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公開番号2024086447
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022201575
出願日2022-12-16
発明の名称特性値補正装置、特性値算出装置およびこれを備えた検査装置、特性値補正方法、発光装置、特性値補正プログラム
出願人日亜化学工業株式会社
代理人弁理士法人新樹グローバル・アイピー
主分類G01R 31/26 20200101AFI20240620BHJP(測定;試験)
要約【課題】パルス電流を印加して発光装置の特性を検査する際に、本来、印加したい電流値で印加した場合の特性検査の結果を得ることが可能な特性値補正装置およびこれを備えた検査装置を提供する。
【解決手段】PC10は、波形取得部10a、面積算出部10b、時間算出部10c、補正係数算出部10dを備える。波形取得部10aは、LED12にパルス電流が印加された際に得られる経過時間と第1電流値との関係を示す波形を取得する。面積算出部10bは、波形取得部10aにおいて取得された波形の全体の第1面積と、第1電流値が安定した矩形波の部分の第2面積とを算出する。時間算出部10cは、印加開始時間と印加終了時間との間の第1時間と第2面積に対応する第2時間とを算出する。補正係数算出部10dは、第1面積と第2面積との比率と、第1時間と第2時間との比率と、を含む補正係数を求める。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
発光装置の特性を検査する検査装置において前記発光装置にパルス電流を印加して前記発光装置の特性の検査を実施する際に、前記発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、前記発光装置の特性値を補正する特性値補正装置であって、
前記発光装置に前記パルス電流が印加された際に得られる経過時間と前記第１電流値との関係を示す波形を取得する波形取得部と、
前記波形取得部において取得された前記波形の全体の第１面積と、前記波形における前記第１電流値が安定した矩形波の部分の第２面積とを算出する面積算出部と、
前記波形の全体のパルス電流の印加開始時間と印加終了時間との間の第１時間と、前記第２面積に対応する第２時間と、を算出する時間算出部と、
前記面積算出部において算出された前記第１面積と前記第２面積との比率と、前記時間算出部において算出された前記第１時間と前記第２時間との比率と、を含む補正係数を求める補正係数算出部と、
を備える特性値補正装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記面積算出部は、前記第２面積に対応する矩形波の開始点として、単位時間当たりの変化量がほぼ０になった時点を設定する
請求項１に記載の特性値補正装置。
【請求項３】
前記面積算出部は、前記第２面積に対応する前記矩形波の終了点を、前記パルス電流の印加終了時に合わせて設定する
請求項１または２に記載の特性値補正装置。
【請求項４】
前記補正係数Ｋは、以下の関係式（１）によって表される
請求項１または２に記載の特性値補正装置。
補正係数Ｋ＝（第２面積／第１面積）×（第１時間／第２時間）・・・（１）
【請求項５】
発光装置の特性を検査する検査装置において前記発光装置にパルス電流を印加して前記発光装置の特性の検査を実施する際に、前記発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、前記発光装置の特性値を算出する特性値算出装置であって、
前記発光装置に前記パルス電流が印加された際に得られる経過時間と前記第１電流値との関係を示す波形を取得する波形取得部と、
前記波形取得部において取得された前記波形を、前記発光装置に流れる電流値と特性値との関係に基づいて、経過時間と明るさとの関係を示す矩形波のグラフに置換するグラフ置換処理部と、
前記グラフ置換処理部によって置換された前記矩形波のグラフを積分して、前記発光装置の特性値を算出する特性値算出部と、
を備える特性値算出装置。
【請求項６】
請求項１または２に記載の特性値補正装置と、
前記発光装置の特性を測定する測定装置と、
前記測定装置で得られた第１測定値に、前記特性値補正装置で得られた前記補正係数を乗じて、第２測定値を算出する特性変換部と、
を備える検査装置。
【請求項７】
