揺動可能なミラーと、
前記ミラーを、前記第１の軸に対して揺動させる第１の電磁石と、
前記ミラーを、前記第２の軸に対して揺動させる第２の電磁石とを備え、
（Ａ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第１の電磁石は前記第１の軸に対して線対称ではない、および（Ｂ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第２の電磁石は前記第２の軸に対して線対称ではない、の少なくともいずれかが成り立つ
アクチュエーターである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。
第１の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。
ミラー、外側フレーム、および内側フレームを含む構造体を例示する平面図である。
第１の電磁石および第２の電磁石の構造を例示する斜視図である。
電磁石の配置の比較例を示す図である。
電磁石の配置の比較例を示す図である。
第２の電磁石のヨークの断面形状の変形例を示す図である。
コイルの巻き方の変形例を示す図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状を例示する図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。
第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。
第３の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。
第４の実施形態に係る第１の電磁石の構造を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１０】
（第１の実施形態）
図１および図２は、第１の実施形態に係るアクチュエーター１０の構成を例示する図である。図１はアクチュエーター１０の平面図であり、図２は、アクチュエーター１０の側面図である。各図には互いに直交する３軸としてｘ軸、ｙ軸、およびｚ軸をあわせて示している。本実施形態において、ｘ軸は第１の軸２０１に平行であり、ｙ軸は第２の軸２０２に平行である。また、図３は、ミラー２０、外側フレーム５０、および内側フレーム６０を含む構造体１２を例示する平面図である。図４は、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０の構造を例示する斜視図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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