特許ウォッチ

公開番号2024086468
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022201608
出願日2022-12-16
発明の名称回転伝達装置、および移送装置
出願人国立大学法人大阪大学
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類F16D 7/04 20060101AFI20240620BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】トランスファーロッドの回転によるサンプルホルダーの破損を防止する、サンプルホルダーの搬送に適した回転伝達装置を提供する。
【解決手段】回転伝達装置(1)は、トランスファーロッド(5)に対して固定される第1部材(10)と、第1部材に対して所定角度毎に回転角度が固定され、所定値以上のトルクが掛かると第1部材に対して回転する第2部材(20)と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
トランスファーロッドに対して固定される第１部材と、
前記第１部材に対して所定角度毎に回転角度が固定され、所定値以上のトルクが掛かると前記第１部材に対して回転する第２部材と、を備える回転伝達装置。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
潤滑剤として２０℃における蒸気圧が１×１０
－２
Ｐａ以上のオイルおよびグリースを含まない、請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項３】
部品として融点が２００℃未満の樹脂を含まない、請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項４】
融点が２００℃以上の材料のみで構成されている、請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項５】
前記第２部材は、前記第１部材に対する回転角度が、９０°以下である前記所定角度毎に固定される、請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項６】
前記第２部材は、前記第１部材に対して固定される複数の回転角度に対応した複数の規制面を有し、
前記第１部材は、回転規制部材と、前記回転規制部材を前記規制面に押しつけるばね部材とを有する、請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項７】
前記回転規制部材は、前記ばね部材より硬く、前記規制面と接触する凸曲面を有する、請求項６に記載の回転伝達装置。
【請求項８】
前記第２部材は、第１回転方向、および、前記第１回転方向とは逆の第２回転方向の両方において、前記所定値以上のトルクが掛かると前記第１部材に対して回転する、請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の回転伝達装置と、
前記第２部材に固定され、サンプルホルダーを固定するためのホルダー固定部と、
前記トランスファーロッドと、を備える、移送装置。
【請求項１０】
前記ホルダー固定部は、
サンプルホルダーの一部が挿入されるスリットを有し、
前記サンプルホルダーの一部が前記スリットに挿入された状態で回転することで、前記サンプルホルダーを固定する、請求項９に記載の移送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転伝達装置、および移送装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
試料等を真空装置間で搬送するとき、または、真空装置側と大気側との間で試料等を搬送するとき、トランスファーロッドが広く用いられている。このとき試料等を載置したサンプルホルダーを、トランスファーロッドの先端に取付けて搬送し、試料等の搬送が終わると、サンプルホルダーをトランスファーロッドから取外している。サンプルホルダーのトランスファーロッドへの着脱は、通常、トランスファーロッドを回転することによって行われている。
【０００３】
しかしながら、真空装置の内部は、構造上視認しづらく、トランスファーロッドが可動できる領域も狭いため、サンプルホルダーの着脱の際、サンプルホルダーを破損してしまうという問題が生じている。
【０００４】
例えば、下記の特許文献１には、トランスファーロッドと、トランスファーロッド先端に取付けたホルダー支持具との間に、十字ばねを設けることにより、取付け時の部品の破損を防ぐ第１の構造が開示されている。また、ホルダー支持具を、円筒体を介してホルダー固定部に取付けることにより、所定のトルク以上のトルクが掛かると、ホルダー支持具がホルダー固定部に対して回転し、部品の破損を防ぐ第２の構造が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平２－７８９０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の特許文献１に記載された第１の構造では、十字ばねのみでホルダー支持具を支えている。そのため、ホルダー支持具にトルクが加わった時に、ホルダー支持具の向きが予期せぬ向きになる可能性がある。また、第２の構造では、トルクによってホルダー固定体が任意の角度回転してしまうため、向きが重要なサンプルホルダーの搬送には不向きである。
【０００７】
本発明の一態様は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、トランスファーロッドの回転によるサンプルホルダーの破損を防止する、サンプルホルダーの搬送に適した回転伝達装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る回転伝達装置は、トランスファーロッドに対して固定される第１部材と、前記第１部材に対して所定角度毎に回転角度が固定され、所定値以上のトルクが掛かると前記第１部材に対して回転する第２部材と、を備える。
【０００９】
上記の構成によれば、所定値以上のトルクが掛かると第２部材が第１部材に対して回転するため、例えばサンプルホルダーの破損を防止することができる。また、第２部材が回転した場合でも、第２部材は所定角度毎に回転角度が固定される。そのため、第２部材の回転角度を把握しやすく、第２部材が第１部材に対して回転した場合でも、サンプルホルダーに対する向き合わせを容易に行うことができる。
【００１０】
前記回転伝達装置は、潤滑剤として２０℃における蒸気圧が１×１０
－２
Ｐａ以上のオイルおよびグリースを含まない構成であってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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