発光装置の特性を検査する検査装置において前記発光装置にパルス電流を印加して前記発光装置の特性の検査を実施する際に、前記発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、前記発光装置の特性値を補正する特性値補正方法であって、
前記発光装置に前記パルス電流が印加された際に得られる経過時間と前記第１電流値との関係を示す波形を取得する波形取得ステップと、
前記波形取得ステップにおいて取得された前記波形の全体の第１面積と、前記波形における前記第１電流値が安定した矩形波の部分の第２面積と、を算出する面積算出ステップと、
前記波形の全体のパルス電流の印加開始時間と印加終了時間との間の第１時間と、前記第２面積に対応する第２時間と、を算出する時間算出ステップと、
前記面積算出ステップにおいて算出された前記第１面積と前記第２面積との比率と、前記時間算出ステップにおいて算出された前記第１時間と前記第２時間との比率と、を含む補正係数を求める補正係数算出ステップと、
を備える特性値補正方法。
【請求項８】
請求項７に記載の特性値補正方法によって補正された特性値を用いて検査された発光装置。
【請求項９】
発光装置の特性を検査する検査装置において前記発光装置にパルス電流を印加して前記発光装置の特性の検査を実施する際に、前記発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、前記発光装置の特性値を補正する特性値補正プログラムであって、
前記発光装置に前記パルス電流が印加された際に得られる経過時間と前記第１電流値との関係を示す波形を取得する波形取得ステップと、
前記波形取得ステップにおいて取得された前記波形の全体の第１面積と、前記波形における前記第１電流値が安定した矩形波の部分の第２面積と、を算出する面積算出ステップと、
前記波形の全体のパルス電流の印加開始時間と印加終了時間との間の第１時間と、前記第２面積に対応する第２時間と、を算出する時間算出ステップと、
前記面積算出ステップにおいて算出された前記第１面積と前記第２面積との比率と、前記時間算出ステップにおいて算出された前記第１時間と前記第２時間との比率と、を含む補正係数を求める補正係数算出ステップと、
を備える特性値補正方法をコンピュータに実行させる特性値補正プログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、特性値補正装置、特性値算出装置およびこれを備えた検査装置、特性値補正方法、発光装置、特性値補正プログラムに関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の発光装置について、所定の電流を印加して光量を測定し、正常な範囲の光量を得られるか否かを検査する検査装置が用いられている。
例えば、特許文献１には、所定の関係でＬＥＤの温度に関係する所定のパラメータを用いて、較正テーブルを用いて決定される補正因子によって測定された放出光量は、放出光量の温度起因揺らぎについて補正されることで、光検出器の温度依存性を補正するための手法について開示されている。
【０００３】
また、特許文献２には、応答性が異なる２つの受光素子を用いて、入出力特性およびその微分特性を測定し、これらの測定結果から算出される第２受光素子の結合効率に基づいて、第２受光素子が測定した短パルス駆動における半導体レーザ素子の入出力特性を較正することで、ＬＤ（Laser Diode）素子の安定性を検出する手法について開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特表２００７－５３７５８３号公報
特開２００７－２０７９９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記公報に開示された方法では、通常、ＬＥＤの発熱量を抑制するためにできるだけ短い時間のパルス電流を印加して、ＬＥＤの特性（光束等）の検査を実施する。しかし、パルス電流はパルス幅が短くなるにつれて矩形波から逸脱しやすいため、本来、印加したい電流値が印加できないおそれがある。
