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公開番号2024114394
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-23
出願番号2023020140
出願日2023-02-13
発明の名称ウエーハ及び判定方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/66 20060101AFI20240816BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】結晶方位を示すマークとして微少な平坦面が形成されている場合でも、ウエーハの表面、裏面を判定できるウエーハ及び判定方法を提供する事。
【解決手段】ウエーハ100は、ウエーハ100の外周面取り部107の領域内に、ウエーハ100の円周方向に沿って少なくとも3つの微小な平坦面109が形成され、隣接する平坦面109の間の円弧の長さC1,C2,C3は、少なくとも二箇所において互いに異なる事を特徴とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウエーハの外周面取り部の領域内に、ウエーハの円周方向に沿って少なくとも３つの微小な平坦面が形成され、
隣接する該平坦面の間の円弧の長さは、少なくとも二箇所において互いに異なる事を特徴とするウエーハ。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
ウエーハの外周面取り部の領域内に、ウエーハの面に直交する方向からわずかに傾斜した平坦面が形成される事を特徴とするウエーハ。
【請求項３】
請求項１に記載のウエーハの向きを判定する判定方法であって、
ウエーハの該外周面取り部の側面に光を照射する投光部と、該側面からの反射光を受光する受光部と、を有するセンサによって、ウエーハの円周方向に沿って、該平坦面を含む該ウエーハの外周面取り部の側面に光を照射し、該受光部が受光する反射光によって複数の該平坦面を検出する検出ステップと、
該検出ステップにおいて検出された少なくとも３つの該平坦面の間隔から、該ウエーハのどちらの面が上を向いているかを判定する判定ステップと、
を備える事を特徴とする判定方法。
【請求項４】
請求項２に記載のウエーハの向きを判定する判定方法であって、
ウエーハの該外周面取り部の側面に光を照射する投光部と、該側面からの反射光を受光する受光部と、を有するセンサによって、ウエーハの円周方向に沿って、該平坦面を含む該ウエーハの外周面取り部の側面に光を照射し、該側面からの反射光によって該ウエーハのどちらの面が上を向いているかを判定する事を特徴とする判定方法。
【請求項５】
該投光部から照射される光の光軸は、ウエーハの一方の面が上を向いている状態の該平坦面と直交するようにされ、
該受光部は、該ウエーハの一方の面が上を向いている場合、該平坦面からの反射光を受光し、該ウエーハの他方の面が上を向いている場合、該平坦面からの反射光を受光しないことを特徴とする請求項４に記載のウエーハの向きの判定方法。
【請求項６】
該センサは、
該投光部から照射される光の光軸がウエーハの一方の面が上を向いている状態の該平坦面と直交するように配置される第一のセンサと、
該投光部から照射される光の光軸がウエーハの他方の面が上を向いている状態の該平坦面と直交するように配置される第二のセンサと、を含み、
該第一のセンサと該第二のセンサとのどちらで該平坦面からの反射光を受光したかによってウエーハの向きを判定することを特徴とする請求項４に記載のウエーハの向きの判定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハの表裏面を判定する判定方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハは、結晶方位性を有しており、結晶方位を認識しながらデバイスの形成や複数のチップに分割するなどの様々な加工が施される。そのため、従来ウエーハには結晶方位を識別する為にノッチやオリエンテーションフラットが形成されているが、これらによりデバイスを形成出来る領域が小さくなるという問題があった。そこで、ウエーハの面取り部に微少な平坦面を形成することで、結晶方位を識別する目印とする技術が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－１８９０９３号公報
特開２００７－３２９３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ウエーハによっては、結晶方位を示すために長さの異なる二つのオリエンテーションフラットが形成され、ウエーハの表裏面をひっくり返すと、長さの異なるオリエンテーションフラットの配置が変わるため、二つのオリエンテーションフラットをそれぞれ識別することによりウエーハの表面、裏面を識別できていた。しかしながら、オリフラに変えて微少な平坦面を形成した場合、平坦面が微少であるため、どちらの平坦面であるかを識別できず、ウエーハの表面、裏面を識別する目印として使用する事が困難であると言う問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、結晶方位を示すマークとして微少な平坦面が形成されている場合でも、ウエーハの表面、裏面を判定できるウエーハ及び判定方法を提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウエーハは、ウエーハの外周面取り部の領域内に、ウエーハの円周方向に沿って少なくとも３つの微小な平坦面が形成され、隣接する該平坦面の間の円弧の長さは、少なくとも二箇所において互いに異なる事を特徴とする。
【０００７】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウエーハは、ウエーハの外周面取り部の領域内に、ウエーハの面に直交する方向からわずかに傾斜した平坦面が形成される事を特徴とする。
【０００８】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の判定方法は、上記１つめに記載のウエーハの向きを判定する判定方法であって、ウエーハの該外周面取り部の側面に光を照射する投光部と、該側面からの反射光を受光する受光部と、を有するセンサによって、ウエーハの円周方向に沿って、該平坦面を含む該ウエーハの外周面取り部の側面に光を照射し、該受光部が受光する反射光によって複数の該平坦面を検出する検出ステップと、該検出ステップにおいて検出された少なくとも３つの該平坦面の間隔から、該ウエーハのどちらの面が上を向いているかを判定する判定ステップと、を備える事を特徴とする。
【０００９】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の判定方法は、上記２つめに記載のウエーハの向きを判定する判定方法であって、ウエーハの該外周面取り部の側面に光を照射する投光部と、該側面からの反射光を受光する受光部と、を有するセンサによって、ウエーハの円周方向に沿って、該平坦面を含む該ウエーハの外周面取り部の側面に光を照射し、該側面からの反射光によって該ウエーハのどちらの面が上を向いているかを判定する事を特徴とする。
【００１０】
該投光部から照射される光の光軸は、ウエーハの一方の面が上を向いている状態の該平坦面と直交するようにされ、該受光部は、該ウエーハの一方の面が上を向いている場合、該平坦面からの反射光を受光し、該ウエーハの他方の面が上を向いている場合、該平坦面からの反射光を受光しないものであってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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