本開示の課題は、パルス電流を印加して発光装置の特性を検査する際に、本来、印加したい電流値で印加した場合の特性検査の結果を得ることが可能な特性値補正装置、特性値算出装置およびこれを備えた検査装置、特性値補正方法、発光装置、特性値補正プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る特性値補正装置は、発光装置の特性を検査する検査装置において発光装置にパルス電流を印加して発光装置の特性の検査を実施する際に、発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、発光装置の特性値を補正する特性値補正装置であって、波形取得部と、面積算出部と、時間算出部と、補正係数算出部と、を備える。波形取得部は、発光装置にパルス電流が印加された際に得られる経過時間と第１電流値との関係を示す波形を取得する。面積算出部は、波形取得部において取得された波形の全体の第１面積と、波形における第１電流値が安定した矩形波の部分の第２面積とを算出する。時間算出部は、波形の全体のパルス電流の印加開始時間と印加終了時間との間の第１時間と、第２面積に対応する第２時間と、を算出する。補正係数算出部は、面積算出部において算出された第１面積と第２面積との比率と、時間算出部において算出された第１時間と第２時間との比率と、を含む補正係数を求める。
【０００７】
本開示に係る特性値算出装置は、発光装置の特性を検査する検査装置において発光装置にパルス電流を印加して発光装置の特性の検査を実施する際に、発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、発光装置の特性値を算出する特性値算出装置であって、波形取得部と、グラフ置換処理部と、特性値算出部と、を備える。波形取得部は、発光装置にパルス電流が印加された際に得られる経過時間と第１電流値との関係を示す波形を取得する。グラフ置換処理部は、波形取得部において取得された波形を、発光装置に流れる電流値と特性値との関係に基づいて、経過時間と明るさとの関係を示す矩形波のグラフに置換する。特性値算出部は、グラフ置換処理部によって置換された矩形波のグラフを積分して、発光装置の特性値を算出する。
【０００８】
本開示に係る検査装置は、特性値補正装置と、発光装置の特性を測定する測定装置と、測定装置で得られた第１測定値に、特性値補正装置で得られた補正係数を乗じて、第２測定値を算出する特性変換部と、を備える。
本開示に係る特性値補正方法は、発光装置の特性を検査する検査装置において発光装置にパルス電流を印加して発光装置の特性の検査を実施する際に、発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、発光装置の特性値を補正する特性値補正方法であって、波形取得ステップと、面積算出ステップと、時間算出ステップと、補正係数算出ステップと、を備える。波形取得ステップでは、発光装置にパルス電流が印加された際に得られる経過時間と第１電流値との関係を示す波形を取得する。面積算出ステップでは、波形取得ステップにおいて取得された波形の全体の第１面積と、波形における第１電流値が安定した矩形波の部分の第２面積と、を算出する。時間算出ステップでは、波形の全体のパルス電流の印加開始時間と印加終了時間との間の第１時間と、第２面積に対応する第２時間と、を算出する。補正係数算出ステップでは、面積算出ステップにおいて算出された第１面積と第２面積との比率と、時間算出ステップにおいて算出された第１時間と第２時間との比率と、を含む補正係数を求める。
【０００９】
本開示に係る特性値補正プログラムは、発光装置の特性を検査する検査装置において発光装置にパルス電流を印加して発光装置の特性の検査を実施する際に、発光装置に実際に流れた第１電流値を用いて、発光装置の特性値を補正する特性値補正プログラムであって、波形取得ステップと、面積算出ステップと、時間算出ステップと、補正係数算出ステップと、を備える特性値補正方法をコンピュータに実行させる特性値補正プログラムである。波形取得ステップでは、発光装置にパルス電流が印加された際に得られる経過時間と第１電流値との関係を示す波形を取得する。面積算出ステップでは、波形取得ステップにおいて取得された波形の全体の第１面積と、波形における第１電流値が安定した矩形波の部分の第２面積と、を算出する。時間算出ステップでは、波形の全体のパルス電流の印加開始時間と印加終了時間との間の第１時間と、第２面積に対応する第２時間と、を算出する。補正係数算出ステップでは、面積算出ステップにおいて算出された第１面積と第２面積との比率と、時間算出ステップにおいて算出された第１時間と第２時間との比率と、を含む補正係数を求める。
【発明の効果】
【００１０】
本開示に係る特性値補正装置によれば、パルス電流を印加して発光装置の特性を検査する際に、本来、印加したい電流値で印加した場合の特性検査の結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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